技術(shù)編號(hào):9454479
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS技術(shù)已穩(wěn)定發(fā)展了一段時(shí)間,且結(jié)果已設(shè)想并驗(yàn)證了用于幾個(gè)應(yīng)用的各個(gè)MEMS裝置。MEMS技術(shù)是一種有吸引力的提供慣性傳感器(例如,用于測(cè)量直線加速度的加速計(jì)及用于測(cè)量角速度的陀螺儀)的方法。MEMS慣性傳感器通常包括撓性接附到所述裝置剩余部分的檢測(cè)質(zhì)量塊。依據(jù)詳細(xì)裝置設(shè)計(jì),由致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)及/或由傳感器以各種方式傳感所述檢測(cè)質(zhì)量塊與所述裝置的剩余部分之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。其他MEMS應(yīng)用包括光學(xué)應(yīng)用(例如,活動(dòng)反射鏡)及RF應(yīng)用(例如,RF開(kāi)關(guān)及諧振器)。由于...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。