技術(shù)編號:9482789
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體壓力傳感器的工作溫度一般在600°C以下,其中,SiC壓阻式壓力傳感器的最高工作溫度600°C,SOI壓力傳感器的最高工作溫度在500°C以下,硅-藍寶石壓力傳感器的最高工作溫度350°C。電學(xué)式壓力傳感器難以應(yīng)用于更高的溫度環(huán)境中。目前,國外出現(xiàn)了基于藍寶石芯片的光纖壓力傳感器產(chǎn)品,如英國Oxsensis公司的Wave-Phire DPT950型光纖壓力傳感器,最高工作溫度可達到600°C,探頭最前端可達到1000°C。而國內(nèi)還未報道基于藍寶...
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