技術(shù)編號:9599134
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及,具體地說是一種在低于100°C的條件下基于原子層沉積技術(shù)在碲鎘汞表面生長絕緣性優(yōu)異的非晶氧化鋁層的方法。技術(shù)背景在自旋場效應(yīng)晶體管中,自旋是信息的有效載體,自旋取向的調(diào)控是實現(xiàn)自旋晶體管器件開關(guān)的關(guān)鍵步驟。自旋取向的調(diào)控是利用柵壓來改變Rashba自旋軌道耦合作用來實現(xiàn)的。自旋軌道耦合是一種相對論效應(yīng),其大小和半導(dǎo)體材料的禁帶寬度成反比。碲鎘汞(Hgl xCdxTe,簡寫為MCT)材料的禁帶寬度隨組分的變化可以從OeV到1.5eV連續(xù)可調(diào),因此...
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