技術(shù)編號：9602386
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的各種實施例大體上涉及一種具有質(zhì)量塊的MEMS裝置，且尤其涉及一種可操作以通過質(zhì)量塊上引起的檢測運動測量環(huán)境加速度和環(huán)境磁場。MEMS裝置通常包含用于測量質(zhì)量塊的運動的傳感器，例如，由環(huán)境加速度引起的質(zhì)量塊運動以及由環(huán)境磁場引起的質(zhì)量塊運動。目前，用于測量磁場的磁強計是與用于測量環(huán)境加速度的加速計分離和隔開的裝置。然而，歸因于制造缺陷或通過設(shè)計，磁場傳感器可以具有對環(huán)境加速度的響應(yīng)。提出單一 MEMS裝置來測量環(huán)境加速度和環(huán)境磁場兩者。通過減小MEM...
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