技術(shù)編號(hào)：9763851
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。微栗作為執(zhí)行器件，是微流體系統(tǒng)中的重要的構(gòu)成部件之一，可用于微電子液體、氣體冷卻液的輸送，化工用品及貴重藥物的精確輸送，藥物在人體內(nèi)的傳輸，微型航空航天器件的燃料供給等眾多領(lǐng)域。微栗的發(fā)展已經(jīng)成為微流控系統(tǒng)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。目前應(yīng)用MEMS加工技術(shù)設(shè)計(jì)的微栗，按工作原理可分為機(jī)械式微栗和非機(jī)械式微栗。目前機(jī)械式微栗占主導(dǎo)地位，其同特點(diǎn)是將栗腔的一面做成易于變形的薄膜，薄膜在力的驅(qū)動(dòng)下產(chǎn)生往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使腔體內(nèi)的壓力交替變化，從而產(chǎn)生栗效應(yīng)。微栗按驅(qū)動(dòng)方式包括...
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