技術(shù)編號：9723343
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 單晶硅的規(guī)格一般有兩種Ml型（205mm)和M2型（210mm)，單晶硅生產(chǎn)過程包括以 下工序拆爐-裝料-熔化料-引細頸-放肩-轉(zhuǎn)肩-等徑-收尾-停爐。其中，放肩是當引細頸工 藝完成后經(jīng)過調(diào)整單晶爐加熱功率及溫效輸出，降低溫度與拉速，來控制放肩質(zhì)量、速度、 形狀。放肩的形狀和角度，將會影響晶棒頭部的固液界面形狀及晶棒品質(zhì)。如果降溫太快， 液面呈現(xiàn)過冷情況，肩的形狀因直徑快速放大而變成方形，嚴重時易導致位錯的產(chǎn)生而失 去單晶的結(jié)構(gòu)。M2型單晶硅棒的放肩工藝...
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