技術(shù)編號：9609639
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System，MEMS)運動傳感器是米用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的運動傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。通常，對于MEMS運動傳感器來講，主要包括三部分襯底層、傳感器結(jié)構(gòu)層和封蓋層。MEMS運動傳感器需要和集成電路芯片連接在一...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。