二極管產(chǎn)品清洗工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一種二極管產(chǎn)品清洗工藝。半導(dǎo)體晶片經(jīng)酸腐蝕PN結(jié)后，表面進(jìn)一步拋光處理，拋光處理后的晶片用二級(jí)管清洗液清洗，清洗溫度為60℃±5℃；二級(jí)管清洗液按重量百分比由下述組分組成：EDTA2.9％、H2O2?24.3％、純水72.8％。本發(fā)明具有工藝合理操作方便、對環(huán)境無污染；和產(chǎn)品良品率高等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】二極管產(chǎn)品清洗工藝
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】:
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一種晶體管清洗工藝，特別是一種二極管產(chǎn)品清洗工藝。
[0002]【背景技術(shù)】:
半導(dǎo)體工藝是現(xiàn)代微電子工業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，二極管是其中常用的半導(dǎo)體電子元器件，廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域中，二極管在生產(chǎn)工藝中需進(jìn)行清洗工序，在二極管生產(chǎn)制造行業(yè)中使用了大量對人體有害的物質(zhì)作為清洗二極管表面的清洗液，傳統(tǒng)工藝中用鉻酸和氨水對硅片進(jìn)行清洗，環(huán)境污染較大和過程控制困難，且產(chǎn)品良率水平不受控。如何在保證效果的情況下研制低成本、無污染的新型清洗液是本發(fā)明的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種對環(huán)境無污染，具有產(chǎn)品良品率受控效果的二極管產(chǎn)品清洗工藝。
[0004]本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
一種二極管產(chǎn)品清洗工藝，其特征在于:半導(dǎo)體晶片經(jīng)酸腐蝕PN結(jié)后，表面進(jìn)一步拋光處理，拋光處理后的晶片用二級(jí)管清洗液清洗，清洗溫度為60°C ±5V ;對上述技術(shù)方案做進(jìn)一步限定，所述的二級(jí)管清洗液按重量百分比由下述組分組成=EDTA 2.9%, H2O224.3%、純水72.8%，上述清洗液可以達(dá)到操作容易、對環(huán)境無污染和產(chǎn)品良品受控的效果O
[0005]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果:
1.工藝合理操作方便；
2.對環(huán)境無污染；
3.廣品良品率聞。
【具體實(shí)施方式】
[0006]下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步的描述:
傳統(tǒng)二極管的清洗工藝會(huì)對環(huán)境造成污染，需要一種更好的環(huán)保的清洗工藝來替代，為對硅片清洗達(dá)到理想的效果，而無污染環(huán)境的化學(xué)成分的清洗液，鉻酸對環(huán)境有重污染；氨水揮發(fā)性很強(qiáng)，整個(gè)清洗環(huán)境很難控制，對操作人員呼吸不利。經(jīng)過多次配制、試驗(yàn)，最終使用EATA+H202的方案可以達(dá)到舊工藝的清洗的效果。SI臺(tái)面經(jīng)過清洗后表面光潔，平整；生產(chǎn)的S102層達(dá)到保護(hù)PN結(jié)的效果。
實(shí)施例
[0007]硅晶片經(jīng)酸腐蝕PN結(jié)后，對其表面進(jìn)一步拋光，生長一層SIO2層，將EADA稱取600g加進(jìn)大塑料桶內(nèi)，再加入15L純水,最后加入5kg (5L)雙氧水配制成二極管清洗液,在二極管清洗工序中需進(jìn)行加熱，溫度嚴(yán)格控制在60°C ±5°C。
【權(quán)利要求】
1.一種二極管產(chǎn)品清洗工藝，其特征在于:半導(dǎo)體晶片經(jīng)酸腐蝕PN結(jié)后，表面進(jìn)一步拋光處理，拋光處理后的晶片用二級(jí)管清洗液清洗，清洗溫度為60°C ±5°C。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管產(chǎn)品清洗工藝，其特征在于:所述的二級(jí)管清洗液按重量百分比由下述組分組成:EDTA 2.9%, H2O2 24.3%、純水72.8%。
【文檔編號(hào)】B08B3/08GK103474330SQ201310443809
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】黃建山, 陳建華, 張練佳, 梅余峰 申請人:如皋市易達(dá)電子有限責(zé)任公司