專利名稱：：超聲波探針和超聲波診斷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及向被檢體等輸送接收超聲波信號的超聲波探針和具有該超聲波探針的超聲波診斷裝置。
背景技術(shù)：
：在向?qū)ο笪镙斔统暡ㄐ盘枴⒉⒔邮諄碜栽搶ο笪飪?nèi)的反射信號(反射波信號)以將對象物內(nèi)圖像化的醫(yī)療用超聲波診斷裝置或超聲波圖像檢查裝置等中，主要使用具有超聲波信號的收發(fā)功能的陣列式超聲波探針。該陣列式超聲波探針已知有在一維方向上排列50300個(gè)具有壓電元件和形成在該壓電元件上的聲匹配層的通道而得到的一維陣列式超聲波探針、以及在二維方向上排列500-10000個(gè)上述通道而得到的二維陣列式超聲波探針。在超聲波探針的使用中，有下述方式在診斷時(shí)例如通過使超聲波探針的聲透鏡側(cè)接觸于被檢體以驅(qū)動(dòng)壓電元件，從而將超聲波信號從壓電元件前表面送至被檢體內(nèi)。超聲波信號通過利用壓電元件的驅(qū)動(dòng)定時(shí)的電子聚焦和利用聲透鏡的聚焦而集中在被檢體內(nèi)的所需位置。通過控制該壓電元件的驅(qū)動(dòng)定時(shí)，可以將超聲波信號送至被檢體內(nèi)的所需范圍，因此通過對該反射波信號進(jìn)行接收處理，獲得上述所需范圍的超聲波圖像(斷層圖像)。此時(shí)，通過壓電元件的驅(qū)動(dòng)，通道的背面?zhèn)纫舶l(fā)出超聲波信號。因而，按照所發(fā)出的超聲波信號被配置在通道背面?zhèn)鹊穆暠骋r層吸收、從而不會(huì)對裝置造成不良影響的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)。特別是，在二維方向上排列面積小至0.040.3mr^的通道而得到的二維陣列式超聲波探針中，與一維陣列式超聲波探針相比，要求由具有更嚴(yán)格的特性、例如強(qiáng)度和均勻性的材料制作聲背襯層。在非專利文獻(xiàn)l中記載有由下述材料制作聲背襯層，上述材料為-在作為基底樹脂的環(huán)氧樹脂中配合鎢(W)、氧化鋁(A1203)、氧化鋅(ZnO)、氧化鐵(Fe203)等密度高的粉末材料、從而制成密度為2.0左右、音速為2500m/s左右、聲阻抗為5MRayls左右的材料；以及在作為基底樹脂的氯丁二烯橡膠(CR)、異戊二烯橡膠(IR)、聚氨酯橡膠(AU)等橡膠系材料中同樣地配合W、ZnO、Fe203等密度高的粉末材料、從而制成密度為3.0左右、音速為1500m/s左右、聲阻抗為5MRayls左右的材料。在專利文獻(xiàn)1中記載了通過將以鎢和熱固化性樹脂為主要材料而得到的粉末狀組合物成形，從而獲得在聲背襯層中使用的含鎢樹脂成形物。在專利文獻(xiàn)2中公開了由預(yù)成型料和母材形成的背板材，且預(yù)成型料為直線性纖維組織、平面纖維組織、三維纖維組織。在專利文獻(xiàn)3中公開了在乙酸乙烯酯的含量為20-80重量％的乙烯-乙酸乙烯酯共聚物中添加選自碳纖維、碳化硅纖維、氧化鋁纖維中的填充劑和氧化鋅、氧化鋯、氧化鋁銻、氮化鋁等粉末而得到的聲背板材料。另一方面，在專利文獻(xiàn)4中公開了在四腳狀氧化鋅晶須中混合長寬比為I(KIOOOO、直徑為O.卜IOO,比電阻為10-2~105Qcm的半導(dǎo)電性短纖維而得到的電波吸收體。專利文獻(xiàn)l:日本特開平7-233278號公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開平9-127955號公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本特開2006-33801專利文獻(xiàn)4:日本專利第2598829號公報(bào)非專禾!i文獻(xiàn)1:MarthaG.Greweetal.,IEEEtransactionUltrasonicFerroelectricsandFrequencycontrol,vol.37，No,6，p.506，1990.上述專利文獻(xiàn)1~3、非專利文獻(xiàn)1所公開的聲背板材具有以下問題。即，作為用于利用超聲波診斷裝置的斷層圖像的圖像質(zhì)量提高和超聲波探針靈敏度提高的參數(shù)，有通道不良數(shù)量的減少和通道間的不均的降低。該問題在通道面積小至小于等于0.1mn^的二維陣列探針中尤為重要。作為該通道不良的原因，可以列舉出如下原因。由于形成在聲背板材的一個(gè)主面上的槽間的臺面結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度不足，因此形成在臺面結(jié)構(gòu)上的通道的壓電元件與臺面結(jié)構(gòu)一起歪斜，從而該通道變得不能使用。這是由于當(dāng)在聲背板材中含有10~100重量％的鎢或鐵氧體的數(shù)微米數(shù)十微米的不定形粒子時(shí)，樹脂或橡膠變脆，由于為了形成通道而通過刀片等從聲匹配層貫穿壓電元件、聲背板材進(jìn)行截?cái)鄷r(shí)的應(yīng)力，在橡膠和填充物之間產(chǎn)生斷裂或剝離。即，如果壓電元件的尺寸變小，則聲背板材的尺寸也變小。因此，由于通過截?cái)鄷r(shí)的應(yīng)力以50100pm的間距截?cái)喟瑝弘娫恼辰用娓浇穆暠嘲宀臅r(shí)的應(yīng)力，發(fā)生聲背板材的折斷或聲背板材與壓電元件的剝離等。這種情況特別是在如專利文獻(xiàn)1所記載的僅含有粉末狀粒子、例如W粒子時(shí)會(huì)發(fā)生。另外，如專利文獻(xiàn)2、3所記載，當(dāng)在樹脂中大量含有碳纖維或鈦酸鉀等纖維時(shí)，由于纖維的導(dǎo)電性變得不能充分地確保通道間的絕緣，從而發(fā)生不能施加脈沖電壓的不良情況。作為其對策，在通道間的空隙中填充機(jī)硅橡膠之類的絕緣材料，但由于填充物量的差別，在二維陣列中使用的微小通道(0.02~0.3mm2)之間，背板材料的聲阻抗變得不同，有可能在收發(fā)靈敏度中產(chǎn)生不均。專利文獻(xiàn)4所記載的電波吸收體由于吸收電波，因此樹脂整體為導(dǎo)電性，另外電波的用途是吸收千兆赫茲的波帶區(qū)域的含有電場和磁場的橫波。另一方面，在超聲波探針中使用的背板材料以吸收含有110MHz的疏密波的縱波超聲波為目的，其用途也有所不同。在最近的二維陣列式超聲波探針中，有時(shí)也制作數(shù)千個(gè)200jimx200pm形狀的壓電元件(中心頻率為3MHz左右)，聲背板材的強(qiáng)度提高和均勻性是很大的課題。此方面在專利文獻(xiàn)2、3中公開了在母材中配合纖維狀部件作為預(yù)成型料，但對于背板材料的微細(xì)區(qū)域的強(qiáng)度和均勻性并沒有任何考慮。另外，為了避免超聲波探針表面(聲透鏡表面)的溫度上升，優(yōu)選導(dǎo)熱性優(yōu)異、小型輕質(zhì)的背板材。為了實(shí)現(xiàn)小型輕質(zhì)的背板材，重要的是超聲波衰減大的材料、且密度小的材料。因此，優(yōu)選聲阻抗為1.56MRayls的材料。而且，背板材是絕緣性也是重要的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供具備微小通道間的均勻性高、放熱特性優(yōu)異、衰減率大、而且強(qiáng)度高、具有高絕緣性的聲背襯層(acousticalbackinglayer)的超聲波探針。本發(fā)明提供具備上述超聲波探針的超聲波診斷裝置。本發(fā)明的第1方式提供一種超聲波探針，其特征在于，具備聲背襯層，其由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25"C下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料所制成，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的；多個(gè)通道(channel),其相互隔開間隔地配置在上述聲背襯層上，且具有壓電元件和形成在該壓電元件上的聲匹配層；以及聲透鏡，其按照至少覆蓋上述各通道的聲匹配層的表面的方式形成。本發(fā)明的第2方式提供一種超聲波診斷裝置，其特征在于，具備超聲波探針和通過電纜與上述超聲波探針連接的超聲波診斷裝置部件，所述超聲波探針具備聲背襯層，其由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25。C下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料所制成，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的；多個(gè)通道，其相互隔開間隔地配置在上述聲背襯層上，且具有壓電元件和形成在該壓電元件上的聲匹配層；以及聲透鏡，其按照至少覆蓋上述各通道的聲匹配層的表面的方式形成。根據(jù)本發(fā)明，可以提供具有微小通道間的均勻性高、放熱特性優(yōu)異、衰減率大、而且強(qiáng)度高、具有高絕緣性的聲背襯層，且靈敏度高、可靠性的超聲波探針。根據(jù)本發(fā)明，可以提供具備上述超聲波探針，可以獲得高圖像質(zhì)量的斷層圖像的超聲波診斷裝置。圖1為表示實(shí)施方式的一維陣列式超聲波探針的局部切口立體圖。圖2為圖1的超聲波探針的要部立體圖。圖3為沿著圖2的Ill-Ill線的截面圖。圖4為表示實(shí)施方式所用的聲背襯層的一例的截面圖。圖5為表示實(shí)施方式所用的聲背襯層的其它例的截面圖。圖6為表示構(gòu)成實(shí)施方式所用的聲背襯層的復(fù)合樹脂材料中的纖維的概略圖。圖7為實(shí)施方式的二維陣列式超聲波探針的要部立體圖。圖8為沿著圖7的VIII-VIII線的局部截面圖。圖9為沿著圖7的IX-IX線的局部截面圖。圖IO為表示實(shí)施方式的超聲波診斷裝置的概略圖。符號說明1超聲波探針，2、51聲背襯層，3、22、32、33、34、53結(jié)合纖維，5、24、55粒子，6、21、52樹脂，7、56通道，10、59壓電元件，lh、112、60聲匹配層，14聲透鏡，17電纜，31氧化鋅纖維，71超聲波診斷裝置部件，72顯示器具體實(shí)施例方式以下詳細(xì)地說明本發(fā)明實(shí)施方式的超聲波探針和超聲波診斷裝置。實(shí)施方式的超聲波探針具備聲背襯層。多個(gè)通道相互隔開間隔地配置在聲背襯層上。各通道分別具有壓電元件和形成在壓電元件上的聲匹配層。壓電元件具有例如含有鋯鈦酸鉛(PZT)系壓電陶瓷材料或弛豫(rdaxor)系單晶材料的壓電體、以及形成在該壓電體兩面上的由例如Pd-Ag合金制成的第1、第2電極。該聲匹配層以1層或大于等于2層的形態(tài)使用，由在例如聚氨酯橡膠、聚乙烯、硅橡膠、環(huán)氧樹脂中添加有纖維之類的填充物的混合材料制成。聲透鏡按照覆蓋各通道的聲匹配層的表面的方式形成。該聲透鏡由在例如硅橡膠中添加有無機(jī)填充物的混合材料構(gòu)成，由聲阻抗在室溫25t:下為1.31.7MRayls的材料制成。聲背襯層由在樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維的復(fù)合樹脂材料所制成，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端互相結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的。該復(fù)合樹脂材料的聲阻抗在室溫25'C下為1.36MRayls。由這種復(fù)合樹脂材料制成的聲背襯層例如如圖4所示，具有在樹脂21中分散有結(jié)合纖維22的結(jié)構(gòu)，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端互相結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的。另外，圖4中的23是在由復(fù)合樹脂材料制作聲背襯層的工序中從結(jié)合纖維22折斷的纖維片。這種纖維片23的量允許以相對于所含結(jié)合纖維22的體積百分率計(jì)占小于等于30%。該纖維片23的量超過30體積％時(shí)，有可能衰減率降低。作為復(fù)合樹脂材料中的樹脂，例如可以列舉出環(huán)氧樹脂、有機(jī)硅系橡膠、丁腈系橡膠、異戊二烯系橡膠和氯丁二烯橡膠、丁基橡膠、聚氨酯橡膠、三元乙丙(EPSM)橡膠、氟硅橡膠、氟化彈性體(例如信越化學(xué)工業(yè)公司生產(chǎn)的Sifal樹脂)等，這些樹脂可以單獨(dú)使用或者以混合物的形態(tài)使用。特別優(yōu)選為環(huán)氧樹脂。作為環(huán)氧樹脂，例如優(yōu)選為用改性脂肪族多胺或酸酐或多硫醇使雙酚A型或F型固化而得到的材料等。復(fù)合樹脂材料中的結(jié)合纖維可以列舉出例如如圖6(a)所示的2根氧化鋅纖維31的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的結(jié)合纖維32;如圖6(b)所示的3根氧化鋅纖維31的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的結(jié)合纖維33;如圖6(c)所示的4根氧化鋅纖維31的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的結(jié)合纖維34。在這些結(jié)合纖維中，沿著不同方向伸出的各氧化鋅纖維可以是相同長度，也可以是不同的長度。這些結(jié)合纖維中，特別優(yōu)選4根氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而形成的結(jié)構(gòu)的四腳狀結(jié)合纖維。四腳狀的結(jié)合纖維例如通過在含有小于等于數(shù)％濃度的氧的氣氛中、在800~1050°C下對金屬鋅粉末進(jìn)行130分鐘的加熱處理而制造。另外，可以將沿著不同方向伸出的氧化鋅纖維的根數(shù)相同的結(jié)合纖維填充到樹脂中，或者可以將沿著不同方向伸出的氧化鋅纖維的根數(shù)不同的結(jié)合纖維混合后填充到樹脂中，例如可以將選自上述圖6(a)~(c)的結(jié)合纖維中的至少2種結(jié)合纖維混合后填充到樹脂中。構(gòu)成結(jié)合纖維的氧化鋅纖維適宜是具有直徑小于等于10pm、優(yōu)選為110pm、長度大于等于其直徑5倍的尺寸的纖維。這種結(jié)合纖維優(yōu)選在樹脂中以相對于該樹脂和結(jié)合纖維的總量為3~20體積％的范圍含有并分散。若氧化鋅纖維的直徑超過10nm，則超聲波易于從通道的壓電元件反射，且截?cái)鄷r(shí)的強(qiáng)度提高效果也低，而且有可能在將通道制成微小面積(例如0.04mm2~0.3mm2)時(shí)的靈敏度的不均變大。另夕卜，如果氧'化鋅纖維的長度小于其直徑的5倍，則有可能難以充分地提高由復(fù)合樹脂材料制作的聲背襯層的強(qiáng)度提高、放熱性、高衰減率、音速降低、不均減少等效果。特別是，如果氧化鋅纖維的長度超過50pm，則難以保持結(jié)合纖維的形狀。如果復(fù)合樹脂材料中的結(jié)合纖維的含有比例小于3體積％，則有可能難以充分地提高由復(fù)合樹脂材料制作的聲背襯層的強(qiáng)度提高、放熱性、高衰減率、音速降低、不均減少等效果。另一方面，如果復(fù)合樹脂材料中的結(jié)合纖維的含有比例超過20體積％，則有可能難以填充到樹脂中。更優(yōu)選的結(jié)合纖維的含有比例為5~15體積％。在復(fù)合樹脂材料中允許進(jìn)一步含有平均粒徑為2~15nm的粒子、例如由選自金屬鎢、氧化鴇、金屬鉭、金屬鐵、氧化鐵中的至少一個(gè)所制成的粒子。該粒子在上述樹脂中的含量優(yōu)選為相對于該樹脂和粒子的總量小于等于10體積％、更優(yōu)選為1~5體積％。這樣，由樹脂中同時(shí)含有粒子和結(jié)合纖維的復(fù)合樹脂材料所制成的聲背襯層在保持低聲阻抗值的同時(shí)，具有高強(qiáng)度、高絕緣性、高導(dǎo)熱性，而且在通道為微小面積(例如小于等于0.3mm2、具體地說0.04mm2~0.3mm2)時(shí)的靈敏度的均勻性高、且具有較大的衰減率。結(jié)合纖維和粒子優(yōu)選在樹脂中以體積比計(jì)為3:0.1~2:l的比例含有。由這種復(fù)合樹脂材料制成的聲背襯層例如如圖5所示，具有樹脂21中分散有結(jié)合纖維22和平均粒徑為215pm的粒子24的構(gòu)成，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的。另外，圖5中的23是在由復(fù)合樹脂材料制作聲背襯層的工序中從結(jié)合纖維22折斷的纖維片。纖維片23的量允許以相對于所含結(jié)合纖維22的體積百分率計(jì)占小于等于30%。下面，參照圖1~圖3說明實(shí)施方式的超聲波探針，例如一維陣列式超聲波探針。圖1為表示實(shí)施方式的一維陣列式超聲波探針的局部切口立體圖，圖2為圖1的超聲波探針的要部立體圖，圖3為沿著圖2的m-m線的截面圖。一維陣列式超聲波探針1具備聲背襯層2。該聲背襯層2如圖3所示，是由在樹脂6中含有多個(gè)結(jié)合纖維3、從結(jié)合纖維3折斷的纖維片4和粒子5、且聲阻抗在室溫25'C下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料制成，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的。多個(gè)通道7相互隔開所需的間隔8配置在聲背襯層2上。聲背襯層2中對應(yīng)于多個(gè)通道7的間隔8而分別形成有槽9。另外，各通道7之間的間隔8中例如可以填充低聲阻抗、高衰減性的硅橡膠之類的比較柔軟的樹脂以保持機(jī)械強(qiáng)度。另外，該樹脂不僅可以填充在間隔8中，也可以填充在其下的聲背襯層2的槽9中。各通道7具有壓電元件10、形成在該壓電元件10上的至少1層(例如2層)的聲匹配層、即第1、第2的聲匹配層11,、12。壓電元件10如圖2和圖3所示，具有例如含有鋯鈦酸鉛(PZT)系壓電陶瓷材料或弛豫系單晶材料的壓電體12、以及形成在該壓電體12的兩面上的第1、第2電極13,、132。上述壓電元件10的第1電極13,例如通過環(huán)氧樹脂系粘接劑層(未圖示)粘接并固定在聲背襯層2上。上述第1聲匹配層lh例如通過環(huán)氧樹脂系粘接劑層(未圖示)粘接并固定在壓電元件10的第2電極132上。第2聲匹配層112例如通過橡膠系粘接劑層(未圖示)粘接并固定在第1聲匹配層11,上。聲透鏡14形成在通道7的第2聲匹配層112表面上。聲背襯層2、多個(gè)通道7和聲透鏡14按照聲背襯層2裝載在支撐臺16上的方式收納在上端具有開口部的外殼(框體)15內(nèi)。在外殼15中內(nèi)藏有控制各通道7的壓電元件10的驅(qū)動(dòng)定時(shí)的控制電路和包括用于擴(kuò)增壓電元件10所接收的接收信號的放大電路的信號處理電路(未圖示)。信號側(cè)印刷配線板和接地側(cè)印刷配線板(均未圖示)的一端分別與壓電元件10的第1、第2電極13"132連接，另一端分別與控制電路、信號處理電路連接。電纜17從與聲透鏡14相反側(cè)的外殼15部分插入，其前端與信號處理電路(未圖示)連接。在這種構(gòu)成的陣列式超聲波探針中，在各通道7的壓電元件10的第l、第2電極13,、132間施加電壓，使壓電體12共振，從而通過各通道7的聲匹配層(第1、第2的聲匹配層lh、112)和聲透鏡14放射(發(fā)送)超聲波。接收時(shí)，利用通過聲透鏡14和各通道7的聲匹配層(第l、第2的聲匹配層11"112)所接收的超聲波，使各通道7的壓電元件10的壓電體12振動(dòng)，并將該振動(dòng)變換為電信號，從而獲得圖像。下面，說明實(shí)施方式的一維陣列式超聲波探針的制造方法。首先，由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25t:下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料形成聲背襯層，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的。具體地說，例如在液態(tài)環(huán)氧樹脂之類的液態(tài)樹脂中添加、分散多個(gè)結(jié)合纖維，并進(jìn)行成形，從而制作聲背襯層。通過使用這種液態(tài)樹脂，可以抑制多個(gè)結(jié)合纖維在它們的分散過程中折斷。接著，將上述壓電元件、第l、第2聲匹配層依次分別介由例如這些部件間的低粘性的環(huán)氧樹脂系粘接劑層疊在聲背襯層上。然后，例如在12(TC下加熱上述層疊物1小時(shí)左右，使上述各環(huán)氧樹脂系粘接劑固化，從而分別粘接并固定聲背襯層和壓電元件、壓電元件和第1聲匹配層、第1聲匹配層和第2聲匹配層。接著，例如使用切割刀(dicingblade)從第2聲匹配層向聲背襯層以例如50200pm的寬度(間距)進(jìn)行切割(截?cái)?處理，分割為多個(gè)一維陣列狀，從而形成具有壓電元件和第1、第2聲匹配層的多個(gè)通道。此時(shí)，對應(yīng)于多個(gè)通道的間隔，在聲背襯層的表層上形成槽。接著，根據(jù)需要，在各通道間的間隔中填充例如低聲阻抗、高衰減性的硅橡膠之類的比較柔軟的樹脂以保持各通道的機(jī)械強(qiáng)度。然后，利用硅橡膠系粘接層將聲透鏡粘接固定在各通道的第2聲匹配層上，并將聲背襯層、多個(gè)通道和聲透鏡收納在框體內(nèi)。之后，通過內(nèi)藏在外殼內(nèi)的控制電路與信號處理電路的連接、電纜與信號處理電路的連接等，從而制造一維陣列式超聲波探針。下面，參照圖7圖9說明實(shí)施方式的二維陣列式超聲波探針。圖7為實(shí)施方式的二維陣列式超聲波探針的要部立體圖、圖8為沿著圖7的vm-vin線的局部截面圖、圖9為沿著圖7的ix-ix線的局部截面圖。聲背襯層51如圖9所示，由在樹脂52中含有多個(gè)結(jié)合纖維53、從結(jié)合纖維53折斷的纖維片54和平均粒徑為2~15pm的粒子55、且聲阻抗在室溫25。C下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料制成，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的。多個(gè)通道56相互隔開間隔57在XY的二維方向(矩陣狀)上配置在聲背襯層51上。聲背襯層51如圖8所示在Y方向上分離。艮P，多個(gè)通道56如圖9所示，配置于在X方向上共通的聲背襯層51上，如圖8所示，配置于在Y方向上分離的聲背襯層51上。另外，聲背襯層51如圖9所示，對應(yīng)于配置在X方向上的各通道56間的間隔57而形成槽58。各通道56具有壓電元件59和配置在該壓電元件59上的例如1層的聲匹配層60。另外，聲匹配層60還可以是大于等于2層重疊而成的層疊體。壓電元件59配置在聲背襯層51上，如圖8、圖9所示，其具有例如含有鋯鈦酸鉛(PZT)系壓電陶瓷材料或弛豫系單晶材料的壓電體61、以及形成在該壓電體61的兩面上的例如含有Pd-Ag合金的第1、第2電極62!、622。信號側(cè)電極63如圖8所示，由壓電元件59的一個(gè)側(cè)面伸出至聲背襯層51而設(shè)計(jì)，并與露出到其另一個(gè)側(cè)面的第1電極62,連接。接地側(cè)電極64由壓電元件59的另一個(gè)側(cè)面伸出至聲背襯層51而設(shè)計(jì)，并與露出到其另一個(gè)側(cè)面的第2電極622連接。另外，露出至另一個(gè)側(cè)面的第1電極62,部分被切開，分別埋入例如含有環(huán)氧樹脂的絕緣部件65。通過將這種絕緣部件65埋入到露出至壓電元件59的另一個(gè)側(cè)面的第1電極62t部分中，在使接地側(cè)電極64從露出至壓電元件59的另一個(gè)側(cè)面的第2電極622橫切第1電極62,部分后伸出至聲背襯層51時(shí)，會(huì)防止接地電極64介由接地側(cè)電極64和第1電極62!之間的絕緣部件65與第1電極62i電連接。信號側(cè)印刷配線板(例如信號用撓性印刷配線板)66在表面上具有以通道56的排列間距圖案化的信號線67，這些信號線67在聲背襯層51所處的部分與上述信號側(cè)電極63電連接。接地側(cè)印刷配線板(例如接地用撓性印刷配線板)68在表面上具有以通道56的排列間距圖案化的接地線69，該接地線69在聲背襯層51所處的部分與接地側(cè)電極64電連接。這種信號側(cè)印刷配線板66與信號側(cè)電極63的連接和接地側(cè)印刷配線板68與接地側(cè)電極64的連接在圖8所示的Y方向的聲背襯層51的間隔間進(jìn)行。另外，還可以使用未圖案化的接地電極板使接地線共通。例如由有機(jī)硅樹脂制成的填充部件70設(shè)置在排列于X方向上的通道56間的間隔57和連通于該間隔57的聲背襯層51的槽58以及排列在Y方向上的通道56間的間隔57和聲背襯層51之間。未圖示的聲透鏡形成在多個(gè)通道56的聲匹配層60上。聲背襯層51、多個(gè)通道56和聲透鏡(未圖示)收納在未圖示的外殼(框體)內(nèi)。該外殼內(nèi)藏有控制各通道56的壓電元件59的驅(qū)動(dòng)定時(shí)的控制電路和包括用于擴(kuò)增壓電元件59所接收的接收信號的放大電路的信號處理電路(未圖示)。這些電路中，撓性印刷配線板66、68的信號線67、接地線69電連接。信號側(cè)、接地側(cè)的印刷配線板66、68并不局限于撓性印刷配線板，還可以是含有在環(huán)氧樹脂中編入有玻璃無紡布的復(fù)合材料的基板表面上形成有具有選自Au、Cr、Cu和Ni中的至少l種導(dǎo)電層(信號線、接地線)的剛性印刷配線板。下面，說明上述二維陣列式超聲波探針的制造方法的一例。首先，由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25'C下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料形成平板狀聲背襯層，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的。具體地說，例如在液態(tài)環(huán)氧樹脂之類的液態(tài)樹脂中添加、分散多個(gè)結(jié)合纖維，并進(jìn)行成形，從而制作平板狀聲背襯層。通過使用這種液態(tài)樹脂，可以抑制多個(gè)結(jié)合纖維在它們的分散過程中被折斷。接著，利用環(huán)氧粘接劑將平板狀壓電元件粘接在平板狀聲背襯層上。通過利用環(huán)氧粘接劑在平板狀壓電元件上粘接例如1張平板狀聲匹配層，從而制作具有平板狀聲背襯層、平板狀壓電元件、平板狀聲匹配層的平板狀層疊體。然后，通過切割例如以400Mm左右的寬度截?cái)嗥桨鍫顚盈B體，從而制作在長方狀聲背襯層上依次形成有長方狀壓電元件和長方狀聲匹配層的多個(gè)長方狀層疊體。接著，在沿著長方狀層疊體的長度方向的兩側(cè)面中，通過濺射等在長方狀壓電元件和長方狀聲背襯層的兩側(cè)面上分別形成信號側(cè)電極和接地側(cè)電極。此時(shí)，信號側(cè)電極僅與長方狀壓電元件的第1電極連接，接地側(cè)電極通過絕緣部件與長方狀壓電元件的第1電極絕緣，并僅與第2電極連接。由此形成從長方狀壓電元件的側(cè)面延伸至長方狀聲背襯層的信號側(cè)電極和接地側(cè)電極。通過這樣設(shè)定延伸至聲背襯層的信號側(cè)電極和接地側(cè)電極的長度，從而在信號側(cè)電極中通過通道分割操作分割為各個(gè)通道，另一方面，在接地側(cè)電極中在通道分割操作后也被共通化。另外，由于接地側(cè)電極也通過與信號側(cè)電極相同的方法形成，因此還可以設(shè)置分割成各個(gè)通道的電極區(qū)域。接著，通過對長方狀層疊體從其長方狀聲匹配層側(cè)向長方狀聲背襯層實(shí)施切割(截?cái)?加工，分割長方狀聲匹配層和長方狀壓電元件，從而形成具有壓電元件和聲匹配層的多個(gè)通道。各通道通常的寬度為100300nm。另外，通過在聲背襯層上以例如100300^im左右的深度切入而形成槽，從而將伸出至長方狀聲背襯層的一個(gè)側(cè)面的信號側(cè)電極分割為各個(gè)通道。伸出至另一個(gè)側(cè)面的接地側(cè)電極在通道分割操作后也被共通化。接著，將具有以壓電元件的排列間距圖案化的信號線的信號側(cè)撓性印刷配線板粘接在長方狀聲背襯層的另一個(gè)側(cè)面，從而與分割的信號側(cè)電極連接。接著，將具有共通化的接地線的接地側(cè)撓性印刷配線板粘接在長方狀聲背襯層的另一個(gè)側(cè)面上，從而與接地側(cè)電極連接。通過這種工序，以規(guī)定間距將具有壓電元件和聲匹配層的1列通道配置在聲背襯層上，從而制作在聲背襯層的各個(gè)側(cè)面上信號側(cè)電極、接地側(cè)電極與撓性印刷配線板上的信號線和接地線分別電連接而成的1列配置的通道陣列單元。之后，在多個(gè)通道間的間隔中埋入例如含有有機(jī)硅樹脂的填充部件，在多個(gè)通道上粘接聲透鏡，收納在內(nèi)藏有控制各通道的壓電元件的驅(qū)動(dòng)定時(shí)的控制電路和包括用于擴(kuò)增層疊壓電元件所接收的接收信號的放大電路的信號處理電路的外殼(框體)中，從而制造二維陣列式超聲波探針。參照圖IO說明實(shí)施方式的具備超聲波探針的超聲波診斷裝置。向?qū)ο笪锇l(fā)送超聲波信號并接收來自該對象物的反射信號(反射波信號)以將對象物圖像化的醫(yī)療用超聲波診斷裝置(或超聲波圖像檢查裝置)具備具有超聲波信號收發(fā)功能的陣列式超聲波探針。該超聲波探針具有例如上述圖1~圖3所示的結(jié)構(gòu)。該超聲波探針1通過電纜17與超聲波診斷部件71連接。超聲波診斷部件71具備進(jìn)行超聲波探針的超聲波信號的發(fā)送、接收處理等的未圖示的超聲波探針控制器和顯示器72。，以上說明的實(shí)施方式的超聲波探針由于具備聲背襯層，其由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25'C下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料所制成，上述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的；多個(gè)通道，其相互隔開間隔地配置在上述聲背襯層上、且具有壓電元件和形成在該壓電元件上的聲匹配層；以及聲透鏡，其按照至少覆蓋上述各通道的聲匹配層的表面的方式形成，因此可以發(fā)揮以下效果。(1)聲背襯層由于由在樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維的復(fù)合樹脂材料制成，因此可以表現(xiàn)出較大的超聲波衰減率。即，通過多個(gè)通道的壓電元件的驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生并被放射到壓電元件的背面?zhèn)鹊某暡ǖ竭_(dá)聲背襯層中的結(jié)合纖維。該結(jié)合纖維由于具有多個(gè)氧化鋅的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸的形狀，因此當(dāng)遇到超聲波時(shí)，通過自身振動(dòng)而吸收，從而表現(xiàn)出較大的衰減率。(2)構(gòu)成復(fù)合樹脂材料中的結(jié)合纖維的氧化鋅纖維由于具有優(yōu)異的導(dǎo)熱率，因此可以有效地將多個(gè)通道的壓電元件所產(chǎn)生的熱量和隨著聲背襯層自身的超聲波衰減所產(chǎn)生的熱量良好地釋放到外部。(3)由樹脂中填充有多個(gè)具有多個(gè)氧化鋅的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸的形狀的結(jié)合纖維的復(fù)合樹脂材料制成的聲背襯層由于具有較高強(qiáng)度，因此在以形成通道為目的的聲匹配層、壓電元件的截?cái)嗪驮诼暠骋r層中形成槽、或者聲匹配層、壓電元件和聲背襯層的截?cái)鄷r(shí)可以防止在聲背襯層中發(fā)生斷裂。另外，這種構(gòu)成的聲背襯層由于可以通過所填充的纖維調(diào)和厚度方向和面方向的強(qiáng)度，因此可以良好地緩和裁斷時(shí)的應(yīng)力、從而防止斷裂發(fā)生。結(jié)果可以防止通道不良。因此，由于具備具有高衰減率、高放熱性的聲背襯層、進(jìn)而通過聲背襯層的強(qiáng)度提高可以防止通道不良，因此可以提供高靈敏度、高可靠性的超聲波探針。通過使用環(huán)氧樹脂、有機(jī)硅系橡膠作為復(fù)合樹脂材料中的樹脂，可以使用環(huán)氧樹脂作為粘接樹脂層，因此可以牢固地粘接壓電元件和聲背襯層，進(jìn)而可以更有效地防止通道不良。特別是，通過使結(jié)合纖維的氧化鋅纖維的直徑小于等于10pm、其長度大于等于其直徑的5倍、在樹脂中的含量為3~20體積％，從而可以提供具備具有更高強(qiáng)度、更高衰減率、更高放熱性的聲背襯層、且更高靈敏度、更高可靠性的超聲波探針。另外，通過在構(gòu)成聲背襯層的復(fù)合樹脂材料中進(jìn)一步填充由金屬鎢、氧化鎢、金屬鉭、金屬鐵、氧化鐵等制作的粒子，可以提供具備具有更高強(qiáng)度、更高衰減率、更高放熱性的聲背襯層、且靈敏度和可靠性進(jìn)一步提高的超聲波探針。實(shí)施方式的超聲波診斷裝置由于具備高靈敏度、高可靠性的超聲波探針，因此可以實(shí)現(xiàn)斷層圖像的圖像質(zhì)量提高和靈敏度提高。以下更加詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施例。(實(shí)施例1)在液態(tài)環(huán)氧樹脂(Emerson&Cuming公司生產(chǎn)商品名，工〕求乂K27)[略記為EPR]中添加作為結(jié)合纖維的多個(gè)四腳狀氧化鋅纖維(TPZ)，其相對于該液態(tài)環(huán)氧樹脂和TPZ的總量為3體積M，然后添加固化劑，放入到聚乙烯的容器中，用旋轉(zhuǎn)式混合機(jī)攪拌5分鐘，均勻地混合，從而調(diào)制聲背板組合物。這里所用的TPZ具有4根氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸的形狀，各氧化鋅纖維的直徑約為2pm、長度為4050jim。另夕卜，多個(gè)TPZ混合存在長度基本相同的4根氧化鋅纖維沿著互不相同的方向伸出的形狀以及長度為40~50nm范圍的4根氧化鋅纖維沿著互不相同的方向伸出的形狀。接著，在真空容器中對聲背板組合物進(jìn)行IO分鐘的除氣泡處理，然后放入含有特氟隆(注冊商標(biāo))的容器中。接著，在85'C下預(yù)固化1小時(shí)后，在125'C下進(jìn)行2小時(shí)的主固化，從而制造聲背襯層用材料。(實(shí)施例27)除了以下述表1所示的比例配合EPR、TZP和第2填充材料以外，通過與實(shí)施例1同樣的方法分別制造聲背襯層用材料。(實(shí)施例8)在液態(tài)丁腈橡膠(日本Zeon公司生產(chǎn)商品名，液態(tài)NBR)[略記為NBR]中添加與實(shí)施例1同樣的多個(gè)四腳狀氧化鋅纖維(TPZ)，其相對于該NBR和TPZ的總量為5體積％，進(jìn)而以相對于NBR和粒子的總量為5體積％添加平均粒徑為51(Hirn的Fe203粒子后，放入聚乙烯的容器中，用旋轉(zhuǎn)式混合機(jī)攪拌5分鐘，均勻地混合，從而調(diào)制聲背板組合物。接著，在真空容器中對該聲背板組合物進(jìn)行10分鐘的除氣泡處理，放入含有特氟隆(注冊商標(biāo))的容器中。接著，在8(TC下進(jìn)行24小時(shí)的固化，從而制造聲背襯層用材料。(實(shí)施例9)在異戊二烯橡膠(夕，^公司生產(chǎn)商品名；夕，7。l^:/LIR)[略記為IR]中添加與實(shí)施例1同樣的多個(gè)四腳狀氧化鋅纖維(TPZ)，其相對于該IR和TPZ的總量為10體積％，進(jìn)而，以相對于IR和粒子的總量為10體積％添加平均粒徑為5~10nm的鎢粒子后，放入聚乙烯的容器中，用旋轉(zhuǎn)式混合機(jī)攪拌5分鐘，均勻地混合，從而調(diào)制聲背板組合物。接著，在真空容器中對該聲背板組合物進(jìn)行10分鐘的除氣泡處理，放入含有特氟隆(注冊商標(biāo))的容器中。接著，在80'C下進(jìn)行24小時(shí)的固化，從而制造聲背襯層用材料。(實(shí)施例10)在硅橡膠(東芝GE有機(jī)硅公司生產(chǎn)商品名；TSE3221S)[略記為Q]中添加與實(shí)施例1同樣的多個(gè)四腳狀氧化鋅纖維(TPZ)，其相對于該Q和TPZ的總量為4體積n/。，進(jìn)而，以相對于Q和粒子的總量為4體積％添加平均粒徑為51(Hrni的Fe203粒子后，放入聚乙烯的容器中，用旋轉(zhuǎn)式混合機(jī)攪拌5分鐘，均勻地混合，從而調(diào)制聲背板組合物。接著，在真空容器中對該聲背板組合物進(jìn)行10分鐘的除氣泡處理，放入含有特氟隆(注冊商標(biāo))的容器中。接著，在40'C下進(jìn)行24小時(shí)的固化，從而制造聲背襯層用材料。(實(shí)施例11)除了以下述表1所示的比例配合Q、TZP和第2填充材料以外，通過與實(shí)施例10同樣的方法制造聲背襯層用材料。(比較例1、2)除了以下述表1所示的比例配合EPR、第1填充材料或EPR、第1、第2填充材料以外，通過與實(shí)施例1同樣的方法制造聲背襯層用材料。(比較例3)除了以下述表1所示的比例配合NBR、第l、第2填充材料以外，通過與實(shí)施例8同樣的方法制造聲背襯層用材料。(比較例4)除了以下述表1所示的比例配合IR、第1、第2填充材料以外，通過與實(shí)施例9同樣的方法制造聲背襯層用材料。(比較例5、6)除了以下述表1所示的比例配合Q、第l、第2填充材料以外，通過與實(shí)施例10同樣的方法制造聲背襯層用材料。另夕卜，下述表1的第1填充材料欄的CF是直徑為lOpm、長度為6mm的碳纖維，GF是直徑為l(Hmi、長度為6mm的玻璃纖維，AF是直徑為10pm、長度為6mm的氧化鋁纖維，第2填充纖維全部是平均粒徑為51(Him的粒子。下述表1的第1填充材料的量表示相對于樹脂和第1填充材料的總量的體積％、第2填充材料的量表示相對于樹脂和第2填充材料的總量的體積％。對于所得的實(shí)施例1~11和比較例1~6的聲背襯層用材料，通過以下的方法評價(jià)密度、音速、聲阻抗(AI)、衰減率、導(dǎo)熱率、絕緣電阻、信號不均(均勻性)和加工性。1)密度密度是使用由聲背襯層用材料切出的30mmx30mmxlmm大小的第1試驗(yàn)片，利用測定25。C的空氣中和水中的重量的阿基米德法求出。2)音速和衰減率在水中25。C下使用lMHz的測定用探針，測定上述第1試驗(yàn)片的音速、衰減率。SP，由超聲波探針向靜置在水中的不銹鋼板和靜置的第1試驗(yàn)片發(fā)送超聲波，并測定其反射波。通過有無第1試驗(yàn)片所導(dǎo)致的反射波的時(shí)間差以及第1試驗(yàn)片的厚度求出音速。音速(C)的計(jì)算是以各溫度下水的音速為標(biāo)準(zhǔn)，利用水和第1試驗(yàn)片的透射波形的時(shí)間差，使用下式求出。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>其中，Q)表示水的音速、d表示試樣的厚度、At表示超過水和第1試驗(yàn)片的透射波形的最初峰后的零交點(diǎn)的時(shí)間差。衰減率同樣通過規(guī)定方法由水溫25'C下第1試驗(yàn)片的有無所導(dǎo)致的反射波的強(qiáng)度差和第1試驗(yàn)片厚度來求出。3)聲阻抗(AI)AI以測定的密度與音速之積而求出。4)導(dǎo)熱率使用由聲背襯層用材料切出的直徑為10mm、厚度為lmm的第2試驗(yàn)片，通過激光閃光法求出。5)絕緣電阻在上述第1試驗(yàn)片(尺寸30mmx30mmxlmm)上施加500V電壓1分鐘，測定泄露的電流，評價(jià)絕緣電阻。絕緣電阻的評價(jià)分為以下5級-大于等于lxl012Qcm:5、.大于等于lxlO"Qcm、但小于lxl012Qcm:4、大于等于lxl01()Qcm、但小于lxlO"Qcm:3、.大于等于lxl09Qcm、但小于lxl01GQcm:2、小于lxl09Qcm:1。6)信號不均在上述第1試驗(yàn)片(尺寸30mmx30mmxlmm)上介由環(huán)氧樹脂粘接劑依次層疊PZT壓電元件和含有在硅橡膠中添加有氧化鋁無機(jī)填充物的混合材料的聲匹配層，從聲匹配層向聲背襯層按照在聲背襯層上形成深度為200pm的槽的方式對該層疊物進(jìn)行交叉切割，從而形成20個(gè)x20個(gè)(共計(jì)400個(gè))尺寸為20(Vmx200pm(面積0.04mm2)的通道。在各通道的壓電元件的一個(gè)電極上施加ioov的脈沖電壓，將另一電極接地，使壓電元件振動(dòng)。測定振動(dòng)各通道的壓電元件時(shí)的信號強(qiáng)度，評價(jià)與通道不良有關(guān)的信號不均。信號不均的評價(jià)分為以下5級-通道間的信號強(qiáng)度不均小于等于5%:5、通道間的信號強(qiáng)度不均超過5%、但小于等于10%:4、通道間的信號強(qiáng)度不均超過10%、但小于等于20%:3、通道間的信號強(qiáng)度不均超過20%、但小于等于40%:2、-通道間的信號強(qiáng)度不均大于等于40%:1。7)加工性在上述第1試驗(yàn)片(尺寸30mmx30mmxlmm)上進(jìn)行交叉切割，形成深度為200pm的槽，使得每個(gè)槽的尺寸為200limx200pm，且為20個(gè)x20個(gè)(共計(jì)400個(gè))。在該槽的形成中，利用顯微鏡觀察破損狀態(tài)來評價(jià)加工性。加工性的評價(jià)分為以下5級破損數(shù)為0%:5、破損數(shù)超過0%、但小于等于1%:4、破損數(shù)超過1%、但小于等于5%:3、破損數(shù)超過5%、但小于等于20%:2、-破損數(shù)大于等于20%:1。這些結(jié)果一并記載于下述表1中。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>(注)衰減率的單位為dB/mmMHz。由上述表l可知，由樹脂中添加有多個(gè)四腳狀氧化鋅纖維(TPZ)的復(fù)合樹脂材料所制成的實(shí)施例1~11的聲背襯層用材料具有聲阻抗小至1.56MRayls、衰減率為1.55.6dB/mmMHz、導(dǎo)熱率大至0.5~1.5W/m的值，而且具有微小通道(面積0.04mm2)的不良率也低，靈敏度不均較小的特性。特別是，由四腳狀氧化鋅纖維(TPZ)的填充率為3~20體積％的復(fù)合樹脂材料所制成的實(shí)施例1~10的聲背襯層用材料與由TPZ的填充率超過20體積％的復(fù)合樹脂材料所制成的實(shí)施例11的聲背襯層用材料相比，絕緣電阻和加工性更高。另外，上述各實(shí)施例是示例用于具體化本發(fā)明技術(shù)思想的裝置，本發(fā)明的技術(shù)思想并非將構(gòu)成部件的材質(zhì)、形狀、結(jié)構(gòu)、配置等局限于實(shí)施例所示的內(nèi)容。本發(fā)明在不脫離其主旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變形進(jìn)行實(shí)施。權(quán)利要求1.超聲波探針，其特征在于，其具備聲背襯層，其由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25℃下為1.3～6MRayls的復(fù)合樹脂材料所制成，所述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的；多個(gè)通道，其相互隔開間隔地配置在所述聲背襯層上，且具有壓電元件和形成在該壓電元件上的聲匹配層；以及聲透鏡，其按照至少覆蓋所述各通道的聲匹配層的表面的方式形成。2.權(quán)利要求1所述的超聲波探針，其特征在于，所述樹脂為選自環(huán)氧樹脂、有機(jī)硅系橡膠、異戊二烯系橡膠和丁腈系橡膠中的至少1種。3.權(quán)利要求2所述的超聲波探針，其特征在于，所述氧化鋅纖維具有直徑小于等于10pm、長度大于等于其直徑5倍的尺寸，含有所述氧化鋅纖維的所述結(jié)合纖維在所述樹脂中的含量是相對于所述樹脂和結(jié)合纖維的總量為3~20體積％的范圍。4.權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)所述的超聲波探針，其特征在于，所述氧化鋅纖維的長度為40nm50nm。5.權(quán)利要求1所述的超聲波探針，其特征在于，所述復(fù)合樹脂材料進(jìn)一步含有選自金屬鎢、氧化鎢、金屬鉭、金屬鐵和氧化鐵中的至少1種粒子。6.權(quán)利要求5所述的超聲波探針，其特征在于，所述粒子的平均粒徑為215pm。7.權(quán)利要求5所述的超聲波探針，其特征在于，所述粒子在所述樹脂中的含量為相對于所述樹脂和粒子的總量小于等于10體積％。8.權(quán)利要求7所述的超聲波探針，其特征在于，所述結(jié)合纖維和所述粒子以體積比計(jì)為3:0.12:1的比例含有在所述樹脂中。9.權(quán)利要求1所述的超聲波探針，其特征在于，所述多個(gè)通道為在二維方向上排列的陣列式，且各通道的面積小于等于0.03mm2。10.超聲波診斷裝置，其特征在于，其具備超聲波探針和通過電纜與所述超聲波探針連接的超聲波診斷部件，其中所述超聲波探針具備:聲背襯層，其由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25'C下為1.36MRayls的復(fù)合樹脂材料所制成，所述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的；多個(gè)通道，其相互隔開間隔地配置在所述聲背襯層上，且具有壓電元件和形成在該壓電元件上的聲匹配層；以及聲透鏡，其按照至少覆蓋所述各通道的聲匹配層的表面的方式形成。全文摘要本發(fā)明提供具備微小的通道間的均勻性高、放熱特性優(yōu)異、衰減率大、而且強(qiáng)度高、具有高絕緣性的聲背襯層的超聲波探針。該超聲波探針的特征在于，其具備聲背襯層，其由樹脂中含有多個(gè)結(jié)合纖維、且聲阻抗在室溫25℃下為1.3～6MRayls的復(fù)合樹脂材料所制成，所述結(jié)合纖維是通過多個(gè)氧化鋅纖維的一端相互結(jié)合、另一端沿著互不相同的方向延伸而得到的；多個(gè)通道，其相互隔開間隔地配置在所述聲背襯層上，且具有壓電元件和形成在該壓電元件上的聲匹配層；以及聲透鏡，其按照至少覆蓋所述各通道的聲匹配層的表面的方式形成。文檔編號A61B8/00GK101172044SQ20071016798公開日2008年5月7日申請日期2007年10月31日優(yōu)先權(quán)日2006年10月31日發(fā)明者山下洋八,細(xì)野靖晴申請人:株式會(huì)社東芝