一種硅片正反面色差檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉硅片檢測技術領域，更具體地說是涉及一種硅片正反面色差檢測裝置。
【背景技術】
[0002]目前在太陽能光伏制造業(yè)所使用的硅片色差檢測裝置都是單一的正面檢測，不能滿足客戶對硅片的正反兩面都要進行色差檢測要求，而且單一的正面檢測會使硅片色差檢測結果的精度偏低。
【實用新型內容】
[0003]為解決上述現有技術中的問題，本實用新型提供一種硅片正反面色差檢測裝置，通過對硅片的正反面色差進行檢測，提高了硅片色差檢測結果的精度。
[0004]本實用新型的技術方案為:一種硅片正反面色差檢測裝置，包括:
[0005]依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉機構和第二皮帶線組件；
[0006]設于所述第一皮帶線組件上的正面色差檢測儀，所述硅片在第一皮帶線組件上運送經過所述正面色差檢測儀時，進行正面色差檢測，并繼續(xù)向后運送；
[0007]以及設于所述旋轉機構側面的反面色差檢測儀，所述旋轉機構上固定連接用于吸取所述硅片的吸盤，通過所述旋轉機構上的吸盤吸取已進行正面色差檢測的硅片，并旋轉第一角度將硅片送到反面色差檢測儀上方停止，進行反面色差檢測后，再旋轉第二角度將硅片送到所述第二皮帶線組件上。
[0008]所述旋轉機構包括電機，與所述電機連接的蝸輪蝸桿減速機，固定安裝在所述蝸輪蝸桿減速機上的法蘭，固定安裝在所述法蘭上的安裝板，以及固定安裝于所述安裝板端部的豎直連接桿，所述豎直連接桿末端與所述吸盤固定連接。
[0009]所述安裝板為十字安裝板，所述十字安裝板固定連接有至少四個吸盤，第一角度和第二角度為90度。
[0010]本實用新型提出的硅片正反面色差檢測裝置，通過設置依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉機構和第二皮帶線組件，在第一皮帶線組件上設置正面色差檢測儀，在旋轉機構的側面設置反面色差檢測儀，這樣能對硅片的正反面色差進行檢測，得到了硅片正反兩面的色差檢測結果，從而提高了硅片色差檢測結果的精度。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型硅片正反面色差檢測裝置的立體結構示意圖；
[0012]圖2為圖1中的俯視圖；
[0013]圖3為圖1中的主視圖。
【具體實施方式】
[0014]如圖1和圖2所示，本實用新型提出的硅片正反面色差檢測裝置包括第一皮帶線組件1、正面色差檢測儀2、反面色差檢測儀4、旋轉機構3和第二皮帶線組件5，第一皮帶線組件
1、旋轉機構3和第二皮帶線組件5依次運送硅片。
[0015]正面色差檢測儀2設于第一皮帶線組件I上，硅片7在第一皮帶線組件I上運送經過正面色差檢測儀2時，進行正面色差檢測，并繼續(xù)向后輸送。
[0016]反面色差檢測儀4設于旋轉機構3的側面，這樣避免了拍攝到傳送皮帶，提高檢測時拍照的準確性。
[0017]旋轉機構3上固定連接用于吸取硅片的吸盤6，通過旋轉機構3上的吸盤6吸取已進行正面色差檢測的硅片，并旋轉第一角度將硅片送到反面色差檢測儀4上方停止，進行反面色差檢測后，再旋轉第二角度將硅片送到第二皮帶線組件5上。
[0018]如圖3所示，旋轉機構包括電機31，與電機31連接的蝸輪蝸桿減速機32，固定安裝在蝸輪蝸桿減速機32上的法蘭33，固定安裝在法蘭33上的安裝板34，以及固定安裝于安裝板34端部的豎直連接桿35，豎直連接桿35末端與吸盤6固定連接，電機31驅動帶動安裝板34旋轉。
[0019]該硅片正反面色差檢測裝置還包括控制器，控制器一方面用于控制吸盤上電磁閥，使吸盤吸取硅片和放下硅片，另一方面用于控制電機。
[0020]結合圖2和圖3對本實用新型的檢測過程詳細說明:本實施例中，安裝板34為十字安裝板，十字安裝板34固定連接有至少四個吸盤，這里吸盤數量為四個，第一角度和第二角度為90度。硅片從第一皮帶線組件I的前端放上，并通過第一皮帶線組件I向后運送，當硅片經過安裝在第一皮帶線組件I上的正面色差檢測儀2時，正面色差檢測儀2開始拍照并檢測，并由此得出硅片正面色差結果。硅片在第一皮帶線組件上繼續(xù)向后運送到達下一工位時，安裝在第一皮帶線組件I上的感應器接收到信號，控制器控制吸盤6上的電磁閥，使吸盤6吸取硅片，此時電機驅動帶動十字安裝板旋轉90度將硅片運送到反面色差檢測儀4上方停止，此時反面色差檢測儀4開始拍照并檢測，由此得出硅片反面色差結果。反面色差檢測完后，再旋轉90度將硅片運送到第二皮帶線組件5上方，吸盤6放下硅片并由第二皮帶線組件5向后運送到下一個工位。正面色差檢測儀和反面色差檢測儀對拍照收到的信號經過處理，在顯示器輸出處理結果來指導后面硅片色差分選的工作。
[0021]以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構思，本領域的普通技術人員在本實用新型的構思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種硅片正反面色差檢測裝置，其特征在于，包括: 依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉機構和第二皮帶線組件； 設于所述第一皮帶線組件上的正面色差檢測儀，所述硅片在第一皮帶線組件上運送經過所述正面色差檢測儀時，進行正面色差檢測，并繼續(xù)向后運送； 以及設于所述旋轉機構側面的反面色差檢測儀，所述旋轉機構上固定連接用于吸取所述硅片的吸盤，通過所述旋轉機構上的吸盤吸取已進行正面色差檢測的硅片，并旋轉第一角度將硅片送到反面色差檢測儀上方停止，進行反面色差檢測后，再旋轉第二角度將硅片送到所述第二皮帶線組件上。2.根據權利要求1所述的硅片正反面色差檢測裝置，其特征在于，所述旋轉機構包括電機，與所述電機連接的蝸輪蝸桿減速機，固定安裝在所述蝸輪蝸桿減速機上的法蘭，固定安裝在所述法蘭上的安裝板，以及固定安裝于所述安裝板端部的豎直連接桿，所述豎直連接桿末端與所述吸盤固定連接。3.根據權利要求2所述的硅片正反面色差檢測裝置，其特征在于，所述安裝板為十字安裝板，所述十字安裝板固定連接有至少四個吸盤，第一角度和第二角度為90度。
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片正反面色差檢測裝置，包括依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉機構和第二皮帶線組件；設于所述第一皮帶線組件上的正面色差檢測儀，所述硅片在第一皮帶線組件上運送經過所述正面色差檢測儀時，進行正面色差檢測，并繼續(xù)向后運送；以及設于所述旋轉機構側面的反面色差檢測儀，所述旋轉機構上固定連接用于吸取所述硅片的吸盤，通過所述旋轉機構上的吸盤吸取已進行正面色差檢測的硅片，并旋轉第一角度將硅片送到反面色差檢測儀上方停止，進行反面色差檢測后，再旋轉第二角度將硅片送到所述第二皮帶線組件上。該硅片正反面色差檢測裝置通過對硅片的正反面色差進行檢測，提高了硅片色差檢測結果的精度。
【IPC分類】H01L21/66, H01L21/677
【公開號】CN205194661
【申請?zhí)枴緾N201520913872
【發(fā)明人】謝鑫, 胡永濤, 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月17日