半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，包括：若干個(gè)片加熱片，加熱片兩個(gè)一組并聯(lián)后再將并聯(lián)的多組串聯(lián)組成加熱片組，加熱片組外接電源。將若干個(gè)加熱片中的任意兩個(gè)一組并聯(lián)，再將并聯(lián)的多個(gè)組串聯(lián)從而組成加熱片組，減小單個(gè)加熱片的負(fù)荷，延長加熱片的使用壽命，進(jìn)而降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在進(jìn)行半導(dǎo)體制造時(shí)，例如生產(chǎn)LED(發(fā)光二極管)芯片，在制造過程中均需要在不同工藝之后對LED芯片進(jìn)行相應(yīng)的清洗。清洗通常采用酸液、去離子水等溶液，并在預(yù)定溫度下清洗才能夠達(dá)到較好的清洗效果。因此，在進(jìn)行清洗過程中，均需要采用加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱。
[0003]通常情況下，加熱系統(tǒng)設(shè)于半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的內(nèi)部，請參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中加熱系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述加熱系統(tǒng)包括4片加熱片1，4片加熱片I采用并聯(lián)的方式連接，并外接220V電源。加熱片I將電能轉(zhuǎn)化為熱量，為清洗工藝提供加熱。
[0004]采用此種連接方式，加熱片I的功率高達(dá)1631W，加熱片I的負(fù)荷為1.58ff/cm2,但從行業(yè)經(jīng)驗(yàn)來判斷，加熱片I的負(fù)荷應(yīng)小于0.6ff/cm2才能夠保證其使用壽命不受影響。因此，采用現(xiàn)有的連接方式，導(dǎo)致加熱片I的負(fù)荷太高，致使半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)因?yàn)榧訜崞琁的燒壞而頻繁停機(jī)，停機(jī)需要更換加熱片I，而且每次停機(jī)更換加熱片I的時(shí)間長達(dá)12小時(shí)，一方面不利于半導(dǎo)體清洗機(jī)的利用率，另一方面大大增加了使用成本。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決上述技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，能夠減少加熱片的負(fù)荷，提供加熱片的使用壽命，減少成本。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，包括:若干個(gè)片加熱片，所述加熱片兩個(gè)一組并聯(lián)后再將并聯(lián)的多組串聯(lián)組成加熱片組，所述加熱片組外接電源。
[0007]進(jìn)一步的，所述加熱片組通過第一控制電路外接加熱電源，所述第一控制電路設(shè)有一斷電繼電器和接觸器，所述斷電繼電器控制所述接觸器的通斷。
[0008]進(jìn)一步的，所述加熱片組還通過第二控制電路外接保溫電源，所述第二控制電路設(shè)有通電延時(shí)繼電器。
[0009]進(jìn)一步的，還包括溫控電路，所述溫控電路設(shè)有斷電繼電器和通電延時(shí)繼電器的輸入信號端以及溫控器開關(guān)。
[0010]進(jìn)一步的，所述溫控電路外接一 24V直流電源。
[0011]進(jìn)一步的，所述加熱片為4個(gè)，其中兩個(gè)一組并聯(lián)，再并聯(lián)的兩組串聯(lián)組成加熱片組。
[0012]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果主要體現(xiàn)在:將若干個(gè)加熱片中的任意兩個(gè)一組并聯(lián)，再將并聯(lián)的多個(gè)組串聯(lián)從而組成加熱片組，減小單個(gè)加熱片的負(fù)荷，延長加熱片的使用壽命，進(jìn)而降低生產(chǎn)成本。
[0013]進(jìn)一步的，為了縮短加熱的時(shí)間，在需要加熱時(shí)，第一控制電路導(dǎo)通，第二控制電路斷開，使加熱片組外接電壓較高的加熱電源，加大加熱效率，在溫度達(dá)到要求后，第二控制電路導(dǎo)通，第一控制電路斷開，使加熱片組外接電壓較低的保溫電源，從而進(jìn)行保溫，避免溫度過高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中加熱系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一中半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二中半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017]下面將結(jié)合示意圖對本實(shí)用新型的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。
[0018]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0019]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0020]實(shí)施例一
[0021]請參考圖2，在本實(shí)施例中，提出了一種半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，包括:若干個(gè)片加熱片11，所述加熱片11兩個(gè)一組并聯(lián)后再將并聯(lián)的多組串聯(lián)組成加熱片組10，所述加熱片組10外接電源。
[0022]在本實(shí)施例中，所述加熱片組10外接220V的電源，其中，R是火線，N是零線，在本實(shí)施例的連接方式下，單個(gè)加熱片11的功率為403W，負(fù)荷僅為0.4W/cm2，大大的降低了加熱片11被燒壞的幾率，將其使用壽命延長至一年，降低了使用成本。
[0023]其中，所述加熱片11為4個(gè)，其中兩個(gè)一組并聯(lián)，再并聯(lián)的兩組串聯(lián)組成加熱片組10，如圖2所示。
[0024]采用本實(shí)施例提出的加熱系統(tǒng)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)能夠提高半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的使用壽命，減少半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)停機(jī)的幾率，提高其利用率。
[0025]實(shí)施例二
[0026]請參考圖3，在本實(shí)施例中，提出的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)的加熱片組10與實(shí)施例一的相同，具體的請參考實(shí)施例一，在此不作贅述。然而，實(shí)施例一中的加熱片組10加熱達(dá)到預(yù)定溫度的時(shí)間較久，例如加熱至75攝氏度通常需要2個(gè)小時(shí)。因此，實(shí)施例二在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)，縮短加熱時(shí)間。
[0027]具體的，在本實(shí)施例中，所述加熱片組10通過第一控制電路外接加熱電源，所述第一控制電路設(shè)有一斷電繼電器Rl和接觸器R2，所述斷電繼電器控制Rl所述接觸器R2的通斷。其中，加熱電源的電壓可以為380V，能夠快速的將加熱片組10加熱至預(yù)定溫度。例如加熱至75攝氏度左右時(shí)，只需要I個(gè)小時(shí)10分鐘即可。
[0028]此外，所述加熱片組10還通過第二控制電路外接保溫電源，所述第二控制電路設(shè)有通電延時(shí)繼電器R3。其中，保溫電源的電壓為220V，用于進(jìn)行保溫，防止加熱片組10加熱的溫度過高。
[0029]在本實(shí)施例中，加熱系統(tǒng)還包括溫控電路，所述溫控電路設(shè)有斷電繼電器Rl和通電延時(shí)繼電器R3的輸入信號端RO以及溫控器開關(guān)AL1。所述溫控電路外接一 24V直流電源。在溫度達(dá)到預(yù)定溫度后，例如75攝氏度時(shí)，溫控器開關(guān)ALl會(huì)自動(dòng)閉合，在溫度低于預(yù)定溫度時(shí)，溫控器開關(guān)ALl處于斷開的狀態(tài)。
[0030]具體的，加熱系統(tǒng)在第二控制電路導(dǎo)通處于保溫狀態(tài)時(shí)，若溫度未到設(shè)定溫度需要進(jìn)行加熱時(shí)，通電延時(shí)繼電器R3立即斷開，此時(shí)斷電繼電器Rl控制接觸器R2延時(shí)I?5s閉合，防止火線S和零線N之間產(chǎn)生火花導(dǎo)致短路，在第一控制電路導(dǎo)通后，進(jìn)入加熱狀態(tài)進(jìn)行加熱，直至溫度達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)，此時(shí)，溫控器開關(guān)ALl會(huì)自動(dòng)閉合，使輸入信號端RO得電，從而控制斷電繼電器Rl和通電延時(shí)繼電器R3，斷電繼電器Rl控制接觸器R2立即斷開，通電延時(shí)繼電器R3則延時(shí)I?5s后導(dǎo)通，同樣也是為了避免火線S和零線N之間發(fā)生短路，從而實(shí)現(xiàn)由加熱狀態(tài)轉(zhuǎn)換成保溫狀態(tài)。
[0031]本實(shí)施例的加熱系統(tǒng)在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上能夠減少加熱時(shí)間，提高加熱效率，同時(shí)還有保溫狀態(tài)，能夠避免過加熱。
[0032]此外，采用本實(shí)施例提出的加熱系統(tǒng)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)能夠提高半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的使用壽命，減少半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)停機(jī)的幾率，提高其利用率。
[0033]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)中，將若干個(gè)加熱片中的任意兩個(gè)一組并聯(lián)，再將并聯(lián)的多個(gè)組串聯(lián)從而組成加熱片組，減小單個(gè)加熱片的負(fù)荷，延長加熱片的使用壽命，進(jìn)而降低生產(chǎn)成本。
[0034]進(jìn)一步的，為了縮短加熱的時(shí)間，在需要加熱時(shí)，第一控制電路導(dǎo)通，第二控制電路斷開，使加熱片組外接電壓較高的加熱電源，加大加熱效率，在溫度達(dá)到要求后，第二控制電路導(dǎo)通，第一控制電路斷開，使加熱片組外接電壓較低的保溫電源，從而進(jìn)行保溫，避免溫度過高。
[0035]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，其特征在于，包括:若干個(gè)片加熱片，所述加熱片兩個(gè)一組并聯(lián)后再將并聯(lián)的多組串聯(lián)組成加熱片組，所述加熱片組外接電源。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱片組通過第一控制電路外接加熱電源，所述第一控制電路設(shè)有一斷電繼電器和接觸器，所述斷電繼電器控制所述接觸器的通斷。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱片組還通過第二控制電路外接保溫電源，所述第二控制電路設(shè)有通電延時(shí)繼電器。
4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，其特征在于，還包括溫控電路，所述溫控電路設(shè)有斷電繼電器和通電延時(shí)繼電器的輸入信號端以及溫控器開關(guān)。
5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，其特征在于，所述溫控電路外接一 24V直流電源。
6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體清洗機(jī)臺(tái)的加熱系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱片為4個(gè)，其中兩個(gè)一組并聯(lián)，再并聯(lián)的兩組串聯(lián)組成加熱片組。
【文檔編號】B08B13/00GK204074670SQ201420413149
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月24日
【發(fā)明者】倪惠彬 申請人:映瑞光電科技(上海)有限公司