一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，用于工件腐蝕清洗裝置【技術(shù)領(lǐng)域】，包括按序排列的多個(gè)注液容器、設(shè)于各注液容器正下方的各排液容器，及清洗容器，在各注液容器與各排液容器之間設(shè)有一泵體，清洗容器通過(guò)一牽引裝置驅(qū)動(dòng)往復(fù)移動(dòng)，在各注液容器下端分別設(shè)有快注閥門，在所述清洗容器下端設(shè)有快排閥門，通過(guò)牽引裝置驅(qū)動(dòng)清洗容器定點(diǎn)移動(dòng)至不同注液容器下方以進(jìn)行不同性質(zhì)清洗處理。當(dāng)清洗容器移動(dòng)至一注液容器下方時(shí)，打開注液容器下端的快注閥門使位于其內(nèi)的腐蝕液體快速落下至清洗容器中，使工件浸泡在清洗容器中的腐蝕液體，待清洗完畢后，打開清洗容器下端的快排閥門，使腐蝕液體落入至排液容器中。
【專利說(shuō)明】一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及工件腐蝕清洗裝置【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅材料提純及硅片表面腐蝕處理、玻璃表面腐蝕強(qiáng)化處理、金屬件(如鐵、銅、鋁、不銹鋼等)在最終投入使用前需要對(duì)其表面進(jìn)行處理，利用酸堿等腐蝕液對(duì)其表面進(jìn)行腐蝕清洗處理是常見(jiàn)的表面清洗方式，現(xiàn)有技術(shù)中通常是采用機(jī)械手將待處理的工件(清洗籃)抓取依次放入裝有不同清洗液的清洗槽中從而達(dá)到對(duì)工件表面的清洗處理，由于清洗槽中的液體及其揮發(fā)物具有腐蝕性，會(huì)對(duì)機(jī)械手存在不同程度的腐蝕影響，為確保機(jī)械手能正常運(yùn)轉(zhuǎn)及減少機(jī)械手的腐蝕損壞，設(shè)備在設(shè)計(jì)、制作中要對(duì)機(jī)械手的結(jié)構(gòu)、布置及其防護(hù)措施投入更多的精力和財(cái)力，增加了很多的裝置，加大了制作難度和成本，后續(xù)使用階段還需要定期頻繁維護(hù)處理，這樣大大增大維護(hù)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用成本低的全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案:一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，包括按序排列的多個(gè)注液容 器、設(shè)于各注液容器正下方的各排液容器，及設(shè)于注液容器與排液容器之間的一個(gè)清洗容器，在各所述注液容器與各排液容器之間設(shè)有一泵體以將各排液容器中的液體泵至位于上方的各注液容器中，所述清洗容器通過(guò)一牽引裝置驅(qū)動(dòng)按序依次到達(dá)各注液容器下方，在各所述注液容器下端分別設(shè)有快注閥門，在所述清洗容器下端設(shè)有快排閥門。
[0005]進(jìn)一步作為本實(shí)用新型技術(shù)方案的改進(jìn)，在所述清洗容器內(nèi)設(shè)有一工件拋動(dòng)裝置，所述工件拋動(dòng)裝置包括一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、設(shè)于清洗容器內(nèi)清洗籃，及設(shè)于驅(qū)動(dòng)電機(jī)與清洗籃之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)清洗籃旋轉(zhuǎn)。
[0006]進(jìn)一步作為本實(shí)用新型技術(shù)方案的改進(jìn)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩并列的滾輪軸、設(shè)于兩滾輪軸上的滾輪，及設(shè)于兩滾輪軸與驅(qū)動(dòng)電機(jī)之間的鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述清洗籃置于滾輪上由滾輪帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
[0007]進(jìn)一步作為本實(shí)用新型技術(shù)方案的改進(jìn)，在所述清洗容器內(nèi)還設(shè)有一鼓泡裝置，所述鼓泡裝置包括一端伸入至清洗容器中的鼓泡管和設(shè)于所述鼓泡管另一端的流量計(jì)和電磁閥。
[0008]進(jìn)一步作為本實(shí)用新型技術(shù)方案的改進(jìn)，所述牽引裝置包括設(shè)于注液容器與排液容器之間的導(dǎo)軌、設(shè)于清洗容器下端且滑動(dòng)連接于導(dǎo)軌上的導(dǎo)輪，及一牽引驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述牽引驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)清洗容器沿導(dǎo)軌移動(dòng)至預(yù)定位置。
[0009]有益效果:此全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置將工件裝入至清洗容器中通過(guò)牽引裝置驅(qū)動(dòng)清洗容器定點(diǎn)移動(dòng)至不同注液容器下方以進(jìn)行不同性質(zhì)清洗處理。當(dāng)清洗容器移動(dòng)至一注液容器下方時(shí)，打開注液容器下端的快注閥門使位于其內(nèi)的腐蝕液體快速落下至清洗容器中，使工件浸泡在清洗容器中的腐蝕液體，待清洗完畢后，打開清洗容器下端的快排閥門，使腐蝕液體落入至排液容器中，再利用泵體將排液容器中的腐蝕液體泵至上方的注液容器以重復(fù)循環(huán)利用。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明；
[0011]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中牽引裝置的主視圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中牽引裝置的側(cè)視圖；
[0014]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中工件拋動(dòng)裝置的主視圖；
[0015]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例中工件拋動(dòng)裝置的側(cè)視圖；
[0016]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例中鼓泡裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]參照?qǐng)D1至圖6，本實(shí)用新型一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，包括按序排列的多個(gè)注液容器10、設(shè)于各注液容器10正下方的各排液容器20,及設(shè)于注液容器10與排液容器20之間的一個(gè)清洗容器30，在各注液容器10與各排液容器20之間設(shè)有一泵體以將各排液容器20中的液體泵至位于上方的各注液容器10中，清洗容器30通過(guò)一牽引裝置40驅(qū)動(dòng)按序依次到達(dá)各注液容器10下方，在各所述注液容器10下端分別設(shè)有快注閥門11，在清洗容器30下端設(shè)有快排閥門31。
[0018]在本實(shí)施例中，注液容器10為多個(gè)，按不同清洗工序按序排列布置，排液容器20也為多個(gè)，布置在注液容器10正下方，各注液容器10與各排液容器20 對(duì)應(yīng)，在注液容器10中可裝有不同性質(zhì)腐蝕液供工件腐蝕清洗用，清洗容器30為一個(gè)，由牽引裝置40驅(qū)動(dòng)定點(diǎn)往復(fù)移動(dòng)，待處理的工件裝入清洗容器30中，按序定點(diǎn)移動(dòng)至不同注液容器10下方以進(jìn)行不同性質(zhì)清洗處理。當(dāng)清洗容器30移動(dòng)至一注液容器10下方時(shí)，打開注液容器10下端的快注閥門11使位于其內(nèi)的腐蝕液體快速落下至清洗容器30中，使工件浸泡在清洗容器30中的腐蝕液體，待清洗完畢后，打開清洗容器30下端的快排閥門31，使腐蝕液體落入至排液容器20中，再利用泵體將排液容器20中的腐蝕液體泵至上方的注液容器10以重復(fù)循環(huán)利用。
[0019]當(dāng)腐蝕液體落入清洗容器30中時(shí)，清洗容器30中還設(shè)有一工件拋動(dòng)裝置50來(lái)驅(qū)動(dòng)工件旋轉(zhuǎn)拋動(dòng)，作為優(yōu)選，工件拋動(dòng)裝置50包括一驅(qū)動(dòng)電機(jī)51、設(shè)于清洗容器內(nèi)清洗籃52,及設(shè)于驅(qū)動(dòng)電機(jī)51與清洗籃52之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)53，驅(qū)動(dòng)電機(jī)51通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)53驅(qū)動(dòng)清洗籃52旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)53包括兩并列的滾輪軸531、設(shè)于兩滾輪軸531上的滾輪532，及設(shè)于兩滾輪軸531與驅(qū)動(dòng)電機(jī)51之間的鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，清洗籃52置于滾輪532上由滾輪532帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，具體地，驅(qū)動(dòng)電機(jī)51提供動(dòng)力通過(guò)鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)傳遞至兩并列的滾輪軸531和滾輪532作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，放置在滾輪532上的清洗籃52在摩擦力的作用下產(chǎn)生與滾輪532旋轉(zhuǎn)方向相反的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，清洗籃52帶動(dòng)工件運(yùn)動(dòng)使工件與腐蝕液體產(chǎn)生揉搓沖刷的清洗效果。當(dāng)然還可通過(guò)PLC控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)51正、反轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)51的急促正、反轉(zhuǎn)帶動(dòng)清洗籃52產(chǎn)生激烈地拋動(dòng)動(dòng)作，進(jìn)而使工件與腐蝕液體產(chǎn)生激烈地沖刷清洗動(dòng)作。
[0020]在清洗容器30內(nèi)設(shè)有一鼓泡裝置60，作為優(yōu)選，鼓泡裝置60包括一端伸入至清洗容器30中的鼓泡管61和設(shè)于鼓泡管61另一端的流量計(jì)62和電磁閥63。具體地，伸入至清洗容器30中鼓泡管61 —端開有多個(gè)出氣口，而在鼓泡管61另一端通入氮?dú)饣蚩諝?，氣體通過(guò)出氣口冒出，在清洗容器30中的腐蝕液體中形成大量的氣泡，使腐蝕液體產(chǎn)生對(duì)流，使腐蝕液體更均勻，氣泡在逃逸過(guò)程中與工件碰撞產(chǎn)生振動(dòng)的清洗效果，在鼓泡管61另一端安裝流量計(jì)62和電磁閥63，通過(guò)PLC控制電磁閥63開閉，流量計(jì)62控制氣體流量，控制鼓泡程度。
[0021]牽引裝置40控制清洗容器30定點(diǎn)來(lái)回往復(fù)移動(dòng)，作為優(yōu)選，牽引裝置40包括設(shè)于注液容器10與排液容器20之間的導(dǎo)軌41、設(shè)于清洗容器30下端且滾動(dòng)連接于導(dǎo)軌41上的導(dǎo)輪42，及一牽引驅(qū)動(dòng)電機(jī)43，牽引驅(qū)動(dòng)電機(jī)43通過(guò)鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)清洗容器30沿導(dǎo)軌41移動(dòng)至預(yù)定位置。具體地，導(dǎo)軌41按預(yù)定線路布置位于注液容器10與排液容器20之間，清洗容器30通過(guò)導(dǎo)輪42與導(dǎo)軌41配合置于導(dǎo)軌41上，鏈條固定連接至清洗容器30兩側(cè)端，牽引驅(qū)動(dòng)電機(jī)43提供動(dòng)力通過(guò)鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)清洗容器30沿導(dǎo)軌41移動(dòng)準(zhǔn)確達(dá)到各注液容器10下方進(jìn)行工件不同性質(zhì)的清洗。
[0022]上述中的鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)當(dāng)然還可選擇其他等同的機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)如帶輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)或齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等等。
[0023]需要特別指出的是，上述有機(jī)會(huì)接觸到腐蝕液體或暴露在腐蝕揮發(fā)氣體中的各零部件都是耐腐蝕材料制作或經(jīng)過(guò)處理的耐腐蝕零部件。
[0024]本實(shí)用新型一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置具體工件腐蝕清洗過(guò)程如下:自動(dòng)或人工將工件裝入清洗容器30中，通過(guò)PLC控制牽引裝置40動(dòng)作驅(qū)動(dòng)清洗容器30移動(dòng)至清洗工位，工位定位由定位光電開關(guān)和行程開關(guān)控制，感應(yīng)到清洗容器30就位后快注閥門11打開，開始向清洗容器30內(nèi)快速注液，注液容器10液位下降到低液位后快注閥門11關(guān)閉，清洗容器30注入定量的腐蝕液體后，工件拋動(dòng)裝置50和鼓泡裝置60工作，對(duì)工件進(jìn)行全方位腐蝕清洗，在這期間泵體會(huì)把排液容器20內(nèi)的腐蝕液體泵到上方的注液容器10內(nèi)以備第二次清洗使用，腐蝕清洗工作完成后，快排閥門31打開開始排液，到徹底排空的時(shí)間后快排閥門31關(guān)閉，通過(guò)PLC控制牽引裝置40帶動(dòng)清洗容器30移動(dòng)至下一個(gè)清洗工位，再開始重復(fù)注液、清洗、排液、移位的動(dòng)作，直至一次完整的清洗過(guò)程完成，取下清洗容器30中的工件后，清洗容器30復(fù)位到初始位置以進(jìn)行下一次清洗過(guò)程。
[0025]上面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式作了詳細(xì)說(shuō)明，但是本實(shí)用新型不限于上述實(shí)施方式，在所述【技術(shù)領(lǐng)域】普通技術(shù)人員所具備的知識(shí)范圍內(nèi)，還可以在不脫離本實(shí)用新型宗旨的前提下作出各種變化。
【權(quán)利要求】
1.一種全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，其特征在于:包括按序排列的多個(gè)注液容器、設(shè)于各注液容器正下方的各排液容器，及設(shè)于注液容器與排液容器之間的一個(gè)清洗容器，在各所述注液容器與各排液容器之間設(shè)有一泵體以將各排液容器中的液體泵至位于上方的各注液容器中，所述清洗容器通過(guò)一牽引裝置驅(qū)動(dòng)按序依次到達(dá)各注液容器下方，在各所述注液容器下端分別設(shè)有快注閥門，在所述清洗容器下端設(shè)有快排閥門。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，其特征在于:在所述清洗容器內(nèi)設(shè)有一工件拋動(dòng)裝置，所述工件拋動(dòng)裝置包括一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、設(shè)于清洗容器內(nèi)清洗籃，及設(shè)于驅(qū)動(dòng)電機(jī)與清洗籃之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)清洗籃拋動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，其特征在于:所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩并列的滾輪軸、設(shè)于兩滾輪軸上的滾輪，及設(shè)于兩滾輪軸與驅(qū)動(dòng)電機(jī)之間的鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述清洗籃置于滾輪上由滾輪帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，其特征在于:在所述清洗容器內(nèi)還設(shè)有一鼓泡裝置，所述鼓泡裝置包括一端伸入至清洗容器中的鼓泡管和設(shè)于所述鼓泡管另一端的流量計(jì)和電磁閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的全自動(dòng)化的腐蝕清洗裝置，其特征在于:所述牽引裝置包括設(shè)于注液容器與排液容器之間的導(dǎo)軌、設(shè)于清洗容器下端且滾動(dòng)連接于導(dǎo)軌上的導(dǎo)輪，及一牽引驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述牽引驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)鏈輪鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)清洗容器沿導(dǎo)軌移動(dòng)至預(yù)定位置。
【文檔編號(hào)】B08B3/08GK203648905SQ201320708303
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2013年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月8日
【發(fā)明者】楊正朝, 覃保和, 彭勇 申請(qǐng)人:楊正朝