技術(shù)編號(hào)：9685436
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 現(xiàn)在的半導(dǎo)體行業(yè)和印刷電路板行業(yè)中，曝光環(huán)節(jié)中大多使用的激光動(dòng)態(tài)成像技 術(shù)化aserDynamicImaging，LDI)設(shè)備，LDI設(shè)備一般使用紫光或紫外光對(duì)干膜或濕膜進(jìn)行 曝光，由于干膜或濕膜的性能要求，使得在曝光過程中對(duì)能量的控制很嚴(yán)格，因此需要對(duì)激 光的能量進(jìn)行監(jiān)控。此外，目前市場上的激光器或激光二極管在使用一定時(shí)間后能量會(huì)出 現(xiàn)衰減，當(dāng)能量衰減到臨界值后，對(duì)曝光和顯影會(huì)造成影響，使得生產(chǎn)的電路板容易出現(xiàn)短 路或斷路等現(xiàn)象，造成很大的經(jīng)濟(jì)損失，因...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。