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一種壓力傳感器集成器件及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9665210

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TaN(氮化鉭)材料具有優(yōu)良的壓變特性,同時(shí)具有極高的高溫穩(wěn)定性(熔點(diǎn)在3000°C左右)、較低的電阻溫度系數(shù),優(yōu)良的硬度和耐磨性,可作為傳感器廣泛地用于壓力、溫度、應(yīng)力、熱流等方面。由于上述的特點(diǎn),該TaN材料制成的傳輸線具有應(yīng)變效應(yīng),具體地,該TaN傳輸線的電阻值會(huì)隨著壓力變化而顯著變化,即產(chǎn)生壓電信號(hào),傳輸線電阻的顯著變化導(dǎo)致傳輸電流的變化,GaN作為寬禁帶半導(dǎo)體的典型代表,具有工作溫度高、功率輸出密度大、高頻性能好、抗輻射能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。與傳統(tǒng)的Ga...
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