技術(shù)編號(hào):9525798
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著0LED制造的高分辨率與高產(chǎn)量的趨勢(shì),對(duì)于鍍膜精準(zhǔn)度的要求越來越高,因此,如何準(zhǔn)確快速的進(jìn)行鍍膜的偏移量的測(cè)量及對(duì)于偏移量的補(bǔ)償對(duì)于實(shí)現(xiàn)上述要求至關(guān)重要。圖1、2分別示出了利用鍍膜設(shè)備進(jìn)行0LED子像素鍍膜的主視圖和俯視圖。鍍膜設(shè)備包括蒸發(fā)源1、金屬框架2、掩膜板3及玻璃基板4,掩膜板3例如為高精度金屬掩模板(Fine Metal Mask,F(xiàn)MM),其上具有鏤空部31,并固定在金屬框架2上,蒸鍍前,將玻璃基板4與掩膜板3對(duì)位設(shè)置,即,使玻璃基板4上的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。