專利名稱：硅片清洗設備以及儲液罐的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及半導體技術(shù)領域，更具體地說，涉及硅片清洗設備及儲液罐。
背景技術(shù)：
由于硅片關鍵尺寸的持續(xù)縮小，硅片表面在經(jīng)受工藝之前必須是潔凈的?？刂普次圩钣行緩绞欠乐拐次酃杵渲姓冀y(tǒng)治地位的硅片表面清洗方法是濕化學法，濕化學法是用化學藥劑與硅片表面需要去除的沾污物進行反應，使得沾污物從硅片表面剝離從而達到清洗的目的。
傳統(tǒng)的濕化學法在清洗槽中進行，由一系列安裝在煙霧罩中的酸槽和清洗槽組成，其中酸槽和清洗槽統(tǒng)稱為儲液罐。為了方便觀察儲液罐中化學藥劑的高度，如圖I所示，儲液罐11上設置有顯液管12,該顯液管12的一端開口，另一端與儲液罐11的底部相連通，操作人員通過肉眼觀察顯液管12內(nèi)的液位高度來判斷儲液罐11內(nèi)化學藥劑14的高度，或者通過設置在顯液管12中的液位傳感器13來判斷儲液罐11內(nèi)化學藥劑14的高度， 從而保證儲液罐11中的化學藥劑14處于最為理想的液位高度。但是，由于儲液罐11中的化學藥劑14和顯液管12通常為透明狀態(tài)，通過肉眼觀察不易分辨出化學藥劑14的實際高度。而且顯液管12中的液體與儲液罐11中液體相同，經(jīng)常會有沉淀物等沾污物產(chǎn)生，這些沾污物很容易附著在顯液管12上，一方面由于沾污物遮擋視線，肉眼無法觀察到顯液管12 中的實際液位高度，另一方面由于沉淀物附著在顯液管12的管壁上液位傳感器13會出現(xiàn)誤報現(xiàn)象。
因此，如何研究出一種其顯液管中不易產(chǎn)生污染物的硅片清洗設備及其儲液罐， 成為本領域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種硅片清洗設備及其儲液罐，以實現(xiàn)減少顯液管中沾污物產(chǎn)生的目的。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案
—種儲液罐，包括主罐體和顯液管，所述顯液管一端開口，另一端與所述主罐體相連通，所述顯液管與所述主罐體之間還設置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體。
優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述主罐體和所述顯液管之間還設置有與二者相連通的儲液囊，所述膠囊體設置在所述儲液囊內(nèi)。
優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述膠囊體末端通過中間呈中空狀態(tài)的蓋板設置在所述儲液囊上。
優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述蓋板的數(shù)量為兩個，其中，第二蓋板設置在第一蓋板的中空部位并將所述膠囊體設置在所述第一蓋板和第二蓋板的中間。
優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述儲液囊為圓筒狀結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述膠囊體的最大展開體積大于或等于所述儲液囊體積。優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述膠囊體上還設置有出氣管。優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述出氣管設置在膠囊體的頂端。優(yōu)選的，在上述儲液罐中，所述膠囊體的頂端還設置有隔板。一種硅片清洗設備，包括煙霧罩和具有上述結(jié)構(gòu)的儲液罐，所述儲液罐設置在所述煙霧罩內(nèi)部。從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明實施例中的儲液罐在主罐體和顯液管之間設置有可展開的膠囊體，膠囊體將主罐體和顯液管分隔成兩部分。當需要觀察主罐體上化學藥 劑的高度時，在顯液管的開口處注入測量液，當主罐體內(nèi)化學藥劑高度發(fā)生變化時，膠囊體展開或者閉合，顯液管中的測量液高度隨即發(fā)生變化。由于上述儲液罐中主罐體和顯液管可注入不同的液體，且顯液管可注入易分辨、清洗的測量液，因此可以避免由于顯液管和主罐體采用同一液體容易產(chǎn)生沾污物的現(xiàn)象發(fā)生，從而減小肉眼的觀察結(jié)果和液位傳感器測量結(jié)果的誤差。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中儲液的結(jié)構(gòu)不意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的儲液罐結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的儲液罐另一結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供的儲液罐第三結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的儲液囊一種結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明實施例提供的儲液囊另一結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明實施例提供的儲液囊第三結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明實施例提供的儲液囊第四結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明實施例提供的注液過程中儲液罐的狀態(tài)示意圖；圖10為本發(fā)明實施例提供的注液后儲液罐的狀態(tài)示意圖；圖11為本發(fā)明實施例提供的清洗過程中儲液罐的狀態(tài)示意圖；圖12為本發(fā)明實施例提供的清洗過程后儲液罐的狀態(tài)示意圖；其中，圖I至圖12:11為主罐體，12為顯液管，13為液位傳感器，14為化學藥劑，21為主罐體，22為顯液管，23為液位傳感器，24為化學藥劑，25為測量液，26為膠囊體，27儲液囊，28為隔板，291為第一蓋板,292為第二蓋板,30為出氣管。
具體實施例方式本發(fā)明實施例公開了一種硅片清洗設備及其儲液罐，以實現(xiàn)減少顯液管中沾污物產(chǎn)生的目的。下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。如圖2所示的儲液罐，該儲液罐包括主罐體21和顯液管22，顯液管22 —端開口，另一端與主罐體21相連通，顯液管22與主罐體21之間還設置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體26。本發(fā)明實施例中的儲液罐在主罐體21和顯液管22之間設置有可展開的膠囊體26，膠囊體26將主罐體21和顯液管22分隔成兩部分。當需要觀察主罐體21上化學藥劑24的高度時，在顯液管22的開口處注入測量液25，當主罐體21內(nèi)化學藥劑24高度發(fā)生變化時，膠囊體26展開或者閉合，顯液管22中的測量液25高度隨即發(fā)生變化。由于上述儲 液罐中主罐體21和顯液管22可注入不同的液體，且顯液管22可注入易分辨、清洗的測量液25，因此可以避免由于顯液管22和主罐體21采用同一液體容易產(chǎn)生沾污物的現(xiàn)象發(fā)生，從而減小肉眼的觀察結(jié)果和液位傳感器23測量結(jié)果的誤差。本發(fā)明實施例中的膠囊體26采用軟性材料，當主罐體21中液體發(fā)生變化時，膠囊體26展開并將這種變化反應到測量液25中。其中為了保證膠囊體26傳遞上述壓力，顯液管22的尺寸可以設置的足夠大，另外，顯液管22和主罐體21之間部位尺寸較大，如圖3所示，在本發(fā)明實施例中在顯液管22和主罐體21之間還設置有儲液囊27，該儲液囊27連通顯液管22和主罐體21，且膠囊體26設置在儲液囊27內(nèi)。當主罐體21中化學藥劑24高度發(fā)生變化時，膠囊體26就會在儲液囊27中展開或者閉合，以傳遞壓力的變化。另外，在主罐體21中注射液體時，為了排除上述儲液囊27中多余的氣體，儲液囊27上還設置有出氣管30，如圖4所示。優(yōu)選的，該出氣管30設置在儲液囊27的頂部，且出氣管30的開口位于化學藥劑24的高度之上。本發(fā)明實施例中的膠囊體26由軟質(zhì)材料制作而成，例如氯丁膠等，膠囊體26可以直接通過膠體粘在儲液囊27上，其中膠囊體26的末端粘在儲液囊27的囊壁上，膠囊體26可以設置在靠近顯液管22的一端還可以設置在靠近主罐體21的一端。膠囊體26末端通過中間呈中空狀態(tài)的蓋板設置在儲液囊27上，其中，蓋板的數(shù)量為一個或兩個。當蓋板的數(shù)量為一個時，如圖5和圖6所示，膠囊體26的末端置于第一蓋板291和儲液囊27的囊壁之間，通過第一蓋板291與儲液囊27配合實現(xiàn)膠囊體26的定位；當蓋板的數(shù)量為兩個時，如圖7和圖8所示，其中，第一蓋板291與膠囊體26的囊壁配合，第二蓋板292與第一蓋板291的中空部位配合,膠囊體26的末端設置在第一蓋板291和第二蓋板292之間，通過第一蓋板291和第二蓋板292的配合實現(xiàn)膠囊體26的定位。為了排凈主罐體21中廢液，膠囊體26的最大展開體積大于或等于儲液囊27的體積，由于膠囊體26可以在測量液25和化學藥劑24的作用下進行展開和閉合，因此，當需要排除廢液時，在測量液25壓力作用下膠囊體26向靠近主罐體21的方向運動，由于膠囊體26的最大展開體積大于或等于儲液囊27的體積，當主罐體21內(nèi)的化學藥劑24遠遠小于顯液管22中測量液25壓力時，測量液25迫使膠囊體26全部或部分展開，并將儲液囊27內(nèi)部填充完全，因此儲液囊27中的化學藥劑24在膠囊體26的作用下全部或大部分排出膠囊體26。此外，當膠囊體26最大展開體積大于儲液囊27的體積時，為了防止膠囊體26堵塞排液孔，膠囊體26的頂端還設置有隔板28，如圖6和圖8所示，隔板28可以與化學藥劑24相接觸,也可以與測量液25相接觸,優(yōu)選的，隔板28與測量液25相接觸。顯液管22內(nèi)加入測量液25與主罐體21中化學藥劑24密度可以相同也可以不同，優(yōu)選的密度相同，采用密度相同的測量液25其測量過程中轉(zhuǎn)換方便，通過人眼觀察可以得到較直觀的測量值。測量液25的顏色最好便于人眼識別。這樣觀測出的誤差較小。下面結(jié)合附圖具體介紹上述儲液罐的工作過程，如圖9至圖12所示。如圖9所示，當向儲液罐內(nèi)加入化學藥劑24時，主罐體21中的化學藥劑24的液位高于顯液管22中測量液25的液位高度，隔板28受到化學藥劑24向下的壓力大于顯液 管22內(nèi)測量液25給隔板28的向上的壓力，此時隔板28將向下移動，并把儲液囊27中的測量液25壓入顯液管22中，顯液管22液位上升，直至顯液管22內(nèi)的液位與主罐體21內(nèi)化學藥劑24液位相持平,如圖10所示。同理，如圖11所示，當主罐體21內(nèi)化學藥劑24液位下降時，顯液管22中測量液25的液位高度高于主罐體21中的化學藥劑24的液位，隔板28受到測量液25向上的壓力大于化學藥劑24向下的壓力，此時隔板28將向上運動，并將儲液囊27中的化學藥劑24壓入主罐體21中，顯液管22液位下降，直至顯液管22內(nèi)的液位與主罐體21內(nèi)化學藥劑24液位相持平，如圖12所示。本發(fā)明實施例還公開了一種硅片清洗設備，包括煙霧罩和具有上述結(jié)構(gòu)的儲液罐，該儲液罐設置在所述煙霧罩內(nèi)部。對所公開的實施例的上述說明，使本領域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求
1.一種儲液罐，包括主罐體(21)和顯液管(22)，所述顯液管(22) —端開口，另一端與所述主罐體(21)相連通，其特征在于，所述顯液管(22)與所述主罐體(21)之間還設置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體(26)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的儲液罐，其特征在于，所述主罐體(21)和所述顯液管(22)之間還設置有與二者相連通的儲液囊(27)，所述膠囊體(26)設置在所述儲液囊(27)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的儲液罐，其特征在于，所述膠囊體(26)末端通過中間呈中空狀態(tài)的蓋板設置在所述儲液囊(27)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的儲液罐，其特征在于，所述蓋板的數(shù)量為兩個，其中，第二蓋板(292)設置在第一蓋板(291)的中空部位并將所述膠囊體(26)設置在所述第一蓋板 (291)和第二蓋板(292)的中間。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的儲液罐，其特征在于，所述儲液囊(27)為圓筒狀結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的儲液罐，其特征在于，所述膠囊體(26)的最大展開體積大于或等于所述儲液囊(27)體積。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的儲液罐，其特征在于，所述膠囊體(26)上還設置有出氣管(30)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的儲液罐，其特征在于，所述出氣管(30)設置在膠囊體(26)的頂端。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的儲液罐，其特征在于，所述膠囊體(26)的頂端還設置有隔板(28)。
10.一種硅片清洗設備，其特征在于，包括煙霧罩和權(quán)利要求1-9任意一項所述的儲液罐，所述儲液罐設置在所述 煙霧罩內(nèi)部。
全文摘要
本發(fā)明實施例公開了一種儲液罐，包括主罐體和顯液管，顯液管一端開口，另一端與主罐體相連通，顯液管與主罐體之間還設置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體。上述儲液罐中在主罐體和顯液管之間設置有可展開的膠囊體，膠囊體將主罐體和顯液管分隔成兩部分。當需要觀察主罐體上化學藥劑的高度時，在顯液管的開口處注入測量液，當主罐體內(nèi)化學藥劑高度發(fā)生變化時，膠囊體展開或者閉合，顯液管中的測量液高度隨即發(fā)生變化。由于上述儲液罐中主罐體和顯液管可注入不同的液體，且顯液管可注入易分辨、清洗的測量液，因此可以避免由于顯液管和主罐體采用同一液體容易產(chǎn)生沾污物的現(xiàn)象發(fā)生。本發(fā)明實施例還提供了一種硅片清洗設備。
文檔編號B08B3/08GK102874513SQ20111019392
公開日2013年1月16日 申請日期2011年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月12日
發(fā)明者王守志 申請人:浚鑫科技股份有限公司