技術(shù)編號(hào)：9672130
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的各種實(shí)施例和方法大體上涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置，且尤其涉及具有減少的黏滯力的MEMS裝置。緩沖塊通常用于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置中。通常包含移動(dòng)部分的MEMS裝置的已知問題是，當(dāng)致動(dòng)器與另一表面接觸時(shí)，在沖擊或甚至正常操作期間，所述致動(dòng)器常常經(jīng)歷剝落。這顯然導(dǎo)致所不希望的性能和可能較短的使用壽命。緩沖塊已經(jīng)在歷史上用于幫助減少M(fèi)EMS裝置所經(jīng)受的影響。用于MEMS裝置/感測器中的緩沖塊可以有效地限制MEMS致動(dòng)器的行進(jìn)距離。然而，常常用于形...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。