技術(shù)編號(hào)：9738091
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種碗形塞制作，尤其指。背景技術(shù)現(xiàn)有一種申請(qǐng)?zhí)枮镃N200910195581.8名稱為《功率器件的鋁插塞制作方法》的中國發(fā)明專利公開了一種功率器件的鋁插塞制作方法，包括下列步驟提供一半導(dǎo)體襯底;在所述半導(dǎo)體襯底上沉積絕緣層;在所述絕緣層上沉積鈍化層;分別對(duì)鈍化層、絕緣層和半導(dǎo)體襯底進(jìn)行蝕刻形成杯型接觸孔;在所述杯型接觸孔內(nèi)及鈍化層表面上沉積擴(kuò)散阻擋層；在接觸孔內(nèi)填充金屬鋁以形成鋁插塞，其中所述杯型接觸孔的頂部寬度大于底部寬度。該發(fā)明提出的功率器件...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。