專利名稱：密閉式集塵吹氣機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型系與制品去塵有關(guān)，更詳而言之是指一種密閉式集塵吹氣機。
背景技術(shù)：
隨著科技產(chǎn)業(yè)的進步，如半導(dǎo)體、光電、醫(yī)藥、食品等精密工業(yè)中亦日漸發(fā)達。而上述工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量、可靠性以及良率高低與制造環(huán)境與制造過程的潔凈程度有著極大的關(guān)系。 對于微塵顆粒有極為嚴格要求的晶圓廠潔凈室，經(jīng)常利用人工進行高壓空氣吹除或以真空吸取方式，去除附著于對象表面的微塵，不僅清潔無法達到最佳的效果，且吹氣產(chǎn)生的擾流亦會引起微塵顆粒飛濺四射于潔凈室內(nèi)，進而造成潔凈室污染，降低潔凈室的等級。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種密閉式集塵吹氣機，具有良好的去塵效果，而可大幅地減少微塵附著于待處理物上的情形。緣以達成上述目的，本實用新型所提供的一種密閉式集塵吹氣機，用以去除一待處理物上的微塵；該密閉式集塵吹氣機包含有一機臺；—置具，設(shè)于該機臺上，該待處理物置放于其上，且該置具相對該機臺呈一角度傾斜；至少一離子風(fēng)扇，設(shè)于該機臺上，且位于該置具上方；一風(fēng)力裝置，設(shè)于該機臺上，且位于該置具上方，相對該置具移動；以及一集塵裝置，設(shè)于該機臺上，且位于該置具的下方。依據(jù)上述構(gòu)思，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機臺連接；該承架用以供該待處理物置放，且該承架一側(cè)與該樞軸連接，而可相對該樞軸樞擺，使該承架往一方向傾斜。依據(jù)上述構(gòu)思，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機臺連接；該承架用以供該待處理物置放，且該承架中央與該樞軸連接，而可相對該樞軸樞擺，使該承架往相反的兩方向傾斜。依據(jù)上述構(gòu)思，該風(fēng)力裝置的移動方向平行于該樞軸。依據(jù)上述構(gòu)思，該風(fēng)力裝置用以往該置具的方向吹出垂直于該樞軸的片狀風(fēng)壓。依據(jù)上述構(gòu)思，該機臺具有一去塵室；該置具、該離子風(fēng)扇與該風(fēng)力裝置設(shè)于該去塵室中；該集塵裝置設(shè)于該去塵室下方，用以抽離該去塵室中的空氣。依據(jù)上述構(gòu)思，該風(fēng)力裝置的兩側(cè)分別具有至少一入風(fēng)口，且底部具有一呈細長狀的出風(fēng)口 ；加壓后的空氣由所述入風(fēng)口輸入后，由該出風(fēng)口吹出。本實用新型的有益效果是通過上述設(shè)計，該密閉式集塵吹氣機將可具有良好的去塵效果。

為能更清楚地說明本實用新型，以下列舉較佳 實施例并配合附圖詳細說明如后，其中圖I為本實用新型第一較佳實施例的外觀圖；圖2為本實用新型第一較佳實施例的透視圖；圖3為本實用新型第一較佳實施例的側(cè)視圖；圖4為本實用新型第一較佳實施例的正視圖；圖5為本實用新型風(fēng)力裝置的立體圖；圖6為本實用新型第二較佳實施例的側(cè)視圖。
具體實施方式
請參閱圖I及圖2，本實用新型第一較佳實施例的密閉式集塵吹氣機包含有一機體10、一置具20、一風(fēng)力裝置30、兩臺離子風(fēng)扇40、以及一集塵裝置50。其中該機體10具有一去塵室12以及一容置空間14，且該去塵室12位于該容置空間14上方。該置具20設(shè)于該去塵室12中，且包含有一樞軸22以及一承架24。該樞軸22與該機臺10連接。該承架24用以供一待處理物(如晶圓、面板、電路板等)100置放。請參閱圖3，該承架24 —側(cè)與該樞軸22連接，而可相對該樞軸22樞擺，使該承架24往一方向相對該機體10于一角度內(nèi)傾斜。于本實施例中，該承架24最大傾角可達25度。使用者可依其使用需求，使該承架24于0-25度的范圍內(nèi)傾斜。該風(fēng)力裝置30設(shè)于該去塵室12中，且位于該置具20上方。請參閱圖4，該風(fēng)力裝置30可相對該置具20移動，且其移動方向平行于該置具20的樞軸22。續(xù)參閱圖5，該風(fēng)力裝置30的兩側(cè)分別具有多個入風(fēng)口 32，用以供加壓后的空氣輸入。而自所述入風(fēng)口 32輸入的空氣，將從下方呈細長狀的出風(fēng)口 34輸出，以往該置具20的方向吹出垂直于該樞軸22的片狀風(fēng)壓。所述離子風(fēng)扇40設(shè)于該去塵室12中，且位于該風(fēng)力裝置30的兩側(cè)，而位于該置具20上方。所述離子風(fēng)扇40用以產(chǎn)生一定數(shù)量的離子布滿該去塵室12。該集塵裝置50設(shè)于該去塵室12下方的容置空間14中，用以往該置具20的方向抽氣，以將該去塵室12中的空氣抽離。由此，通過上述設(shè)計，當使用者欲去除該待處理物100上的微塵時，則先將該待處理物100置放于該去塵室12中的該承架24上后，將該承架24傾斜。之后，封閉該去塵室12，并啟動所述離子風(fēng)扇40與該集塵裝置50。以通過所述離子風(fēng)扇40產(chǎn)生的離子，中和微塵上的靜電，使微塵不再吸附于該待處理物100上，再通過所述離子風(fēng)扇40吹出的微風(fēng)量，將較為細小的微塵吹離該待處理物100的表面，并通過集塵裝置50抽離吹離的微塵。而后,啟動該風(fēng)力裝置30，并使該風(fēng)力裝置30相對該置具20移動。以通過該風(fēng)力裝置30所產(chǎn)生呈片狀的強力風(fēng)壓，一邊移動一邊將該待處理物100上的微塵依序吹離，并通過該集塵裝置50迅速地抽離所吹起的微塵，以有效地除去該待處理物100上的微塵。另外，除上述結(jié)構(gòu)設(shè)計外，請參閱圖6，為本實用新型第二實施例的密閉式集塵吹氣機，與前一實施例不同的處在于其置具60的承架64是于其中央處與樞軸62連接，且同樣可相對該樞軸62樞擺。由此，通過上述的設(shè)計，便可使該承架64往相反的兩方向傾斜，而使得置放于該承架64上的待處理物100于不同方向受到吹拂，進而提升該密閉式集塵吹氣機的去塵效果。值得一提的是，上述承架24、64傾斜的設(shè)計，可使吹風(fēng)裝置30與離子風(fēng)扇40吹出的風(fēng)有效地作用于該待處理物100上，進而加強去塵的效果，以大幅地減少微塵附著于該待處理物100上的情形。另外，通過該去塵室12的設(shè)計，吹氣產(chǎn)生的擾流引起微塵顆粒飛濺，便不會四射于工作區(qū)域內(nèi)，而不會造成工作區(qū)域污染。以上所述僅為本實用新型較佳可行實施例而已，凡是應(yīng)用本實用新型說明書及申 請專利范圍所為的等效結(jié)構(gòu)變化，理應(yīng)包含在本實用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種密閉式集塵吹氣機，用以去除一待處理物上的微塵；其特征在于，該密閉式集塵吹氣機包含有 一機臺； 一置具，設(shè)于該機臺上，該待處理物置放于其上，且該置具相對該機臺呈一角度傾斜； 至少一離子風(fēng)扇，設(shè)于該機臺上，且位于該置具上方； 一風(fēng)力裝置，設(shè)于該機臺上，且位于該置具上方，相對該置具移動；以及 一集塵裝置，設(shè)于該機臺上，且位于該置具的下方。
2.如權(quán)利要求I所述的密閉式集塵吹氣機，其特征在于，其中，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機臺連接；該承架供該待處理物置放，且該承架一側(cè)與該樞軸連接，而可相對該樞軸樞擺，使該承架往一方向于該角度內(nèi)傾斜。
3.如權(quán)利要求I所述的密閉式集塵吹氣機，其特征在于，其中，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機臺連接；該承架供該待處理物置放，且該承架中央與該樞軸連接，而可相對該樞軸樞擺，使該承架往相反的兩方向傾斜。
4.如權(quán)利要求2或3所述的密閉式集塵吹氣機，其特征在于，其中，該風(fēng)力裝置的移動方向平行于該樞軸。
5.如權(quán)利要求2或3所述的密閉式集塵吹氣機，其特征在于，其中，該風(fēng)力裝置往該置具的方向吹出垂直于該樞軸的片狀風(fēng)壓。
6.如權(quán)利要求I所述的密閉式集塵吹氣機，其特征在于，其中，該機臺具有一去塵室；該置具、該離子風(fēng)扇與該風(fēng)力裝置設(shè)于該去塵室中；該集塵裝置設(shè)于該去塵室下方。
7.如權(quán)利要求I所述的密閉式集塵吹氣機，其特征在于，其中，該風(fēng)力裝置的兩側(cè)分別具有至少一入風(fēng)口，且底部具有一呈細長狀的出風(fēng)口。
專利摘要一種密閉式集塵吹氣機，用以去除一待處理物上的微塵；該密閉式集塵吹氣機包含有一機臺、一置具、至少一離子風(fēng)扇、一風(fēng)力裝置、以及一集塵裝置；其中，該置具設(shè)于該機臺上，用以供該待處理物置放，且該置具可相對該機臺呈一角度傾斜；該離子風(fēng)扇設(shè)于該機臺上，且位于該置具上方，用以產(chǎn)生一定數(shù)量的離子于該機臺中；該風(fēng)力裝置設(shè)于該機臺上，且位于該置具上方，用以往該置具的方向產(chǎn)生風(fēng)壓，并可相對該置具移動；該集塵裝置設(shè)于該機臺上，且位于該置具的下方，用以往該置具的方向抽氣。
文檔編號B08B5/00GK202779050SQ20122035103
公開日2013年3月13日 申請日期2012年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月19日
發(fā)明者賴振元 申請人:賴振元