技術(shù)編號：9731869
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)元件旋轉(zhuǎn)類型的橢圓偏振儀(ellipsometer)，并且特別地涉 及一種用于通過測量和分析被樣品反射或透射的光的偏振狀態(tài)中的變化測量樣品的穆勒 矩陣元素(component)的橢圓偏振儀。背景技術(shù) 在與已迅速發(fā)展的半導(dǎo)體器件、平板顯示器、納米生物、納米壓印、薄膜光學(xué)等相 關(guān)的工業(yè)領(lǐng)域中，在制造工序步驟中能夠非破壞性地且非接觸地測量和評價例如納米樣品 的薄膜的厚度、納米圖案的形狀等物理性能的技術(shù)的重要性已逐漸增加。 按照這些工業(yè)領(lǐng)域的不斷...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。