技術(shù)編號：9707559
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前的激光干涉光刻系統(tǒng)使用玻璃分束器在自由空間中將原始的相關(guān)激光束進(jìn)行分束。最初的激光束和分束后的激光束通常都在自由空間中傳播。這種光學(xué)裝置需要非常耗時(shí)的精確對準(zhǔn)。改變干涉圖案、尤其是改變周期要求整個(gè)光學(xué)裝置的重新對準(zhǔn)。此外，激光在自由空間中傳播易受諸如空氣流或空氣波動(dòng)之類的環(huán)境微擾。干涉光刻是一種在覆蓋大面積的陣列亞微米結(jié)構(gòu)進(jìn)行構(gòu)圖的技術(shù)。將兩束或多束相干光波的干涉記錄到光致抗蝕劑上來產(chǎn)生多種規(guī)則周期性圖案的結(jié)構(gòu)，包括光柵、孔洞、柱、錐體和格子。當(dāng)將相干...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。