專利名稱：一種掩膜版清洗夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于清洗夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜版清洗夾具。
背景技術(shù)：
圖1和圖3所示為現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜版清洗夾具上的夾塊1和底板4，所 述夾塊1分別與底板4的四個(gè)凸塊41裝配，并通過所述凸塊41上的兩個(gè)螺紋 通孔42和所述夾塊1背面對(duì)應(yīng)開設(shè)的兩個(gè)螺紋盲孔(圖中未示出)連接在一起； 所述夾塊1中間開有一垂直的通孔13,所述通孔13 —側(cè)開設(shè)有一臺(tái)階11。
參閱圖2所示，清洗時(shí)，將掩膜版3放置在底板4的四個(gè)夾塊1的臺(tái)階11 上，由于掩膜版3和夾塊1的垂直側(cè)面12為面接觸，且與臺(tái)階ll的表面也為 面接觸，在清洗后會(huì)有大量水殘留在垂直側(cè)面12和臺(tái)階11的表面上，且難以 甩干，在后續(xù)烘干過程中會(huì)產(chǎn)生大量水漬。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種掩膜版清洗夾具，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中的 掩膜版清洗夾具會(huì)在掩膜版的四個(gè)角處有大量水漬產(chǎn)生的問題。
本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的， 一種掩膜版清洗夾具，包括一底板和一對(duì)或兩 對(duì)呈對(duì)角設(shè)置的夾塊，所述底板的對(duì)角處分別對(duì)應(yīng)設(shè)有可與所述夾塊裝配的凸 塊，所述夾塊中間開設(shè)有一傾斜的導(dǎo)流槽，所述導(dǎo)流槽兩側(cè)各設(shè)有一上圓弧端 和一下圓弧端，所述下圓弧端突出于上圓弧端之外形成一用于放置掩膜版的臺(tái) 階。
與現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜版清洗夾具相比，本實(shí)用新型由于設(shè)置有傾斜的導(dǎo)流槽，且以?shī)A塊上、下圓弧端作為掩膜版之支承，可以使掩膜版與夾具之間的接 觸面非常小，有利于夾具四個(gè)角處的水順利地甩出，不會(huì)殘留而形成水漬。


圖l是現(xiàn)有技術(shù)提供的一種掩膜版清洗夾具的夾塊的示意圖2是現(xiàn)有技術(shù)提供的一種掩膜版清洗夾具的掩膜版放置在夾塊上的示意
圖3是現(xiàn)有技術(shù)和本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩膜版清洗夾具的底板的 示意圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩膜版清洗夾具的夾塊的示意圖； 圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩膜版清洗夾具的掩膜版放置在夾塊 上的示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖 及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體 實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
參閱圖3和圖4所示，本實(shí)用新型提供的一種掩膜版清洗夾具，包括一底 板4和兩對(duì)呈對(duì)角設(shè)置的夾塊5，所述底板4的對(duì)角處分別對(duì)應(yīng)設(shè)有可與所述 夾塊5裝配的凸塊41,所述凸塊41上開設(shè)有兩個(gè)螺紋通孔42,所述夾塊5底 面對(duì)應(yīng)開設(shè)有兩個(gè)螺紋盲孔(圖中未示出)，所述螺紋通孔42與所述螺紋盲孔 通過螺釘(圖中未示出)連接在一起。所述夾塊5中間開設(shè)有一傾斜的導(dǎo)流槽 51，所述導(dǎo)流槽51兩側(cè)各設(shè)有一上圓弧端52和一下圓弧端53,所述上圓弧端 52的半徑大于所述下圓弧端53的半徑，所述下圓弧端53向前突出形成一用于 放置掩膜版3的臺(tái)階54。參閱圖4和圖5所示，清洗時(shí)，將掩膜版3放置在四個(gè)夾塊5的臺(tái)階54 上，掩膜版上的水可以從傾斜的導(dǎo)流槽51順利地流出；由于掩膜版3的側(cè)面與 上圓弧端52為線接觸，且掩膜版3的背面與臺(tái)階54的接觸面積也大大減小， 這樣可以使殘留在掩膜版3側(cè)面和背面的水甩出，在后續(xù)烘干過程中不會(huì)有水 漬產(chǎn)生。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型， 凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng) 包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種掩膜版清洗夾具，包括一底板和一對(duì)或兩對(duì)呈對(duì)角設(shè)置的夾塊，所述底板的對(duì)角處分別對(duì)應(yīng)設(shè)有可與所述夾塊裝配的凸塊，其特征在于所述夾塊中間開設(shè)有一傾斜的導(dǎo)流槽，所述導(dǎo)流槽兩側(cè)各設(shè)有一上圓弧端和一下圓弧端，所述下圓弧端突出于上圓弧端之外形成一用于放置掩膜版的臺(tái)階。
2、 如權(quán)利要求1所述的掩膜版清洗夾具，其特征在于所述上圓弧端的半 徑大于所述下圓弧端的半徑。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的掩膜版清洗夾具，其特征在于所述凸塊上開 設(shè)有兩個(gè)螺紋通孔，所述夾塊底面對(duì)應(yīng)開設(shè)有兩個(gè)螺紋盲孔，所述螺紋通孔與 所述螺紋盲孔通過螺4T連接在一起。
專利摘要本實(shí)用新型適用于清洗夾具技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種掩膜版清洗夾具，包括一底板和一對(duì)或兩對(duì)呈對(duì)角設(shè)置的夾塊，所述底板的對(duì)角處分別對(duì)應(yīng)設(shè)有可與所述夾塊裝配的凸塊，所述夾塊中間開設(shè)有一傾斜的導(dǎo)流槽，所述導(dǎo)流槽兩側(cè)各設(shè)有一上圓弧端和一下圓弧端，所述下圓弧端突出于上圓弧端之外形成一用于放置掩膜版的臺(tái)階。與現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜版清洗夾具相比，本實(shí)用新型由于設(shè)置有傾斜的導(dǎo)流槽，且以?shī)A塊上、下圓弧端作為掩膜版之支承，可以使掩膜版與夾具之間的接觸面非常小，有利于夾具四個(gè)角處的水順利地甩出，不會(huì)殘留而形成水漬。
文檔編號(hào)B08B13/00GK201271647SQ20082021204
公開日2009年7月15日 申請(qǐng)日期2008年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月22日
發(fā)明者鄢紅軍 申請(qǐng)人:清溢精密光電(深圳)有限公司