專利名稱：一種擴(kuò)散石英舟清洗槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種擴(kuò)散石英舟清洗槽技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種清洗槽，特別是涉及一種用于清洗擴(kuò)散石英舟的清洗槽。
背景技術(shù)：
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，石英舟清洗槽作為清洗液的盛放容器，工人在清洗槽內(nèi)倒入清洗液， 然后將石英舟放入清洗槽體，清洗過(guò)程中，石英舟與清洗液幾乎沒(méi)有相對(duì)的運(yùn)動(dòng)，石英舟清 洗以浸泡為主，如配備人員手工清洗將耗費(fèi)大量人工而且也較難以達(dá)到很好的清潔效果。 在過(guò)程中如果石英舟得不到全面的清洗，則會(huì)有污染物殘留，由于石英舟清洗不干凈，從而 容易造成硅片在擴(kuò)散過(guò)程被污染。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種擴(kuò)散石英舟清洗槽，解決原有清洗槽僅僅作為清 洗液的容器，無(wú)妨對(duì)擴(kuò)散石英舟進(jìn)行徹底清潔的問(wèn)題。[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣的，一種擴(kuò)散石英舟清洗槽， 包括槽體，其特征在于，所述槽體的兩個(gè)相對(duì)側(cè)面對(duì)稱設(shè)有承接器，所述承接器由底座和固 定爪組成，所述固定爪為三根設(shè)置在底座圓周三等分處的圓柱體，其中一根圓柱體設(shè)有可 彎折部，所述承接器通過(guò)軸承與槽體連接，所述槽體側(cè)面還設(shè)有電機(jī)，電機(jī)與承接器連接驅(qū) 動(dòng)其旋轉(zhuǎn)。[0005]為了使石英舟能更加牢固地固定在承接器上，保證石英舟在旋轉(zhuǎn)時(shí)不脫落，所述 固定爪設(shè)有膠質(zhì)防滑套。[0006]本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)在于，利用承接器固定石英舟，并且通過(guò)電 機(jī)的驅(qū)動(dòng)使得石英舟在清洗槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)，達(dá)到增強(qiáng)清潔效果的目的。


[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；[0008]圖2為承接器的結(jié)構(gòu)示意圖；[0009]圖3為承接器的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
[0010]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。[0011]一種擴(kuò)散石英舟清洗槽，包括槽體1，槽體I的兩個(gè)相對(duì)側(cè)面對(duì)稱設(shè)有承接器2，承 接器2由底座21和固定爪22組成，固定爪22為三根設(shè)置在底座圓周三等分處的圓柱體， 其中一根圓柱體設(shè)有可彎折部23，固定爪22設(shè)有膠質(zhì)防滑套24。承接器2通過(guò)軸承與槽 體I連接，槽體I側(cè)面還設(shè)有電機(jī)3，電機(jī)3與承接器2連接驅(qū)動(dòng)其旋轉(zhuǎn)。需清洗石英舟時(shí)， 彎折固定爪2的可彎折部23，將石英舟4放置在承接器2內(nèi)之后將可彎折部23復(fù)位，固定 爪2將石英舟4固定，在清洗槽槽體I內(nèi)倒入清洗液后，電機(jī)3驅(qū)動(dòng)承接器2旋轉(zhuǎn)，即使得石英舟4在槽體I內(nèi)同步旋轉(zhuǎn)，增強(qiáng)清潔效果。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散石英舟清洗槽，包括槽體(I)，其特征在于，所述槽體(I)的兩個(gè)相對(duì)側(cè)面對(duì)稱設(shè)有承接器(2)，所述承接器(2)由底座(21)和固定爪(22)組成，所述固定爪(22)為三根設(shè)置在底座圓周三等分處的圓柱體，其中一根圓柱體設(shè)有可彎折部(23)，所述承接器(2)通過(guò)軸承與槽體(I)連接，所述槽體(I)側(cè)面還設(shè)有電機(jī)(3)，電機(jī)(3)與承接器(2)連接驅(qū)動(dòng)其旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散石英舟清洗槽，其特征在于所述固定爪(22)設(shè)有膠質(zhì)防滑套(24)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種擴(kuò)散石英舟清洗槽，包括槽體，所述槽體的兩個(gè)相對(duì)側(cè)面對(duì)稱設(shè)有承接器，所述承接器由底座和固定爪組成，所述固定爪為三根設(shè)置在底座圓周三等分處的圓柱體，其中一根圓柱體設(shè)有可彎折部，所述承接器通過(guò)軸承與槽體連接，所述槽體側(cè)面還設(shè)有電機(jī)，電機(jī)與承接器連接驅(qū)動(dòng)其旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型利用承接器固定石英舟，并且通過(guò)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)使得石英舟在清洗槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)，達(dá)到增強(qiáng)清潔效果的目的。
文檔編號(hào)B08B3/10GK202860906SQ201220491380
公開(kāi)日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2012年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月25日
發(fā)明者蔡曉晨, 王敬蕊 申請(qǐng)人:國(guó)電光伏(江蘇)有限公司