本實(shí)用新型涉及一種涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)的光刻膠蒸汽回收裝置，屬于刻蝕機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

將晶片放置在自轉(zhuǎn)機(jī)上，噴嘴將光刻膠噴灑在旋轉(zhuǎn)的晶片中心，液態(tài)的光刻膠在旋轉(zhuǎn)的晶片上依據(jù)離心力，鋪展開來，依據(jù)自身的粘性，在晶片上以均勻地厚度分布，光刻膠涂抹完成后，自轉(zhuǎn)機(jī)停止旋轉(zhuǎn)時(shí)，自轉(zhuǎn)機(jī)上空漂浮的蒸汽形態(tài)的光刻膠依據(jù)熱量排放，由于現(xiàn)有技術(shù)的涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)殼頂板上的出氣口無法調(diào)節(jié)大小，使得蒸汽形態(tài)的光刻膠無法從出氣口排出，使蒸汽形態(tài)的光刻膠撞擊到內(nèi)殼墻壁后重新降落到晶片上，影響晶片的質(zhì)量。為了解決上述困難，需要開發(fā)一款能調(diào)節(jié)頂板出氣口大小的光刻膠蒸汽回收裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)的光刻膠蒸汽回收裝置。

本實(shí)用新型要解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)的涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)內(nèi)殼頂板上的出氣口無法調(diào)節(jié)大小的問題。

為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：

一種涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)的光刻膠蒸汽回收裝置，包括控制器、第二電機(jī)、軸承、轉(zhuǎn)軸、第一齒輪、第二移動塊、氣缸、第二齒輪、內(nèi)殼、排出管、微型吸塵器、第二直線電機(jī)、繩子、滾輪、第一電機(jī)、輪架、第二頂板、第一移動塊、第一直線電機(jī)、第一頂板、外殼、多級伸縮桿和支板，所述內(nèi)殼安裝在外殼內(nèi)，內(nèi)殼頂部左右兩側(cè)各安裝第一頂板，第一頂板下安裝第一直線電機(jī)，第一直線電機(jī)上安裝第一移動塊，第一移動塊下安裝第二頂板，第二頂板下安裝輪架，輪架上安裝滾輪，滾輪的軸通過聯(lián)軸器與第一電機(jī)相連，第一電機(jī)安裝在輪架上，繩子上端纏繞在滾輪上，繩子下端安裝在軸承上，軸承安裝在轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)軸安裝在第二直線電機(jī)上，轉(zhuǎn)軸上安裝第一齒輪，第一齒輪右側(cè)安裝第二齒輪，第二齒輪安裝在第二電機(jī)的輸出軸上，第二電機(jī)安裝在支板下，支板安裝在多級伸縮桿下，多級伸縮桿安裝在第二頂板下，第二直線電機(jī)上安裝第二移動塊，第二移動塊下安裝氣缸，氣缸的活塞桿上安裝微型吸塵器，外殼下安裝排出管，控制器安裝在外殼上，控制器通過導(dǎo)線分別與第一電機(jī)、第二電機(jī)、第一直線電機(jī)、第二直線電機(jī)和微型吸塵器相連。

所述氣缸內(nèi)置電磁閥，電磁閥通過導(dǎo)線與控制器相連。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：光刻膠涂抹完成后，自轉(zhuǎn)機(jī)停止旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制器控制第一直線電機(jī)啟動，使第一移動塊左右移動，使兩個(gè)第二頂板相互遠(yuǎn)離，使兩個(gè)第二頂板之間的出氣口變大，方便蒸汽形態(tài)的光刻膠從出氣口排到外殼和內(nèi)殼之間的通道，再從排出管排出；控制器控制第一電機(jī)啟動，使?jié)L輪旋轉(zhuǎn)，使繩子上下移動，使多級伸縮桿做伸縮運(yùn)動，使微型吸塵器上下移動；控制器控制第二電機(jī)啟動，使第二齒輪旋轉(zhuǎn)，使第一齒輪旋轉(zhuǎn)，使第二直線電機(jī)旋轉(zhuǎn)，使微型吸塵器旋轉(zhuǎn)；控制器控制第二直線電機(jī)啟動，使第二移動塊左右移動，使微型吸塵器左右移動；控制器控制氣缸做伸縮運(yùn)動，使微型吸塵器左右移動，擴(kuò)大微型吸塵器的吸收范圍，微型吸塵器將漂浮在空氣中的蒸汽形態(tài)的光刻膠吸收。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)的光刻膠蒸汽回收裝置整體結(jié)構(gòu)圖；

圖中：1、控制器 2、第二電機(jī) 3、軸承 4、轉(zhuǎn)軸 5、第一齒輪 6、第二移動塊 7、氣缸 8、第二齒輪 9、內(nèi)殼 10、排出管 11、微型吸塵器 12、第二直線電機(jī) 13、繩子 14、滾輪 15、第一電機(jī) 16、輪架 17、第二頂板 18、第一移動塊 19、第一直線電機(jī) 20、第一頂板 21、外殼 22、多級伸縮桿 23、支板。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。

本實(shí)用新型一種涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)的光刻膠蒸汽回收裝置，包括控制器1、第二電機(jī)2、軸承3、轉(zhuǎn)軸4、第一齒輪5、第二移動塊6、氣缸7、第二齒輪8、內(nèi)殼9、排出管10、微型吸塵器11、第二直線電機(jī)12、繩子13、滾輪14、第一電機(jī)15、輪架16、第二頂板17、第一移動塊18、第一直線電機(jī)19、第一頂板20、外殼21、多級伸縮桿22和支板23，所述內(nèi)殼9安裝在外殼21內(nèi)，內(nèi)殼9頂部左右兩側(cè)各安裝第一頂板20，第一頂板20下安裝第一直線電機(jī)19，第一直線電機(jī)19上安裝第一移動塊18，第一移動塊18下安裝第二頂板17，光刻膠涂抹完成后，自轉(zhuǎn)機(jī)停止旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制器1控制第一直線電機(jī)19啟動，使第一移動塊18左右移動，使兩個(gè)第二頂板17相互遠(yuǎn)離，使兩個(gè)第二頂板17之間的出氣口變大，方便蒸汽形態(tài)的光刻膠從出氣口排到外殼21和內(nèi)殼9之間的通道，再從排出管10排出；第二頂板17下安裝輪架16，輪架16上安裝滾輪14，滾輪14的軸通過聯(lián)軸器與第一電機(jī)15相連，第一電機(jī)15安裝在輪架16上，繩子13上端纏繞在滾輪14上，繩子13下端安裝在軸承3上，控制器1控制第一電機(jī)15啟動，使?jié)L輪14旋轉(zhuǎn)，使繩子13上下移動，使多級伸縮桿22做伸縮運(yùn)動，使微型吸塵器11上下移動；軸承3安裝在轉(zhuǎn)軸4上，轉(zhuǎn)軸4安裝在第二直線電機(jī)12上，轉(zhuǎn)軸4上安裝第一齒輪5，第一齒輪5右側(cè)安裝第二齒輪8，第二齒輪8安裝在第二電機(jī)2的輸出軸上，第二電機(jī)2安裝在支板23下，控制器1控制第二電機(jī)2啟動，使第二齒輪8旋轉(zhuǎn)，使第一齒輪5旋轉(zhuǎn)，使第二直線電機(jī)12旋轉(zhuǎn)，使微型吸塵器11旋轉(zhuǎn)；支板23安裝在多級伸縮桿22下，多級伸縮桿22安裝在第二頂板17下，第二直線電機(jī)12上安裝第二移動塊6，控制器1控制第二直線電機(jī)12啟動，使第二移動塊6左右移動，使微型吸塵器11左右移動；第二移動塊6下安裝氣缸7，氣缸7內(nèi)置電磁閥，電磁閥通過導(dǎo)線與控制器1相連，氣缸7的活塞桿上安裝微型吸塵器11，外殼21下安裝排出管10，控制器1控制氣缸7做伸縮運(yùn)動，使微型吸塵器11左右移動，擴(kuò)大微型吸塵器11的吸收范圍，微型吸塵器11將漂浮在空氣中的蒸汽形態(tài)的光刻膠吸收，控制器1安裝在外殼21上，控制器1通過導(dǎo)線分別與第一電機(jī)15、第二電機(jī)2、第一直線電機(jī)19、第二直線電機(jī)12和微型吸塵器11相連。

本實(shí)用新型使用方法：光刻膠涂抹完成后，自轉(zhuǎn)機(jī)停止旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制器1控制第一直線電機(jī)19啟動，使第一移動塊18左右移動，使兩個(gè)第二頂板17相互遠(yuǎn)離，使兩個(gè)第二頂板17之間的出氣口變大，方便蒸汽形態(tài)的光刻膠從出氣口排到外殼21和內(nèi)殼9之間的通道，再從排出管10排出；控制器1控制第一電機(jī)15啟動，使?jié)L輪14旋轉(zhuǎn)，使繩子13上下移動，使多級伸縮桿22做伸縮運(yùn)動，使微型吸塵器11上下移動；控制器1控制第二電機(jī)2啟動，使第二齒輪8旋轉(zhuǎn)，使第一齒輪5旋轉(zhuǎn)，使第二直線電機(jī)12旋轉(zhuǎn)，使微型吸塵器11旋轉(zhuǎn)；控制器1控制第二直線電機(jī)12啟動，使第二移動塊6左右移動，使微型吸塵器11左右移動；控制器1控制氣缸7做伸縮運(yùn)動，使微型吸塵器11左右移動，擴(kuò)大微型吸塵器11的吸收范圍，微型吸塵器11將漂浮在空氣中的蒸汽形態(tài)的光刻膠吸收。