技術(shù)編號(hào)：95057
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于離子注入技術(shù)中的設(shè)備。隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展，全世界每年需要數(shù)以億計(jì)的集成電路、大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路的芯片。芯片制造過程中的“摻雜”工藝，通常是用離子注入機(jī)來進(jìn)行的。注入時(shí)對(duì)所摻雜質(zhì)的純度、精密度及重復(fù)精度要求極高。為了達(dá)到這種要求，目前一般的做法是通過簡(jiǎn)易儀表來觀察質(zhì)譜峰的形狀，從而定性地判斷所摻雜質(zhì)的離子質(zhì)量數(shù)是否符合要求。這種判斷方法的準(zhǔn)確程度往往取決于操作人員的經(jīng)驗(yàn)，但無論經(jīng)驗(yàn)多么豐富，也還做不到定量判斷。而且，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)不符合要求時(shí)，只能通過手工操作來進(jìn)行調(diào)節(jié)，又慢又不準(zhǔn)確...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。