技術編號：9909374
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及顯微鏡，尤其是一種壓電陶瓷管掃描器的掃描范圍校正方法 及系統(tǒng)。背景技術 自1982年掃描隧道顯微鏡（STM)出現(xiàn)以后，又陸續(xù)發(fā)展出了一系列工作原理相似 的新型顯微技術，主要包括原子力顯微鏡(AFM)、橫向力顯微鏡(LFM)、磁力顯微鏡(MFM)、靜 電力顯微鏡（EFM)、近場光學顯微鏡（SN0M)、壓電力顯微鏡（PFM)、掃描探針聲學顯微鏡 (SPAM)等，由于它們都是利用探針對被測樣品進行掃描，同時檢測掃描過程中探針與樣品 的相互作用(如樣品...
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