技術(shù)編號：9926890
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本說明書涉及制造適用于對半導(dǎo)體、光學(xué)和磁性襯底進行拋光和平坦化的拋光 墊。 聚氨酯拋光墊是用于多種高要求精密拋光應(yīng)用的主要墊類型。這些聚氨酯拋光墊 有效用于拋光硅晶片、圖案化晶片、平板顯示器以及磁存儲盤。確切地說，聚氨酯拋光墊為 用于制造集成電路的大多數(shù)拋光操作提供機械完整性和耐化學(xué)性。舉例來說，聚氨酯拋光 墊具有較高的抗撕裂強度;避免拋光期間磨損問題的抗磨損性；以及抗強酸性和強堿性拋 光溶液侵蝕的穩(wěn)定性。 半導(dǎo)體的生產(chǎn)典型地涉及若干化學(xué)機械平坦化（ch...
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