技術(shù)編號(hào)：9845067
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 使用浮柵來(lái)在其上存儲(chǔ)電荷的閃存存儲(chǔ)器單元以及在半導(dǎo)體襯底中形成的這樣 的非易失性存儲(chǔ)器單元的存儲(chǔ)器陣列在本領(lǐng)域中是公知的。通常，這樣的浮柵存儲(chǔ)器單元 已經(jīng)具有分裂柵型，或疊柵型。 -種現(xiàn)有技術(shù)的非易失性存儲(chǔ)器單元10在圖1中示出。分裂柵超快閃（SF)存儲(chǔ) 器單元10包括第一導(dǎo)電類型（諸如P型）的半導(dǎo)體襯底1。襯底1具有其上形成第二導(dǎo)電 類型（諸如N型）的第一區(qū)2 (也被稱為源極線SL)的表面。第二導(dǎo)電類型（諸如N型） 的第二區(qū)3 (也被稱為漏極線）也在襯...
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