技術(shù)編號：9731472
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 作為半導(dǎo)體集成電路等的制造所需的微細(xì)加工法，納米壓印法是可用的。納米壓 印法為包括以下的方法在具有形成在其上的微細(xì)凹凸圖案的模具壓向固化性組合物的狀 態(tài)下用光或熱等使涂布至基板的固化性組合物固化;和使模具上的凹凸轉(zhuǎn)印至基板上的固 化性組合物以制造固化膜。該方法的采用能夠制造具有模仿模具的凹凸形狀的圖案形狀的 固化膜。 近年，對用于納米壓印法的固化性組合物進(jìn)行了有力的研究。日本專利申請?zhí)亻_ No. 2006-528088(專利文獻(xiàn)1)公開了固化膜的制造方法...
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