技術(shù)編號：9769292
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。—般來說，半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)涉及用于使用在襯底上分層和圖案化的半導(dǎo)體材料(例如硅)制造集成電路的高度復(fù)雜技術(shù)。歸因于大規(guī)模的電路集成和半導(dǎo)體裝置的尺寸減小，所制造的裝置已變得對缺陷越來越敏感。即，引起裝置中的故障的缺陷正變得越來越小。在運輸?shù)阶罱K用戶或客戶之前所述裝置是無故障的。集成電路通常由多個光罩制造。光罩的產(chǎn)生和此類光罩的隨后光學檢驗在半導(dǎo)體生產(chǎn)中已變?yōu)闃藴什襟E。最初，電路設(shè)計者提供電路圖案數(shù)據(jù)(所述數(shù)據(jù)描述特定集成電路(IC)設(shè)計)到光罩生產(chǎn)系統(tǒng)或光罩...
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