專利名稱：涂敷裝置及涂敷方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種向玻璃基板等被處理基板的表面上排出形成覆膜的涂敷液的涂敷裝置及涂敷方法。
背景技術：
例如，為了采用狹縫噴頭在被處理基板的表面上形成均勻厚度的覆膜，要在一定的時間內(nèi)將一定量的涂敷液供應到被處理基板的表面上。
專利文獻1中公開了測定涂敷的涂敷液的流量或重量，并將該值用于下次的涂敷液的涂敷條件的補償?shù)募夹g。特別是，專利文獻1中公開了采用注射泵的涂敷裝置。
參照圖2對上述采用注射泵的涂敷裝置加以說明。圖2中，附圖標記101為涂敷液的儲存罐，附圖標記102為狹縫噴頭，附圖標記103為注射泵，在儲存罐101的中途和狹縫噴頭102之前設置有開閉閥104、105。另外，在儲存罐101和開閉閥104之間設置有放氣罐106和脫氣模塊107。關于這些放氣罐106和脫氣模塊107，雖然專利文獻1中沒有公開，但表示在通常的涂敷裝置中設置了這些部件。
在上述的涂敷裝置中，將注射泵103的內(nèi)部空間與開閉閥104的下游側、開閉閥105的上游側的配管內(nèi)部空間和在一起作為涂敷液儲存空間。而且，為了進行涂敷，首先在打開了開閉閥104，關閉了開閉閥105的狀態(tài)下將儲存罐101內(nèi)的涂敷液壓送到上述涂敷液儲存空間內(nèi)，然后關閉開閉閥104。之后，在關閉了開閉閥104的狀態(tài)下將開閉閥105打開，同時驅(qū)動注射泵103，使涂敷液儲存空間的體積減小，從而使涂敷液從狹縫噴頭102中排出。
專利文獻1特開2001-121062號圖3在驅(qū)動定量泵，第一次的噴射(涂敷)結束后，進行下一次的噴射前的期間，如果上述涂敷液儲存空間內(nèi)的涂敷液壓力為負壓，則將從外部卷入空氣。因此，使涂敷液儲存空間內(nèi)的涂敷液壓力具有剩余壓力(正壓)。但是，這種剩余壓力在連續(xù)地進行噴射的情況下每一次噴射都將不同，其結果，不能夠在每一次噴射中排出一定量的涂敷液。
為了消除上述的不良情況，可考慮在涂敷前將開閉閥104暫時打開，將涂敷液儲存空間內(nèi)的剩余壓力經(jīng)由放氣罐106和脫氣模塊107釋放。但是，在這種情況下，將產(chǎn)生與通常的涂敷液的流動相反的流動，加在脫氣模塊和過濾器上的負擔加大，有可能加劇斷流或異物的產(chǎn)生，而且，將成為由放氣罐重復進行加壓和向大氣開放，空氣向涂敷液中的溶解增加。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種涂敷裝置，將涂敷液儲存罐內(nèi)的涂敷液經(jīng)由放氣區(qū)域送入涂敷液儲存空間，通過泵使涂敷液儲存空間的體積減小，從而從設置在涂敷液儲存空間下游側的噴頭排出涂敷液，其結構是，在上述放氣區(qū)域和泵之間的配管以及上述泵和噴頭之間的配管上分別設置有開閉閥，這些開閉閥之間的配管內(nèi)的空間以及泵內(nèi)的空間作為涂敷液儲存空間，在構成這種涂敷液儲存空間的配管的中途設置備有開閉閥的分支配管，并連接在放氣罐上。
上述泵通常為定量泵。而且，通過在上述分支配管上設置有壓力傳感器、壓力開關或者單向閥，能夠?qū)⑼糠笄暗耐糠笠簝Υ婵臻g內(nèi)的壓力設定成與大氣壓不同的壓力。
而且，本發(fā)明所涉及的涂敷是以采用上述涂敷裝置為前提，將設置在上述放氣區(qū)域和泵之間的配管上的開閉閥打開，將設置在上述泵和噴頭之間的配管上的開閉閥關閉，將連接在上述放氣區(qū)域上的分支配管的開閉閥關閉，從上述放氣區(qū)域向上述涂敷液儲存空間送入涂敷液，然后，將開閉閥關閉，將上述開閉閥關閉，將上述開閉閥打開，釋放上述涂敷液儲存空間內(nèi)的剩余壓力，使涂敷液儲存空間內(nèi)的涂敷液壓力為大氣壓或者一定的壓力，之后，將上述開閉閥關閉，將上述開閉閥打開，將上述開閉閥關閉，驅(qū)動泵，使涂敷液儲存空間內(nèi)的體積減小，從噴頭排出涂敷液。
根據(jù)本發(fā)明所涉及的涂敷裝置及采用這種涂敷裝置的涂敷方法，能夠在基板上形成一定膜厚的覆膜。特別是，即使在連續(xù)地進行多次噴射的情況下，也能夠形成一定膜厚的覆膜。


圖1為本發(fā)明所涉及的涂敷裝置的構成圖。
圖2為現(xiàn)有的采用注射泵的涂敷裝置的構成圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式加以說明。圖1為本發(fā)明所涉及的涂敷裝置的構成圖，在該實施例中，在涂敷液儲存罐1中的上升管2上設置有開閉閥3，上升管2連接在涂敷液供應配管4上。
在圖示的例子中，涂敷液儲存罐1為一臺，但也可以配置兩2臺，在一臺涂敷液儲存罐1內(nèi)的涂敷液沒有了的情況下切換到另一臺涂敷液儲存罐1，從而連續(xù)地進行涂裝作業(yè)。
在涂敷液儲存罐1的下游側設置有放氣區(qū)域5，在該放氣區(qū)域5中順序地配置有放氣罐6、過濾器7以及脫氣模塊8。另外，在放氣罐6中插入加壓管線22，可進行向大氣開放和加壓。
在脫氣模塊8的下游側配置有定量泵9，在連接該定量泵9和脫氣模塊8的涂敷液供應配管10的中途設置有開閉閥11，而且，在定量泵9的下游側配置有狹縫噴頭12，在連接該狹縫噴頭12和定量泵9的涂敷液供應配管13上靠近狹縫噴頭12的端部設置有開閉閥14。
上述開閉閥11的下游側、開閉閥14的上游側的配管內(nèi)的空間以及定量泵9內(nèi)的空間成為涂敷液儲存空間S。
而且，從上述涂敷液供應配管10上開閉閥11的下游側、定量泵9的上游側的位置上還分支有分支配管15，在該分支配管15上設置有壓力傳感器及壓力開關16、開閉閥17及單向閥18，最終連接在罐19上。
另外，在涂敷液儲存空間S向大氣開放的情況下，也可以不特意設置壓力傳感器及壓力開關16。
而且，上述狹縫噴頭12內(nèi)和罐19由返回配管20連接，在該返回配管20上也設置有開閉閥21。
以下，對以所有的開閉閥3、11、14、17、21為關閉狀態(tài)的時刻為起始點進行說明。
從上述的狀態(tài)開始，將開閉閥3打開，僅向放氣罐6中送入規(guī)定量的涂敷液儲存罐1內(nèi)的涂敷液，關閉開閉閥3。此時，放氣罐6是向大氣開放的，送入放氣罐6內(nèi)的涂敷液中的氣泡被除去。
然后，將放氣罐6從向大氣開放切換到加壓，將放氣罐6內(nèi)的涂敷液經(jīng)由過濾器7送入脫氣模塊8，通過減壓而除去溶解在涂敷液中的氣體。
與上述同時地將開閉閥11打開。這樣一來，通過了脫氣模塊8的涂敷液經(jīng)由涂敷液供應配管10供應到定量泵9中，進而到開閉閥14為止的涂敷液供應配管13內(nèi)也被涂敷液充滿。即，涂敷液儲存空間S被涂敷液充滿。
之后，關閉開閉閥11，同時將分支配管15的開閉閥17打開。這樣一來，涂敷液儲存空間S經(jīng)由罐19向大氣開放，涂敷液儲存空間S內(nèi)的涂敷液壓力降低到接近于大氣壓的壓力。
如果涂敷液儲存空間S內(nèi)的涂敷液壓力被調(diào)整到一定值，則在開閉閥11、17關閉的狀態(tài)下將開閉閥14打開，驅(qū)動定量泵9，使涂敷液儲存空間S的體積減小。這樣一來，相當于體積減少的量的涂敷液從狹縫噴頭12排出，進行第一次的噴射。而且，僅在最初加入了液體時將開閉閥21打開，將多余的涂敷液經(jīng)由返回配管20送入罐19中。
如果第一次的噴射結束，則關閉開閉閥14、21，將開閉閥11打開，并且使定量泵9返回到原來的位置，經(jīng)由脫氣模塊8再次向涂敷液儲存空間S內(nèi)送入涂敷液。此時，涂敷液儲存空間S內(nèi)因用于防止來自外部的空氣的卷入的剩余壓力而成為正壓。
之后，關閉開閉閥11，同時將分支配管15的開閉閥17打開。這樣一來，與上述相同，涂敷液儲存空間S內(nèi)的剩余壓力被出去而降低到接近于大氣壓的壓力。這樣，通過在每次噴射前除去涂敷液儲存空間S內(nèi)的剩余壓力，能夠?qū)⒚看螄娚涞呐懦銮盃顟B(tài)始終保持在一定的狀態(tài)下，在連續(xù)地進行多次噴射的情況下，能夠始終從噴頭排出一定量的涂敷液。
在圖示的例子中表示了以定量泵作為泵，但并不僅限于此。而且，關于噴頭，也并不僅限于狹縫噴頭。另外，雖然是使分支配管15從開閉閥11和定量泵9之間分支的，但也可以從定量泵9和開閉閥14之間的涂敷液供應配管13上分支。
本發(fā)明所涉及的涂敷裝置及涂敷方法可用于采用狹縫噴頭、在玻璃基板的表面上形成一定厚度的抗蝕劑膜或SOG膜的工序中。
權利要求
1.一種涂敷裝置，將涂敷液儲存罐內(nèi)的涂敷液經(jīng)由放氣區(qū)域送入涂敷液儲存空間，通過泵使涂敷液儲存空間的體積減小，從而從設置在涂敷液儲存空間下游側的噴頭排出涂敷液，其特征是，在上述放氣區(qū)域和泵之間的配管以及上述泵和噴頭之間的配管上分別設置有開閉閥，這些開閉閥之間的配管內(nèi)的空間以及泵內(nèi)的空間作為涂敷液儲存空間，在構成這種涂敷液儲存空間的配管的中途設置備有開閉閥的分支配管，并連接在放氣罐上。
2.如權利要求1所述的涂敷裝置，其特征是，在上述分支配管上設置有壓力傳感器、壓力開關或者單向閥。
3.一種采用權利要求1或2所述的涂敷裝置的涂敷方法，其特征是，將設置在上述放氣區(qū)域和泵之間的配管上的開閉閥(11)打開，將設置在上述泵和噴頭之間的配管上的開閉閥(14)關閉，將連接在上述放氣區(qū)域上的分支配管的開閉閥(17)關閉，從上述放氣區(qū)域向上述涂敷液儲存空間送入涂敷液，然后，將開閉閥(11)關閉，將上述開閉閥(14)關閉，將上述開閉閥(17)打開，釋放上述涂敷液儲存空間內(nèi)的剩余壓力，使涂敷液儲存空間內(nèi)的涂敷液壓力為大氣壓或者一定的壓力，之后，將上述開閉閥(11)關閉，將上述開閉閥(14)打開，將上述開閉閥(17)關閉，驅(qū)動泵，使涂敷液儲存空間內(nèi)的體積減小，從噴頭排出涂敷液。
全文摘要
本發(fā)明提供一種即使連續(xù)地進行多次的噴射(涂敷)、也能夠使每次噴射的涂敷液的排出量為一定的涂敷裝置及涂敷方法。在第一次的噴射結束后，關閉開閉閥(14、21)，將開閉閥(11)打開，并且使注射泵(9)返回到原來的位置，經(jīng)由脫氣模塊(8)再次向涂敷液儲存空間(S)內(nèi)送入涂敷液。此時的涂敷液儲存空間(S)內(nèi)因用于防止來自外部的氣體的卷入的剩余壓力而成為正壓。之后，關閉開閉閥(11)，同時將分支配管(15)的開閉閥(17)打開。這樣一來，與上述同樣地，涂敷液儲存空間(S)內(nèi)的剩余壓力被除去而降低到接近于大氣壓的壓力。這樣，通過在每次噴射前除去涂敷液儲存空間(S)內(nèi)的剩余壓力，能夠?qū)⒚看螄娚涞呐懦銮盃顟B(tài)始終保持在一定的狀態(tài)。
文檔編號C03C17/00GK1736923SQ200510088568
公開日2006年2月22日 申請日期2005年8月4日 優(yōu)先權日2004年8月4日
發(fā)明者石橋知淳, 楫間淳生, 吉澤健司 申請人:東京応化工業(yè)株式會社