技術(shù)編號(hào):95467
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體壓力傳感器件。已有的四端單元件(四端力敏元件)的力敏器件,其四端力敏元件均制作在硅膜的邊緣(稱“邊緣器件”)。由于在工藝加工中,硅膜是通過(guò)硅片反面光刻定位的,正面的力敏元件與反面的硅膜圖形可能有較大的對(duì)準(zhǔn)偏差,這會(huì)造成力敏器件靈敏度的不一致和成品率的下降。特別當(dāng)力敏器件向小型化方向發(fā)展時(shí),硅膜尺寸縮小,這一問(wèn)題就顯得更為突出。本實(shí)用新型對(duì)上述力敏器件的結(jié)構(gòu)加以改進(jìn),以減少由力敏元件與反面硅膜圖形的對(duì)準(zhǔn)偏差而產(chǎn)生的力敏器件靈敏度的變化范圍,并提高在小型化硅膜上制作力敏器件的現(xiàn)實(shí)性。某些形狀的硅膜在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。