技術(shù)編號(hào)：9892155
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。通過使用微加工技術(shù)制造的微機(jī)械部件可執(zhí)行微米級(jí)加工操作，并且，可通過使用這種微機(jī)械部件開發(fā)各種微功能元件。利用這種技術(shù)的電容型微加工超聲換能器(CMUT)已被研究以替代壓電元件。電容型微加工超聲換能器具有用于通過使膜片(membrane)(振動(dòng)膜片)振動(dòng)來傳送聲波的致動(dòng)器功能和以膜片的位移變化的形式接收由被檢體反射的聲波的傳感器功能。通過利用這種電容型微加工超聲換能器的振動(dòng)膜片的振動(dòng)，可傳送和接收聲波。特別地，在液體中，可容易地獲得優(yōu)異的寬帶特性。這里使用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。