技術(shù)編號(hào)：9958116
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在電力半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中，許多工藝都要求對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕和清洗，采用的腐蝕液或清洗液常常是多種酸的混合液，具有很強(qiáng)的腐蝕性和揮發(fā)性，而且還常常用到許多化學(xué)試劑，其中有些具有毒性和強(qiáng)烈的刺激性氣味，易對(duì)工作場所造成不良后果，影響操作人員的工作環(huán)境。工作時(shí)，大部分操作是在頂部和側(cè)面分別設(shè)有排風(fēng)出口和操作窗口的排風(fēng)操作柜內(nèi)進(jìn)行，大部分的腐蝕性或刺激性氣體通過排風(fēng)出口由外部相接的排風(fēng)風(fēng)機(jī)、吸收塔吸收處理后排入大氣。但是，現(xiàn)有技術(shù)的排風(fēng)操作柜設(shè)計(jì)時(shí)為了操作方便，其操...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。