技術(shù)編號：5873134
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域內(nèi)的檢測方法，尤其涉及一種測試用探針電阻的 檢測方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域內(nèi)，需要采用測試工具來檢測器件的電阻。請參閱圖1，圖1所 示是通過測試工具檢測器件電阻的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，標(biāo)號1表示器件、標(biāo)號21表示第一 引線、標(biāo)號22表示第二引線、標(biāo)號31表示第一焊墊、32表示第二焊墊、41表示第一探針、42 表示第二探針。從圖1可見，所述第一焊墊31和第二焊墊32別通過各自的引線即第一引 線21和第二引線22連接至所述器件1的兩...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。