技術(shù)編號：9493524
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明為涉及半導(dǎo)體制造裝置的原料流體供給裝置等中使用的工藝流體濃度計(jì)的改良的發(fā)明，特別是涉及一種在線(in-line，又稱為直連、串聯(lián)、生產(chǎn)線中配置)型光分析方式的原料流體濃度檢測器，其能夠謀求(實(shí)現(xiàn))濃度計(jì)的傳感器部的小型化和在線型，并且即使針對高析出性、高光反應(yīng)性、腐蝕性的原料流體也能夠在長時(shí)間內(nèi)保持穩(wěn)定的透光窗的高透明度和傳感器內(nèi)部的高清潔度(耐顆粒性)。背景技術(shù)從實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)提高的觀點(diǎn)出發(fā)，半導(dǎo)體制造裝置的原料流體供給裝置等需要向處理裝置供...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。