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薄膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9838974

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高介電常數(shù)材料(ε>1000)的開發(fā)和研究對實現(xiàn)大容量電容器的應(yīng)用和電子元件的小型化、微型化具有重要的意義。迄今為止,一些高介電常數(shù)材料已經(jīng)在實際器件中得到應(yīng)用。2000年人們發(fā)現(xiàn)CaCu3Ti4O12(CCTO)材料在IkHz交流電場作用下介電常數(shù)可達到12000,且在一定的溫度(100Κ?600Κ)和頻域(OHz?IMHz)范圍內(nèi)介電常數(shù)基本保持不變。CCTO的高介電特性一經(jīng)發(fā)現(xiàn),立即引起了人們的廣泛關(guān)注,但是CCTO在具有高介電常數(shù)的同時也具有...
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