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一種基于pn結(jié)的硅通孔結(jié)構(gòu)及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9868250

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隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,微電子器件的尺寸按照摩爾定律持續(xù)減小,集成電路的集成度也逐漸增大,電子產(chǎn)品性能得到空前提高。但是隨著尺寸減小到深亞微米甚至納米量級(jí)后,摩爾定律受到越來(lái)越多的挑戰(zhàn),主要包括首先,晶體管的特征尺寸逐漸達(dá)到物理極限,量子效應(yīng)和短溝道效應(yīng)越來(lái)越嚴(yán)重;其次,隨著集成電路復(fù)雜度和晶體管數(shù)量的不斷增加,芯片的面積也在不斷增加,導(dǎo)致互連線的數(shù)量和長(zhǎng)度迅速增加,集成電路的設(shè)計(jì)、性能和可靠性都受到嚴(yán)重影響。例如長(zhǎng)度和延時(shí)的增加使電路同步工作異常困難,加之...
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