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紅外焦平面探測器的制造方法技術資料下載

技術編號:9490646

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紅外焦平面探測技術具有光譜響應波段寬、可晝夜工作等優(yōu)點而廣泛應用于導彈 預警、情報偵察、損毀效果評估和農(nóng)、林資源調(diào)查等軍事和民用領域。 如圖1所示,帶有銦柱陣列的光敏元芯片3與帶有銦柱陣列的硅讀出電路1通過 倒焊互連工藝連接在一起,互連后形成銦柱陣列2。光敏元芯片3上設有抗反射涂層4。為 提高銦柱焊點的可靠性,通常在光敏元芯片3和硅讀出電路1之間的夾縫中填入底充膠5 以降低銦柱焊點在周期性熱沖擊下可靠性。銦柱通常起到兩方面的作用1、電連接,即把光 生電信...
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