一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于氣瓶的檢測(cè)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法，提出的一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法，氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法包括有清洗方法和氣密性檢測(cè)方法；清洗方法是先對(duì)經(jīng)內(nèi)表面研磨后，質(zhì)量檢測(cè)合格合格后的氣瓶先后進(jìn)行CCl4溶液清洗、異丙醇清洗和去離子水清洗，再對(duì)清洗后的氣瓶加熱烘干，然后檢驗(yàn)后安裝端塞及閥門；質(zhì)量檢測(cè)是對(duì)安裝端塞及閥門的氣瓶進(jìn)行氣密性檢測(cè)、真空度檢測(cè)和油水含量檢測(cè)。本發(fā)明保證了高純氣體的質(zhì)量，極大的降低了氣體的污染程度。
【專利說明】一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于氣瓶的檢測(cè)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法，該類氣瓶主要用于充裝99.999%以上純度的非腐蝕性高純氣體。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，微電子、航空航天、生物工程、新型材料、精密冶金、環(huán)境科學(xué)等高新【技術(shù)領(lǐng)域】對(duì)電子級(jí)氣體、特種氣體及標(biāo)準(zhǔn)氣體等高純氣體需求不斷增力口，要求也不斷增高?，F(xiàn)階段純度在99.999%以上高純氣體的充裝和儲(chǔ)運(yùn)時(shí)多選用高壓氣瓶，氣瓶?jī)?nèi)部油水含量等對(duì)高純氣體純度有很大影響。氣瓶?jī)?nèi)部含油量較多時(shí)，儲(chǔ)存氧化性氣體時(shí)氣體會(huì)氣瓶?jī)?nèi)部的油分反應(yīng)，對(duì)氣體純度產(chǎn)生影響甚至爆炸；氣瓶?jī)?nèi)部水分較多時(shí)，會(huì)對(duì)電子氣體中刻蝕氣體的刻蝕效果變差；因此，必須嚴(yán)格控制氣瓶?jī)?nèi)部油、水分含量，從而有效保證氣瓶?jī)?nèi)部?jī)?chǔ)存氣體的純度，避免氣體受到污染；氣瓶?jī)?nèi)的污染包括滲透、吸附與化學(xué)作用等，且氣瓶?jī)?nèi)部的光潔和干燥程度，亦對(duì)高純氣體純度有直接影響。高純氣體受污染后，氣體純度下降，內(nèi)部顆粒、水分等有害雜質(zhì)含量增加，使其成為不合格產(chǎn)品。因此，為保證高純氣體的純度,需要對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面進(jìn)行清洗處理且對(duì)氣瓶的內(nèi)表面質(zhì)量進(jìn)行有效檢測(cè)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的是提供一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及氣密性檢測(cè)方法。
[0004]本發(fā)明為完成上述目的采用如下技術(shù)方案:
一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法，所述氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法包括有清洗方法和氣密性檢測(cè)方法；
所述清洗方法的具體步驟如下:
1)對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面質(zhì)量研磨合格后的氣瓶進(jìn)行檢查，確認(rèn)氣瓶?jī)?nèi)表面不存在未研磨區(qū)、油潰、水分及銹蝕的缺陷，如氣瓶?jī)?nèi)表面存在缺陷，重新對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面進(jìn)行研磨，直至氣瓶?jī)?nèi)表面質(zhì)量研磨合格；
2)CC14溶液清洗:向氣瓶?jī)?nèi)部充入不低于氣瓶容積3/5的CC14溶液，隨后封閉氣瓶?jī)啥耍箽馄克睫D(zhuǎn)動(dòng)1.5?2.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的CC14溶液傾倒干凈，以達(dá)到除去氣瓶?jī)?nèi)部油分的目的；
3)異丙醇清洗:向完成CC14溶液清洗后且沒有CC14溶液殘留的氣瓶?jī)?nèi)充入不低于氣瓶容積3/5的異丙醇，隨后封閉氣瓶?jī)啥?，使氣瓶水平轉(zhuǎn)動(dòng)1.5?2.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的異丙醇傾倒干凈，以達(dá)到除去氣瓶?jī)?nèi)部剩余油分、CC14溶液的目的；
4)去離子水清洗:向完成異丙醇清洗后且沒有異丙醇溶液殘留的氣瓶?jī)?nèi)充入不低于氣瓶容積1/3的去離子水，并在去離子水中加入無機(jī)緩蝕劑，每升去離子水中無機(jī)緩蝕劑的加入量為3g，用以防止或減緩氣瓶銹蝕；隨后封閉氣瓶?jī)啥?，使氣瓶水平轉(zhuǎn)動(dòng)I?1.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的去離子水傾倒干凈；并在傾倒過程中收集去離子水溶液，并對(duì)其中的油含量進(jìn)行檢測(cè)，以確定氣瓶?jī)?nèi)部的油含量是否滿足相關(guān)要求；
5)加熱烘干:對(duì)氣瓶外壁進(jìn)行加熱，加熱溫度為110?150°C，加熱時(shí)間定為3.5?5.5h，在加熱過程中向氣瓶?jī)?nèi)部充入高純氮?dú)?，并進(jìn)行多次抽真空處理，完成后向氣瓶?jī)?nèi)部通入聞純氣氣；
6)檢驗(yàn):充入高純氮?dú)獾臍馄糠胖?0?40min后，提取氣瓶中一定量的氣體，對(duì)氣體中的油、水含量進(jìn)行檢測(cè)；當(dāng)氣體中油的含量不高于0.6ppm，水含量不高于2ppm即為合格；檢測(cè)合格后方可進(jìn)行下一道工序，檢測(cè)不合格則重新進(jìn)行處理，直至檢測(cè)合格為止；
7)端塞及閥門安裝:在檢驗(yàn)合格的氣瓶上安裝端塞和閥門。
[0005]對(duì)上述安裝后的氣瓶進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)的方法，所述的質(zhì)量檢測(cè)包括氣密性檢測(cè)、真空度檢測(cè)和油水含量檢測(cè)；其具體步驟如下:
1)氣密性檢測(cè):
a、采用厚度為0.0015英寸的塞尺對(duì)氣瓶端口與端塞之間的距離進(jìn)行檢測(cè)，以初步確定氣瓶與端塞之間的密封性，從而進(jìn)行初步漏率測(cè)試；若檢測(cè)不合格則重新進(jìn)行安裝，同支氣瓶經(jīng)兩次檢驗(yàn)不合格后進(jìn)行報(bào)廢處理；
b、向氣瓶?jī)?nèi)部充入壓力為0.2?0.6MPa的高純氮?dú)馀c高純氦氣的混合氣，高純氮?dú)馀c高純氦氣的重量比為15:1 ;隨后選用氦檢漏儀采用吸槍法對(duì)氣瓶端口與端塞連接處、端塞與閥門連接處的漏率進(jìn)行檢測(cè)；
C、向氣瓶?jī)?nèi)部沖入氣瓶工作壓力的高純氮?dú)膺M(jìn)行氣瓶氣密性檢測(cè)；對(duì)氣瓶系統(tǒng)進(jìn)行密封性檢測(cè)合格后，方可進(jìn)行下一道工序，如檢測(cè)不合格，則需重新處理，直至檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)入下一道工序；
2)、烘干抽真空:氣密性檢測(cè)合格后,放出氣瓶?jī)?nèi)部的氣體,隨后充入0.3MPa的高純氮?dú)?放置2h后對(duì)氣瓶外壁進(jìn)行加熱，加熱同時(shí)進(jìn)行抽真空處理,直至氣瓶?jī)?nèi)部真空度達(dá)到指標(biāo)要求；
3)、油水含量檢測(cè):烘干抽真空處理完成后，向氣瓶?jī)?nèi)部充入0.2MPa的高純氮?dú)?，放?2h后分別檢測(cè)氣瓶中和原始高純氮?dú)庵械挠退?，并確定其數(shù)值是否在指標(biāo)范圍之內(nèi)，若滿足相關(guān)指標(biāo)，則產(chǎn)品合格。
[0006]本發(fā)明提出的一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及氣密性檢測(cè)方法，經(jīng)過本發(fā)明清洗及質(zhì)量檢測(cè)后的氣瓶?jī)?nèi)表面油、水含量及密封性符合相關(guān)要求；同時(shí)，使氣瓶滿足內(nèi)表面油、水含量均滿足充裝純度不低于99.999%的高純氣體的要求，密封性良好等要求，保證了高純氣體的質(zhì)量，極大的降低了氣體的污染程度。

【具體實(shí)施方式】
[0007]結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明加以說明:
一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法，所述氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法包括有清洗方法和氣密性檢測(cè)方法；
所述清洗方法的具體步驟如下:
I)對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面質(zhì)量研磨合格后的氣瓶進(jìn)行檢查，確認(rèn)氣瓶?jī)?nèi)表面不存在未研磨區(qū)、油潰、水分及銹蝕的缺陷，如氣瓶?jī)?nèi)表面存在缺陷，重新對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面進(jìn)行研磨，直至氣瓶?jī)?nèi)表面質(zhì)量研磨合格；
2)CC14溶液清洗:向氣瓶?jī)?nèi)部充入不低于氣瓶容積3/5的CC14溶液，隨后封閉氣瓶?jī)啥?，使氣瓶水平轉(zhuǎn)動(dòng)1.5?2.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的CC14溶液傾倒干凈，以達(dá)到除去氣瓶?jī)?nèi)部油分的目的；
3)異丙醇清洗:向完成CC14溶液清洗后且沒有CC14溶液殘留的氣瓶?jī)?nèi)充入不低于氣瓶容積3/5的異丙醇，隨后封閉氣瓶?jī)啥?，使氣瓶水平轉(zhuǎn)動(dòng)1.5?2.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的異丙醇傾倒干凈，以達(dá)到除去氣瓶?jī)?nèi)部剩余油分、CC14溶液的目的；
4)去離子水清洗:向完成異丙醇清洗后且沒有異丙醇溶液殘留的氣瓶?jī)?nèi)充入不低于氣瓶容積1/3的去離子水，并在去離子水中加入無機(jī)緩蝕劑，每升去離子水中無機(jī)緩蝕劑的加入量為3g，用以防止或減緩氣瓶銹蝕；隨后封閉氣瓶?jī)啥?，使氣瓶水平轉(zhuǎn)動(dòng)I?1.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的去離子水傾倒干凈；并在傾倒過程中收集去離子水溶液，并對(duì)其中的油含量進(jìn)行檢測(cè)，以確定氣瓶?jī)?nèi)部的油含量是否滿足相關(guān)要求；
5)加熱烘干:對(duì)氣瓶外壁進(jìn)行加熱，加熱溫度為110?150°C，加熱時(shí)間定為3.5?5.5h，在加熱過程中向氣瓶?jī)?nèi)部充入高純氮?dú)?，并進(jìn)行多次抽真空處理，完成后向氣瓶?jī)?nèi)部通入聞純氣氣；
6)檢驗(yàn):充入高純氮?dú)獾臍馄糠胖?0?40min后，提取氣瓶中一定量的氣體，對(duì)氣體中的油、水含量進(jìn)行檢測(cè)；當(dāng)氣體中油的含量不高于0.6ppm，水含量不高于2ppm即為合格；檢測(cè)合格后方可進(jìn)行下一道工序，檢測(cè)不合格則重新進(jìn)行處理，直至檢測(cè)合格為止；
7)端塞及閥門安裝:在檢驗(yàn)合格的氣瓶上安裝端塞和閥門。
[0008]對(duì)上述安裝后的氣瓶進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)的方法，所述的質(zhì)量檢測(cè)包括氣密性檢測(cè)、真空度檢測(cè)和油水含量檢測(cè)；其具體步驟如下:
1)氣密性檢測(cè):
a、采用厚度為0.0015英寸的塞尺對(duì)氣瓶端口與端塞之間的距離進(jìn)行檢測(cè)，以初步確定氣瓶與端塞之間的密封性，從而進(jìn)行初步漏率測(cè)試；若檢測(cè)不合格則重新進(jìn)行安裝，同支氣瓶經(jīng)兩次檢驗(yàn)不合格后進(jìn)行報(bào)廢處理；
b、向氣瓶?jī)?nèi)部充入壓力為0.2?0.6MPa的高純氮?dú)馀c高純氦氣的混合氣，高純氮?dú)馀c高純氦氣的重量比為15:1 ;隨后選用氦檢漏儀采用吸槍法對(duì)氣瓶端口與端塞連接處、端塞與閥門連接處的漏率進(jìn)行檢測(cè)；
C、向氣瓶?jī)?nèi)部沖入氣瓶工作壓力的高純氮?dú)膺M(jìn)行氣瓶氣密性檢測(cè)；對(duì)氣瓶系統(tǒng)進(jìn)行密封性檢測(cè)合格后，方可進(jìn)行下一道工序，如檢測(cè)不合格，則需重新處理，直至檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)入下一道工序；
2)、烘干抽真空:氣密性檢測(cè)合格后,放出氣瓶?jī)?nèi)部的氣體,隨后充入0.3MPa的高純氮?dú)?放置2h后對(duì)氣瓶外壁進(jìn)行加熱，加熱同時(shí)進(jìn)行抽真空處理,直至氣瓶?jī)?nèi)部真空度達(dá)到指標(biāo)要求；
3)、油水含量檢測(cè):烘干抽真空處理完成后，向氣瓶?jī)?nèi)部充入0.2MPa的高純氮?dú)?，放?2h后分別檢測(cè)氣瓶中和原始高純氮?dú)庵械挠退?，并確定其數(shù)值是否在指標(biāo)范圍之內(nèi)，若滿足相關(guān)指標(biāo)，則產(chǎn)品合格。
【權(quán)利要求】
1.一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于:一種充裝高純氣體的氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法，所述氣瓶?jī)?nèi)表面清洗及質(zhì)量檢測(cè)方法包括有清洗方法和氣密性檢測(cè)方法； 所述清洗方法的具體步驟如下: 1)對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面質(zhì)量研磨合格后的氣瓶進(jìn)行檢查，確認(rèn)氣瓶?jī)?nèi)表面不存在未研磨區(qū)、油潰、水分及銹蝕的缺陷，如氣瓶?jī)?nèi)表面存在缺陷，重新對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面進(jìn)行研磨，直至氣瓶?jī)?nèi)表面質(zhì)量研磨合格； 2)CC14溶液清洗:向氣瓶?jī)?nèi)部充入不低于氣瓶容積3/5的CC14溶液，隨后封閉氣瓶?jī)啥?，使氣瓶水平轉(zhuǎn)動(dòng)1.5?2.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的CC14溶液傾倒干凈，以達(dá)到除去氣瓶?jī)?nèi)部油分的目的； 3)異丙醇清洗:向完成CC14溶液清洗后且沒有CC14溶液殘留的氣瓶?jī)?nèi)充入不低于氣瓶容積3/5的異丙醇，隨后封閉氣瓶?jī)啥耍箽馄克睫D(zhuǎn)動(dòng)1.5?2.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的異丙醇傾倒干凈，以達(dá)到除去氣瓶?jī)?nèi)部剩余油分、CC14溶液的目的； 4)去離子水清洗:向完成異丙醇清洗后且沒有異丙醇溶液殘留的氣瓶?jī)?nèi)充入不低于氣瓶容積1/3的去離子水，并在去離子水中加入無機(jī)緩蝕劑，每升去離子水中無機(jī)緩蝕劑的加入量為3g，用以防止或減緩氣瓶銹蝕；隨后封閉氣瓶?jī)啥耍箽馄克睫D(zhuǎn)動(dòng)I?1.5h后，將氣瓶?jī)?nèi)部的去離子水傾倒干凈；并在傾倒過程中收集去離子水溶液，并對(duì)其中的油含量進(jìn)行檢測(cè)，以確定氣瓶?jī)?nèi)部的油含量是否滿足相關(guān)要求； 5)加熱烘干:對(duì)氣瓶外壁進(jìn)行加熱，加熱溫度為110?150°C，加熱時(shí)間定為3.5?.5.5h，在加熱過程中向氣瓶?jī)?nèi)部充入高純氮?dú)?，并進(jìn)行多次抽真空處理，完成后向氣瓶?jī)?nèi)部通入聞純氣氣； 6)檢驗(yàn):充入高純氮?dú)獾臍馄糠胖?0?40min后，提取氣瓶中一定量的氣體，對(duì)氣體中的油、水含量進(jìn)行檢測(cè)；當(dāng)氣體中油的含量不高于0.6ppm，水含量不高于2ppm即為合格；檢測(cè)合格后方可進(jìn)行下一道工序，檢測(cè)不合格則重新進(jìn)行處理，直至檢測(cè)合格為止； 7)端塞及閥門安裝:在檢驗(yàn)合格的氣瓶上安裝端塞和閥門； 對(duì)上述安裝后的氣瓶進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)的方法，所述的質(zhì)量檢測(cè)包括氣密性檢測(cè)、真空度檢測(cè)和油水含量檢測(cè)；其具體步驟如下: 1)氣密性檢測(cè): a、采用厚度為0.0015英寸的塞尺對(duì)氣瓶端口與端塞之間的距離進(jìn)行檢測(cè)，以初步確定氣瓶與端塞之間的密封性，從而進(jìn)行初步漏率測(cè)試；若檢測(cè)不合格則重新進(jìn)行安裝，同支氣瓶經(jīng)兩次檢驗(yàn)不合格后進(jìn)行報(bào)廢處理； b、向氣瓶?jī)?nèi)部充入壓力為0.2?0.6MPa的高純氮?dú)馀c高純氦氣的混合氣，高純氮?dú)馀c高純氦氣的重量比為15:1 ;隨后選用氦檢漏儀采用吸槍法對(duì)氣瓶端口與端塞連接處、端塞與閥門連接處的漏率進(jìn)行檢測(cè)； C、向氣瓶?jī)?nèi)部沖入氣瓶工作壓力的高純氮?dú)膺M(jìn)行氣瓶氣密性檢測(cè)；對(duì)氣瓶系統(tǒng)進(jìn)行密封性檢測(cè)合格后，方可進(jìn)行下一道工序，如檢測(cè)不合格，則需重新處理，直至檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)入下一道工序； 2)、烘干抽真空:氣密性檢測(cè)合格后,放出氣瓶?jī)?nèi)部的氣體,隨后充入0.3MPa的高純氮?dú)?放置2h后對(duì)氣瓶外壁進(jìn)行加熱，加熱同時(shí)進(jìn)行抽真空處理,直至氣瓶?jī)?nèi)部真空度達(dá)到指標(biāo)要求； . 3)、油水含量檢測(cè):烘干抽真空處理完成后，向氣瓶?jī)?nèi)部充入0.2MPa的高純氮?dú)?，放?2h后分別檢測(cè)氣瓶中和原始高純氮?dú)庵械挠退?，并確定其數(shù)值是否在指標(biāo)范圍之內(nèi)，若滿足相關(guān)指標(biāo)，則產(chǎn)品合格。
【文檔編號(hào)】B08B9/22GK104458145SQ201410798087
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年12月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月22日
【發(fā)明者】張永峰, 鄧春鋒, 任方杰, 武春學(xué), 梅鵬程 申請(qǐng)人:洛陽雙瑞特種裝備有限公司