本實(shí)用新型涉及光伏電池片制造領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐用石英管裝置。

背景技術(shù)：

擴(kuò)散爐是光伏電池片生產(chǎn)工藝中重要的工藝設(shè)備之一，其主要用途是在高溫條件下將摻雜材料擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制硅片內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布。目前，常見的擴(kuò)散爐一般都具備石英管裝置，從石英管的尾部進(jìn)氣，但是在實(shí)際應(yīng)用中，時(shí)常因氣體流動(dòng)性差，導(dǎo)致爐內(nèi)氣體混合不均勻，從而使得擴(kuò)散方阻的均勻性較差，燒結(jié)后的光伏電池片的效率降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種擴(kuò)散爐用石英管裝置，以改善光伏電池片擴(kuò)散均勻性較差的問題。

具體地，本實(shí)用新型是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：一種擴(kuò)散爐用石英管裝置，包括外層石英管、收容于外層石英管內(nèi)部的內(nèi)層石英管及向所述外層石英管和內(nèi)層石英管通入氣體的進(jìn)氣管，所述內(nèi)層石英管內(nèi)設(shè)有環(huán)形表面及位于環(huán)形表面內(nèi)側(cè)的腔室，所述環(huán)形表面上設(shè)有貫通所述腔室的開孔部，所述開孔部凸伸入所述腔室。

進(jìn)一步地，所述內(nèi)層石英管與外層石英管均具有與所述進(jìn)氣管相鄰的進(jìn)氣端，且內(nèi)層石英管的進(jìn)氣端和外層石英管的進(jìn)氣端之間設(shè)有氣體混合腔。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣管連接至所述外層石英管的進(jìn)氣端，并連通所述氣體混合腔，且所述進(jìn)氣管與所述外層石英管的中心位置對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述開孔部朝向所述外層石英管的中心位置凸伸入所述腔室內(nèi)。

進(jìn)一步地，所述開孔部沿所述環(huán)形表面的圓周方向設(shè)置，并且沿內(nèi)層石英管的長度方向分布。

進(jìn)一步地，所述內(nèi)層石英管和外層石英管之間設(shè)有夾層間隙及位于夾層間隙內(nèi)的支撐件。

進(jìn)一步地，所述擴(kuò)散爐用石英管裝置還包括排氣管，所述排氣管的高度低于所述進(jìn)氣管的高度。

進(jìn)一步地，所述內(nèi)層石英管設(shè)有與所述排氣管相鄰的排氣端，所述內(nèi)層石英管的排氣端設(shè)有朝向所述外層石英管延伸的延伸段，該延伸段通過所述夾層間隙抵接至所述外層石英管，使得所述夾層間隙的末端被所述延伸段封閉起來

本實(shí)用新型通過設(shè)置相互獨(dú)立的內(nèi)層石英管和外層石英管，使得拆卸、清洗更為便捷，而且利用內(nèi)層石英管上特殊的開孔部結(jié)構(gòu)，可改善擴(kuò)散均勻性，而且在不更改擴(kuò)散爐恒溫區(qū)長度的情況下，還可以縮短石英舟片間距，增加產(chǎn)量。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐用石英管裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。

圖2是本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐用石英管裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐用石英管裝置另一角度的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

這里將詳細(xì)地對(duì)示例性實(shí)施例進(jìn)行說明，其示例表示在附圖中。下面的描述涉及附圖時(shí)，除非另有表示，不同附圖中的相同數(shù)字表示相同或相似的要素。以下示例性實(shí)施例中所描述的實(shí)施方式并不代表與本實(shí)用新型相一致的所有實(shí)施方式。相反，它們僅是與如所附權(quán)利要求書中所詳述的、本實(shí)用新型的一些方面相一致的裝置和方法的例子。

在本實(shí)用新型使用的術(shù)語是僅僅出于描述特定實(shí)施例的目的，而非旨在限制本實(shí)用新型。在本實(shí)用新型和所附權(quán)利要求書中所使用的單數(shù)形式的“一種”、“所述”和“該”也旨在包括多數(shù)形式，除非上下文清楚地表示其他含義。還應(yīng)當(dāng)理解，本文中使用的術(shù)語“和/或”是指并包含一個(gè)或多個(gè)相關(guān)聯(lián)的列出項(xiàng)目的任何或所有可能組合。

應(yīng)當(dāng)理解，盡管在本實(shí)用新型可能采用術(shù)語第一、第二、第三等來描述各種信息，但這些信息不應(yīng)限于這些術(shù)語。這些術(shù)語僅用來將同一類型的信息彼此區(qū)分開。例如，在不脫離本實(shí)用新型范圍的情況下，第一信息也可以被稱為第二信息，類似地，第二信息也可以被稱為第一信息。取決于語境，如在此所使用的詞語“如果”可以被解釋成為“在……時(shí)”或“當(dāng)……時(shí)”或“響應(yīng)于確定”。

如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型公開一種擴(kuò)散爐用石英管裝置，包括外層石英管10、收容于外層石英管10內(nèi)部的內(nèi)層石英管20及接入所述外層石英管10的進(jìn)氣管30和排氣管40，其中，所述外層石英管10和內(nèi)層石英管20均呈圓筒形結(jié)構(gòu)，所述進(jìn)氣管30用于將氣體通入所述外層石英管10和內(nèi)層石英管20內(nèi)，以下具體描述前述各個(gè)部件的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。

所述外層石英管10的長度大于所述內(nèi)層石英管20的長度，且外層石英管10和內(nèi)層石英管20均設(shè)有與所述進(jìn)氣管30相鄰的進(jìn)氣端及與排氣管40相鄰的排氣端，所述外層石英管10的進(jìn)氣端與內(nèi)層石英管20的進(jìn)氣端未齊平設(shè)置，兩者之間設(shè)有一氣體混合腔11，該氣體混合腔11位于外層石英管10內(nèi)但位于內(nèi)層石英管20外，其可使得氣體均勻混合，并改善擴(kuò)散方阻均勻性，而所述外層石英管10的排氣端和內(nèi)層石英管20的排氣端則齊平設(shè)置。

另外，所述內(nèi)層石英管20內(nèi)設(shè)有腔室21，且內(nèi)層石英管20的環(huán)形表面上設(shè)有大量貫通所述腔室21的開孔部22，所述開孔部22沿所述環(huán)形表面的圓周方向設(shè)置，并且沿內(nèi)層石英管20的長度方向分布，在本實(shí)用新型較佳實(shí)施例中，所述開孔部22的孔徑優(yōu)選為0.5-1.5cm，孔間距為1.5-3cm，這樣設(shè)置的氣體利用率更高，且所述開孔部22進(jìn)一步向所述腔室21內(nèi)凸伸，且凸伸的距離為1-2cm，這樣設(shè)置有利于固定氣體流向，使氣體可更快捷地流向所述腔室21的中央?yún)^(qū)域，到達(dá)硅片中心處，增加擴(kuò)散均勻性，而且在不更改擴(kuò)散爐恒溫區(qū)長度的情況下，還可以縮短石英舟片間距，增加產(chǎn)量。為了提高內(nèi)外層石英管10的穩(wěn)固性，所述內(nèi)層石英管20和外層石英管10之間設(shè)有夾層間隙23及位于夾層間隙23內(nèi)的支撐件24，所述夾層間隙23可供氣流通過(氣流方向如圖2中箭頭所示)，所述支撐件24固定于所述外層石英管10的內(nèi)壁面上，用于支撐所述內(nèi)層石英管20。所述內(nèi)層石英管20的排氣端設(shè)有朝向所述外層石英管10延伸的延伸段25，該延伸段25將內(nèi)層石英管20和外層石英管10連接起來，使得所述夾層間隙23的末端被封閉起來，改善了內(nèi)、外層石英管10、20之間的氣密性。

所述進(jìn)氣管30連接至所述外層石英管10的進(jìn)氣端，并連通所述氣體混合腔11，且所述進(jìn)氣管30與所述外層石英管10的中心位置對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述排氣管40連接至所述外層石英管10的排氣端，且排氣管40的高度低于所述進(jìn)氣管30。

可見，本實(shí)用新型通過設(shè)置相互獨(dú)立的內(nèi)層石英管20和外層石英管10，使得拆卸、清洗更為便捷，而且利用內(nèi)層石英管20上特殊的開孔部22結(jié)構(gòu)，可改善擴(kuò)散均勻性，而且在不更改擴(kuò)散爐恒溫區(qū)長度的情況下，還可以縮短石英舟片間距，增加產(chǎn)量。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型保護(hù)的范圍之內(nèi)。