專利名稱：非晶硅薄膜太陽能電池pecvd基片裝載箱清潔系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)線中的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)中，將TCO玻璃裝入立式基片裝載箱，加熱到一定溫度后使用PECVD法在TCO玻璃基片上沉積非晶硅薄膜，在沉積過程不可避免的會有非晶硅等顆粒附著于裝載箱體內(nèi)。PECVD過程是整個電池生產(chǎn)的關(guān)鍵步驟，裝載TCO玻璃的基片裝載箱必須保持潔凈，否則將影響非晶硅膜層的質(zhì)量進而影響整個太陽能電池的質(zhì)量。一般基片裝載箱在使用4飛次后必須徹底清潔一次。 目前基片裝載箱的清潔一般采用人工清潔和機械清潔。由于基片裝載箱結(jié)構(gòu)的復雜性，鋁板之間的間距非常小，清潔死角很多，清潔難度大。無論是采用人工還是機械方法清潔，都難以保證裝載箱內(nèi)的潔凈。而將基片裝載箱分拆清潔的方法，雖然可以保證清潔度，但工作量很大，影響工作效率，甚至可能減慢整個生產(chǎn)節(jié)拍。因此對基片裝載箱清潔是PECVD工藝中不可忽略的難題。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠方便地對非非晶硅薄膜太陽電池PECVD基片裝載箱進行清潔、清潔效果好、效率高的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)。本實用新型的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)包括有一個清潔箱，太陽能電池PECVD基片裝載箱可安置在清潔箱上部，所述清潔箱的底部設(shè)置有雜質(zhì)收集斗；所述清潔箱通過蒸汽管道與蒸汽發(fā)生裝置連接，并可對清潔箱內(nèi)進行蒸汽熏蒸；清潔箱上還設(shè)置有安裝有泄壓閥的排汽口 ；該系統(tǒng)還包括有一個可對熏蒸后的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱進行加熱干燥的烘箱。所述清潔箱的一側(cè)設(shè)置有一個可打開的密封門，清潔箱內(nèi)設(shè)置有可對非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱的送入進行導向的導軌。所述雜質(zhì)收集斗上方還設(shè)置有多孔鋼板。所述蒸汽發(fā)生裝置包括有一個加熱水箱，加熱水箱內(nèi)設(shè)置有電加熱裝置，加熱水箱上設(shè)置有進水口和與所述蒸汽管道連接的蒸汽出口。本實用新型可以對裝載箱進行蒸汽熏蒸、冷卻、烘箱加熱烘干、再冷卻的交替處理，使附著在裝載箱內(nèi)壁的雜質(zhì)形態(tài)因外部條件的交替變化而發(fā)生變形，從而自然剝落，簡化了清潔過程、提高了清潔效率、改善了清潔效果。

圖I是本實用新型的清潔箱及熏蒸部分的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖所示，該非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)包括有一個清潔箱1，太陽能電池PECVD基片裝載箱2可安置在清潔箱上部，清潔箱I的底部設(shè)置有雜質(zhì)收集斗16 ;清潔箱I通過蒸汽管道3與蒸汽發(fā)生裝置4連接，并可對清潔箱內(nèi)進行蒸汽熏蒸；清潔箱上還設(shè)置有安裝有泄壓閥11的排汽口 12 ;該系統(tǒng)還包括有一個可對熏蒸后的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱進行加熱干燥的烘箱(圖中未給出)。清潔箱I的一側(cè)設(shè)置有一個可打開的密封門13，清潔箱I內(nèi)設(shè)置有可對非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱2的送入進行導向的導軌14。雜質(zhì)收集斗16與太陽能電池PECVD基片裝載箱之間還設(shè)置有多孔鋼板15。蒸汽發(fā)生裝置4包括有一個加熱水箱41，加熱水箱內(nèi)設(shè)置有電加熱裝置42，加熱水箱上設(shè)置有進水口 43和與所述蒸汽管道連接的蒸汽出口 44。 本采用實用新型系統(tǒng)的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔步驟是先將非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱2安置在圖I所示的清潔箱I中，通過蒸汽發(fā)生裝置4通入水蒸汽加熱熏蒸30 - 60分鐘后，將非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱移出清潔箱自然冷卻10分鐘，再將非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱移至烘箱中加熱至150°C，保溫30分鐘，再移出烘箱冷卻，完成非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱的清潔。該清潔過程中，先用水蒸汽熏蒸基片裝載箱，高溫水蒸氣減小硅膜與裝載箱之間的附著力，能去除一部分的硅膜雜質(zhì)；然后高溫烘干水分，使吸水的硅膜因失水而萎縮變形，從箱體上脫落。
權(quán)利要求1.一種非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)，其特征是它包括有一個清潔箱(I )，清潔箱(I)的底部設(shè)置有雜質(zhì)收集斗(16);清潔箱(I)通過蒸汽管道(3)與蒸汽發(fā)生裝置(4)連接，并可對清潔箱內(nèi)進行蒸汽熏蒸；清潔箱上還設(shè)置有安裝有泄壓閥(11)的排汽口(12);該系統(tǒng)還包括有一個可對熏蒸后的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱進行加熱干燥的烘箱。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)，其特征是蒸汽發(fā)生裝置(4)包括有一個加熱水箱(41)，加熱水箱內(nèi)設(shè)置有電加熱裝置(42)，加熱水箱上設(shè)置有進水口(43)和與所述蒸汽管道連接的蒸汽出口(44)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)，其特征是清潔箱(I)的一側(cè)設(shè)置有一個可打開的密封門(13)，清潔箱(I)內(nèi)設(shè)置有可對非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱的送入進行導向的導軌(14)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)，其特征是雜質(zhì)收集斗(16)上方設(shè)置有多孔鋼板(15)。
專利摘要本實用新型涉及一種非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔系統(tǒng)。其系統(tǒng)包括有一個清潔箱，太陽能電池PECVD基片裝載箱可安置在清潔箱上部，所述清潔箱的底部設(shè)置有雜質(zhì)收集斗；所述清潔箱通過蒸汽管道與蒸汽發(fā)生裝置連接，并可對清潔箱內(nèi)進行蒸汽熏蒸；清潔箱上還設(shè)置有安裝有泄壓閥的排汽口；該系統(tǒng)還包括有一個可對熏蒸后的非晶硅薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱進行加熱干燥的烘箱。本實用新型可以對裝載箱進行蒸汽熏蒸、冷卻、烘箱加熱烘干、再冷卻的交替處理，使附著在裝載箱內(nèi)壁的雜質(zhì)形態(tài)因外部條件的交替變化而發(fā)生變形，從而自然剝落，簡化了清潔過程、提高了清潔效率、改善了清潔效果。
文檔編號B08B9/22GK202667210SQ201220247038
公開日2013年1月16日 申請日期2012年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月30日
發(fā)明者何文, 俞遠高, 徐娜, 成惠峰, 孫大會 申請人:圣睿太陽能科技(鎮(zhèn)江)有限公司