專利名稱：粉塵清除器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種粉塵清除器，尤其是適用于半導(dǎo)材料制備過程中清除有毒的砷、磷粉末的粉塵清除器。
在半導(dǎo)體材料制備中，例如拉制GaAs、InP單晶和重?fù)紸s雜質(zhì)的硅單晶，在單晶爐內(nèi)產(chǎn)生大量的有劇毒的砷和磷粉末吸附在爐膛內(nèi)壁上，而每拉制一次晶體之后都必須清除爐膛內(nèi)的砷粉和磷粉末。到目前為止，尚沒有一種很適用于清除此類砷、磷粉末的裝置，常見的除塵器，如鍋爐用除塵器和家用除塵器僅適用于清除大顆粒的粉塵，由于上述砷、磷粉塵中含有大量小直徑的顆粒，因此，用現(xiàn)有的除塵器來清除此類粉塵雖有一定效果但未不理想，從這些吸塵器中排出的氣體中砷、磷的含量很難達(dá)到0.05毫克/立方米的國家環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)以下。
現(xiàn)在，工作人員清除砷、磷粉末時，只能戴著潮濕的大口罩，用酒精紗布來擦除單晶爐爐膛內(nèi)的砷粉和磷粉，使工作室內(nèi)的空氣中含有大量的有劇毒的砷、磷及其氧化物的粉末。眾所周知，人吸入砷將導(dǎo)致身體的免疫功能下降從而引發(fā)一系列的疾病，如果人體內(nèi)砷的含量超過標(biāo)準(zhǔn)，就很容易得肝癌。因此，過量的砷、磷粉塵進(jìn)入空氣中，既危害工作人員的健康，又嚴(yán)重地污染環(huán)境。
本實用新型的目的就是設(shè)計一種能夠有效清除半導(dǎo)體材料制備中產(chǎn)生的砷、磷粉塵的粉塵清除器。
本實用新型所提供的粉塵清除器的原理與常用的除塵器的原理是一樣的，即通過離心式抽風(fēng)機(jī)在過濾膜的兩側(cè)產(chǎn)生壓力差，使含有粉塵的氣體透過過濾膜流動，從而將粉塵吸附在過濾膜上。
本實用新型的粉塵清除器的構(gòu)造是這樣的由粉塵導(dǎo)管、法蘭盤、孔板、過濾膜、過濾室、出口導(dǎo)管和離心式抽風(fēng)機(jī)構(gòu)成。過濾室的出口通過出口導(dǎo)管與離心式抽風(fēng)機(jī)相連；過濾室的入口通過法蘭盤與粉塵導(dǎo)管相連；孔板壓嵌于法蘭盤和過濾室入口邊緣之間；過濾膜采用袋狀結(jié)構(gòu)，置于過濾室中，袋狀過濾膜的袋口張開壓嵌在孔板邊緣和過濾室入口邊緣之間。當(dāng)粉塵導(dǎo)管的入口與單晶爐連起來，在離心式抽風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的氣壓差的作用下，爐壁上的砷、磷粉末就會被吸起來，隨氣流通過粉塵導(dǎo)管和孔板進(jìn)入過濾室，在氣流透過袋狀過濾膜時，砷、磷粉末被吸著在過濾膜上，而被凈化過的氣流則通過出口導(dǎo)管和離心式抽風(fēng)機(jī)的出口被排放出去?？装宓淖饔檬欠乐乖谶^濾膜的兩側(cè)出現(xiàn)逆向壓差時，使袋狀過濾膜翻轉(zhuǎn)而造成吸著在過濾膜上的有毒粉塵的回流。
采用上述結(jié)構(gòu)的粉塵清除器能有效地清除半導(dǎo)體單晶生產(chǎn)中產(chǎn)生的有毒的砷、磷粉塵，從而減少有毒粉塵對工作人員的身體危害，并防止環(huán)境污染，而且過濾膜的更換也很方便。在本實用新型的設(shè)計人的實驗室中，采用風(fēng)量大于1000立方米/小時、能產(chǎn)生50毫米汞柱壓差的離心式抽風(fēng)機(jī)，使工作室的砷粉含量低于0.05毫克/立方米的國家標(biāo)準(zhǔn)。
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。


圖1粉塵清除器構(gòu)造剖視圖圖2孔板示意圖圖3百褶裙式過濾袋立體示意圖圖中，1.粉塵導(dǎo)管 2.法蘭盤3.過濾室4.出口導(dǎo)管5.離心式抽風(fēng)機(jī) 6.百褶裙式過濾器7.孔板
圖1所示的粉塵清除器包括粉塵導(dǎo)管1、法蘭盤2、過濾室3、出口導(dǎo)管4、離心式抽風(fēng)機(jī)5、孔板7，過濾膜采用百褶裙式過濾袋6的形式，其形狀和構(gòu)造如圖3所示，孔板7的孔的分布及形狀如圖2所示。
百褶裙式過濾袋6置于過濾室3中，過濾室3的入口通過法蘭盤2與粉塵導(dǎo)管1相連接，孔板7壓嵌在法蘭盤2與過濾室3的入口邊緣之間，百褶裙式過濾袋6的袋口張開壓嵌在孔板7的邊緣與過濾室3的入口邊緣之間，過濾室3的出口通過出口導(dǎo)管4與離心式抽風(fēng)機(jī)5相接。
由于采用百褶裙式過濾袋6作為過濾膜，提高了粉塵與過濾膜的接觸效率，提高了粉未的去除效果，而且具有這樣結(jié)構(gòu)和連接方式的過濾膜也便于將其從過濾室中取出和更換，再對吸附在過濾膜上的有毒粉塵做進(jìn)一步處理。
該實施例中的百褶裙式過濾袋，如圖3所示，是圓錐形，采用無紡布作為材料。當(dāng)然在其它實施例中，過濾膜可以采用其它材料或形狀，過濾膜可以是單層結(jié)構(gòu)的，也可以是多層的。在采用多層過濾膜時，只要將它們重疊著套裝在一起，用與上述同樣的連接方式連接，這樣有利于進(jìn)一步提高其過濾效率。
權(quán)利要求1.一種粉塵清除器，包含有粉塵導(dǎo)管、過濾膜、過濾室、出口導(dǎo)管、和離心式抽風(fēng)機(jī)，其特征在于，它還包含有法蘭盤和孔板，而且過濾膜是袋狀的過濾膜；過濾室的出口通過出口導(dǎo)管與離心式抽風(fēng)機(jī)相連，過濾室的入口通過法蘭盤與粉塵導(dǎo)管相接，孔板壓嵌于法蘭盤和過濾室入口邊緣之間，所述袋狀過濾膜置于過濾室中，袋口張開壓嵌于孔板邊緣和過濾室入口邊緣之間。
2.如權(quán)利要求1所述的粉塵清除器，其特征在于，所述的過濾膜是圓錐形狀的。
3.如權(quán)利要求1所述的粉塵清除器，其特征在于，所述的過濾膜是做成百褶裙式過濾袋的過濾膜。
4.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2或權(quán)利要求3所述的粉塵清除器，其特征在于，所述的過濾膜是用無紡布做成的。
5.如權(quán)利要求1所述的粉塵清除器，其特征在于，所述的過濾膜是重疊著套裝在一起的多層過濾膜。
專利摘要本實用新型公開了一種適用于半導(dǎo)體材料制備中清除有毒的砷、磷粉末的粉塵清除器,包括粉塵導(dǎo)管、法蘭盤、孔板、過濾室、袋狀過濾膜、出口導(dǎo)管和離心式抽風(fēng)機(jī)。含有粉塵的氣體在離心式抽風(fēng)機(jī)的作用下,通過粉塵導(dǎo)管和孔板進(jìn)入袋狀過濾膜的袋口,再從過濾膜穿過,從而使粉塵吸著在過濾膜上。它能有效地清除半導(dǎo)體單晶爐中的砷、磷粉末,且過濾膜便于更換。
文檔編號B08B15/00GK2277834SQ9622251
公開日1998年4月8日 申請日期1996年9月6日 優(yōu)先權(quán)日1996年9月6日
發(fā)明者聞瑞梅, 鄧禮生, 劉任重, 梁駿吾 申請人:中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所