技術(shù)編號：9927237
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)，具體地說，涉及射頻微子機系統(tǒng)(RF MEMS)開關與包括厚隔膜的電容器。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS)用于各種應用中，被用作傳感器、致動器或無源器件。RF MEMS尤其用于諸如無線電傳輸?shù)纳漕l應用中，以及在諸如移動通信的各種行業(yè)中。在移動電話中，例如，RF MEMS可以用于RF前端以便天線調(diào)諧或天線切換。與諸如固態(tài)器件的其它技術(shù)相比，MEMS部件為這些應用提供了較強的技術(shù)優(yōu)點，諸如非常低的插入損耗、在切換情形中的高絕緣、...
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