彩色濾光片及其制作方法和用于制作彩色濾光片的光罩的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種彩色濾光片及其制作方法，以及用于制作彩色濾光片的光罩。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示裝置包括對(duì)置的彩色濾光片(Color Fi I ter，CF)和陣列基板(TFTarray)以及夾置在兩者之間的液晶層(Liquid Crystal，LC)?，F(xiàn)有彩色濾光片的基本結(jié)構(gòu)包括玻璃基板(Glass Substrate )、黑矩陣(Black Matrix，BM)、彩色濾光膜(ColorLayer)、電極層(ITO)、配向膜(Polyimide，PI)、隔墊物(Photo Spacer，PS)等組成。
[0003]圖1是現(xiàn)有彩色濾光片的局部剖面示意圖，請(qǐng)參圖1，彩色濾光片10的黑矩陣12設(shè)置在玻璃基板11上，黑矩陣12包括多條相互交叉的遮光條12a，黑矩陣12用于遮擋像素邊緣區(qū)域。玻璃基板11未被黑矩陣12覆蓋的地方被相互交叉的遮光條12a分隔形成多個(gè)透光區(qū)域11a。彩色濾光膜13包括三種顏色的濾光膜，例如紅色濾光膜R、綠色濾光膜G和藍(lán)色濾光膜B，該三種顏色的濾光膜R、G、B按一定的排列方式設(shè)置在玻璃基板11的透光區(qū)域I Ia上，彩色濾光膜13用于LCD的彩色顯示。彩色濾光膜13上設(shè)置有電極層或配向膜14，在該電極層或配向膜14上設(shè)置有隔墊物15，隔墊物15用于支撐液晶盒厚。
[0004]現(xiàn)有的彩色濾光片是在玻璃基板11上經(jīng)過(guò)多次沉積、曝光、刻蝕等工序制作形成的，其制作工藝的一般步驟包括:
[0005](I)沉積一層不透明樹(shù)脂，曝光刻蝕后得到黑矩陣12;
[0006](2)分別沉積紅綠藍(lán)樹(shù)脂，曝光刻蝕后得到彩色濾光膜13;
[0007](3)沉積電極層或配向膜14;以及
[0008](4)沉積隔墊物，曝光刻蝕后得到隔墊物15。
[0009]由此可見(jiàn)，現(xiàn)有的彩色濾光片需要經(jīng)過(guò)黑矩陣12、彩色濾光膜13、隔墊物15的復(fù)雜制作工序。而且在制作彩色濾光膜13時(shí)，一般需要使用三張不同的光罩(mask)，用于分別制作R、G、B三種顏色的濾光膜。復(fù)雜的制程和多張光罩的使用增加了彩色濾光片的制作時(shí)間和生產(chǎn)成本。
[0010]如上述，現(xiàn)有的彩色濾光片制程首先在玻璃基板11上形成黑矩陣12，黑矩陣12的基本功能是遮光，作用是防止相鄰R、G、B像素混色。業(yè)界曾提出在制作彩色濾光膜13時(shí)，將兩種色阻材料重疊以實(shí)現(xiàn)黑矩陣遮光的想法，這樣可省去制作黑矩陣12的制程，減少一張制作黑矩陣12的光罩以及制作黑矩陣12的制程時(shí)間，但是彩色濾光膜13和隔墊物15的制作仍需多張光罩來(lái)完成，生產(chǎn)成本仍很高，制程工藝有待改善。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011 ]本發(fā)明的目的在于提供一種彩色濾光片及其制作方法，以及用于制作彩色濾光片的光罩，以簡(jiǎn)化彩色濾光片的制程，減少彩色濾光片的制作時(shí)間和生產(chǎn)成本。
[0012]本發(fā)明提供一種彩色濾光片，包括襯底基板和形成在該襯底基板上的第一彩色濾光膜、第二彩色濾光膜和第三彩色濾光膜，該第一彩色濾光膜包括圖案化的第一色阻圖案，該第二彩色濾光膜包括圖案化的第二色阻圖案，該第三彩色濾光膜包括圖案化的第三色阻圖案，每個(gè)色阻圖案的四側(cè)邊緣通過(guò)兩種色阻重疊形成黑矩陣，每個(gè)色阻圖案的四個(gè)邊角通過(guò)三種色阻重疊形成隔墊物。
[0013]進(jìn)一步地，該第一彩色濾光膜、該第二彩色濾光膜和該第三彩色濾光膜的圖案相同，該第二彩色濾光膜的圖案相對(duì)于該第一彩色濾光膜的圖案沿該襯底基板朝向一側(cè)偏移一個(gè)子像素的寬度，該第三彩色濾光膜的圖案相對(duì)于該第一彩色濾光膜的圖案沿該襯底基板朝向相反的另一側(cè)偏移一個(gè)子像素的寬度。
[0014]進(jìn)一步地，每一行中相鄰的兩個(gè)該第一色阻圖案沿著該襯底基板的橫向相互間隔，上下相鄰兩行中的該第一色阻圖案沿著該襯底基板的豎向相互錯(cuò)開(kāi)一個(gè)子像素的寬度且通過(guò)一個(gè)邊角相連。
[0015]進(jìn)一步地，位于奇數(shù)行的該第一色阻圖案在該豎向上相互對(duì)齊，位于偶數(shù)行的該第一色阻圖案在該豎向上也相互對(duì)齊，但位于奇數(shù)行的該第一色阻圖案和位于偶數(shù)行的該第一色阻圖案在該豎向上相互錯(cuò)開(kāi)一個(gè)子像素的寬度。
[0016]進(jìn)一步地，上下相鄰兩行中的該第一色阻圖案在該橫向和該豎向上均具有重疊，且重疊尺寸均為該黑矩陣的寬度。
[0017]進(jìn)一步地，該彩色濾光片具有顯示區(qū)和位于該顯示區(qū)周邊的非顯示區(qū)，該第一色阻圖案、該第二色阻圖案和該第三色阻圖案對(duì)應(yīng)于該顯示區(qū)，該第一彩色濾光膜還包括第一周邊色組，該第二彩色濾光膜還包括第二周邊色組，該第三彩色濾光膜還包括第三周邊色組，該第一周邊色組、該第二周邊色組和該第三周邊色組對(duì)應(yīng)于該非顯示區(qū)，該第一周邊色組、該第二周邊色組和該第三周邊色組在該非顯示區(qū)通過(guò)色阻重疊形成黑矩陣或隔墊物。
[0018]進(jìn)一步地，該第一周邊色組為圖案化結(jié)構(gòu)且包括多個(gè)第一周邊色組圖案，每個(gè)該第一周邊色組圖案的寬度相當(dāng)于兩個(gè)子像素的寬度，每一行中相鄰的兩個(gè)該第一周邊色組圖案相互間隔一個(gè)子像素的寬度，該第二周邊色組為圖案化結(jié)構(gòu)且包括多個(gè)第二周邊色組圖案，該第三周邊色組為圖案化結(jié)構(gòu)且包括多個(gè)第三周邊色組圖案。
[0019]本發(fā)明還提供一種彩色濾光片的制作方法，該制作方法包括如下步驟:
[0020]提供一張光罩，利用該光罩在襯底基板上曝光制作第一彩色濾光膜，該第一彩色濾光膜包括圖案化的第一色阻圖案，定義該光罩在曝光制作該第一彩色濾光膜時(shí)所處的曝光位置為基準(zhǔn)位置；
[0021]將該同一張光罩在上述基準(zhǔn)位置的基礎(chǔ)上沿該襯底基板朝向一側(cè)移動(dòng)一個(gè)子像素的寬度，在該襯底基板上曝光制作第二彩色濾光膜，該第二彩色濾光膜包括圖案化的第二色阻圖案；以及
[0022]將該同一張光罩在上述基準(zhǔn)位置的基礎(chǔ)上沿該襯底基板朝向相反的另一側(cè)移動(dòng)一個(gè)子像素的寬度，在該襯底基板上曝光制作第三彩色濾光膜，該第三彩色濾光膜包括圖案化的第三色阻圖案；
[0023]其中，每個(gè)色阻圖案的四側(cè)邊緣通過(guò)兩種色阻重疊形成黑矩陣，每個(gè)色阻圖案的四個(gè)邊角通過(guò)三種色阻重疊形成隔墊物。
[0024]本發(fā)明還提供一種用于制作彩色濾光片的第一光罩，該彩色濾光片包括顯示區(qū)，該第一光罩包括第一光罩圖案，該第一光罩圖案用于曝光制作該彩色濾光片的顯示區(qū)，每一行中相鄰的兩個(gè)該第一光罩圖案沿著該第一光罩的橫向相互間隔，上下相鄰兩行中的該第一光罩圖案沿著該第一光罩的豎向相互錯(cuò)開(kāi)一個(gè)子像素的寬度且通過(guò)一個(gè)邊角相連，位于奇數(shù)行的該第一光罩圖案在該豎向上相互對(duì)齊，位于偶數(shù)行的該第一光罩圖案在該豎向上也相互對(duì)齊，但位于奇數(shù)行的該第一光罩圖案和位于偶數(shù)行的該第一光罩圖案在該豎向上相互錯(cuò)開(kāi)一個(gè)子像素的寬度，上下相鄰兩行中的該第一光罩圖案在該橫向和該豎向上均具有重疊且重疊尺寸均為黑矩陣的寬度。
[0025]本發(fā)明還提供一種用于制作彩色濾光片的第二光罩，該彩色濾光片包括顯示區(qū)，該第二光罩包括第二光罩圖案，該第二光罩圖案用于曝光制作該彩色濾光片的顯示區(qū)，該第二光罩圖案與上述的第一光罩圖案呈結(jié)構(gòu)互補(bǔ)關(guān)系。
[0026]本發(fā)明提供的彩色濾光片及其制作方法，利用同一張光罩即實(shí)現(xiàn)了在襯底基板上制作第一彩色濾光膜、第二彩色濾光膜和第三彩色濾光膜，且在制作第一彩色濾光膜、第二彩色濾光膜和第三彩色濾光膜的同時(shí)，通過(guò)這三種顏色的濾光膜相互重疊形成所需的黑矩陣和隔墊物。由于三種顏色的濾光膜共用同一張光罩制作形成，且同時(shí)還省去了制作黑矩陣和隔墊物所需的光罩和制程時(shí)間，簡(jiǎn)化了彩色濾光片的制程，大大減少了彩色濾光片的制作時(shí)間和生產(chǎn)成本。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是現(xiàn)有彩色濾光片的局部剖面示意圖。
[0028]圖2是本發(fā)明實(shí)施例的彩色濾光片的局部平面示意圖。
[0029]圖3是圖2中沿II1-1II線的剖面示意圖。
[0030]圖4是圖2中沿IV-1V線的剖面示意圖。
[0031]圖5a至圖5c為本發(fā)明第一實(shí)施例的彩色濾光片的制作過(guò)程局部平面示意圖。
[0032]圖6是圖5a中VI部分的放大示意圖。
[0033]圖7a至圖7c為本發(fā)明第二實(shí)施例的彩色濾光片的非顯示區(qū)的制作過(guò)程局部平面示意圖。
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