技術(shù)編號：9732178
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。作為可變電容元件，已知一種通過使電介質(zhì)層的介電常數(shù)根據(jù)施加電壓而變化，來使靜電電容變化的可變電容元件。例如，專利文獻1中公開了一種電介質(zhì)層與電極交替層疊，電極形成為梳形的可變電容元件。此外，專利文獻2中公開了一種通過化學(xué)溶液沉積(Chemi cal Solut1nDeposit1n; (CSD))法以及派射法，分別形成了鐵電薄膜以及薄膜電極的可變電容元件。在先技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1日本特開2011-101041號公報專利文獻2國際公開第2013/061...
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