技術(shù)編號(hào)：9626623
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 近年來(lái)，隨著微電子、微機(jī)械、納米技術(shù)的快速發(fā)展，微位移技術(shù)已成為精密運(yùn)動(dòng) 系統(tǒng)和精密制造工藝中的關(guān)鍵技術(shù)之一。對(duì)于上述系統(tǒng)中的執(zhí)行系統(tǒng)而言，一般分辨率需 要達(dá)到納米級(jí)。因?yàn)槟壳皞鹘y(tǒng)的微位移放大技術(shù)，一般采用電機(jī)驅(qū)動(dòng)的絲杠螺母微進(jìn)給系 統(tǒng)，定位精度很難達(dá)到納米級(jí)，因此上述系統(tǒng)中的工作行程的分辨率僅在微米甚至毫米級(jí)， 不能滿足執(zhí)行系統(tǒng)的需要。 壓電陶瓷因其體積小、位移分辨率高、響應(yīng)速度快、輸出力大、換能效率高等優(yōu)點(diǎn)， 目前已成為精密定位時(shí)比較理想的驅(qū)動(dòng)元件，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。