技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了用于微電極推進的，具有納米級分辨率、微米級受控運動的微推進器及控制系統(tǒng)，該微推進器包括殼體以及固定連接殼體的馬達，殼體的內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有精密減速器、螺桿組件和夾持部件；螺桿組件包括螺桿和螺套，螺套軸向滑動于殼體內(nèi)腔，并且殼體二運行終點有軸向限位；螺套的外端部固定連接夾持部件的安裝座；馬達的輸出軸通過減速器連接螺桿；控制系統(tǒng)以單片機為核心的控制部分使推進器受控，并可以補償減速器等運動鏈的間隙誤差。本文中的微推進器系統(tǒng)大大提高了微推進器的控制精度和分辨率。并且由于微推進器小巧、一體，只需增加一連接件，就可以輕易與目前簡易的立體定位儀相連接，將手動的立體定位儀升級成為頂級精度的微電極推進裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：李峰;石定良;李倩倩
受保護的技術(shù)使用者：北京中科富斯信息科技有限公司
文檔號碼：201610698099
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.19
技術(shù)公布日：2016.12.21