技術編號：9599355
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。霍爾元件在制備過程中，因為材料生長或者工藝等原因，會產生結構的不對稱，從而導致在不加磁場的情況下，輸入兩端通入電流，在輸出兩端會產生一個電壓，該電壓稱為不平衡電壓，或者失調電壓。受限于材料生長及工藝水平，在霍爾元件制備過程中，沒有辦法完全消除不平衡電壓。而不平衡電壓的存在，會使實際的霍爾輸出電壓偏離真實值，從而影響霍爾兀件的精度。單晶材料在濕法腐蝕過程中，存在各向異性。以GaAs單晶材料為例，如圖4所示，在同樣的腐蝕溶液中，一般有(110)晶面的腐蝕速率大...
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