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扇出晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9632597

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隨著集成電路技術(shù)的不斷發(fā)展,電子產(chǎn)品越來越向小型化、智能化以及高可靠性方向發(fā)展,而集成電路封裝直接影響著集成電路、電子模塊乃至整機(jī)性能,在集成電路晶片尺寸逐步縮小、集成度不斷提高的情況下,電子工業(yè)對(duì)集成電路封裝結(jié)束提出了越來越高的要求。目前的扇出(fanout)工藝,主要的困難在于芯片在樹脂加工過程中由于樹脂漲縮造成芯片偏移,中心和邊緣的偏移量不盡相同,通常是中心小而邊緣大,這樣不可控的偏移量是造成fanout加工良品率較低以及限制加工精度的主要原因,該扇...
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